Гранит является популярным материалом в промышленности по обработке пластин благодаря своим исключительным механическим свойствам и долговечности.Это природный камень, который добывают в карьерах по всему миру и веками используют для различных строительных целей, включая производство полупроводникового оборудования.В этой статье мы обсудим свойства гранита и его различные применения в оборудовании для обработки пластин.
Свойства гранита
Гранит – магматическая порода, состоящая из слюды, полевого шпата и кварца.Он известен своей исключительной прочностью, твердостью и долговечностью, что делает его идеальным материалом для применений, требующих высокой точности и аккуратности.Гранит имеет низкий коэффициент теплового расширения, что означает, что он не расширяется и не сжимается из-за изменений температуры, что делает его очень стабильным.Кроме того, гранит устойчив к коррозии и химикатам, что делает его идеальным материалом для использования в суровых условиях.
Применение гранита в оборудовании для обработки пластин
Гранит широко используется в промышленности по обработке пластин благодаря своему уникальному сочетанию свойств.Ниже приведены некоторые области применения гранита в оборудовании для обработки пластин:
1. Метрологические инструменты
Гранит обычно используется в производстве метрологических инструментов, таких как координатно-измерительные машины (КИМ) и оптические измерительные системы.Для этих инструментов требуются устойчивые поверхности, способные противостоять вибрациям и нагреву.Высокая жесткость и низкое тепловое расширение гранита делают его идеальным материалом для таких применений.
2. Вафельные патроны
Патроны для пластин используются для удержания пластин в процессе производства.Для этих патронов требуется плоская и устойчивая поверхность, чтобы предотвратить деформацию или изгиб пластины.Гранит обеспечивает плоскую поверхность, которая очень стабильна и устойчива к деформации, что делает его отличным материалом для держателей пластин.
3. Инструменты для химико-механической полировки (CMP).
Инструменты CMP используются для полировки пластин в процессе производства.Этим инструментам требуется устойчивая платформа, устойчивая к вибрациям и нагреву.Превосходная жесткость и низкое тепловое расширение гранита делают его идеальным материалом для инструментов CMP.
4. Оборудование для контроля пластин.
Оборудование для проверки пластин используется для проверки пластин на наличие дефектов и изъянов.Этим инструментам требуется устойчивая и плоская поверхность для обеспечения точных измерений.Гранит обеспечивает стабильную и плоскую поверхность, устойчивую к деформации, что делает его идеальным материалом для оборудования для проверки пластин.
Заключение
В заключение отметим, что гранит является широко используемым материалом в промышленности по обработке пластин благодаря своим исключительным механическим свойствам и долговечности.Он обычно используется при производстве метрологических инструментов, патронов для пластин, инструментов CMP и оборудования для контроля пластин.Уникальное сочетание свойств делает его идеальным материалом для применений, требующих высокой точности и аккуратности.Благодаря своим многочисленным преимуществам гранит остается популярным выбором для оборудования для обработки пластин, и его использование, вероятно, будет продолжать расти в будущем.
Время публикации: 27 декабря 2023 г.