Гранит — популярный материал в индустрии обработки полупроводниковых пластин благодаря своим исключительным механическим свойствам и долговечности. Это природный камень, добываемый в карьерах по всему миру, и на протяжении веков он использовался в различных строительных целях, включая производство полупроводникового оборудования. В этой статье мы обсудим свойства гранита и его различные применения в оборудовании для обработки полупроводниковых пластин.
Свойства гранита
Гранит — это магматическая порода, состоящая из слюды, полевого шпата и кварца. Он известен своей исключительной прочностью, твердостью и долговечностью, что делает его идеальным материалом для применений, требующих высокой точности и аккуратности. Гранит имеет низкий коэффициент теплового расширения, что означает, что он не расширяется и не сжимается при изменении температуры, что делает его очень стабильным. Кроме того, гранит устойчив к коррозии и химическим веществам, что делает его идеальным материалом для использования в суровых условиях.
Применение гранита в оборудовании для обработки кремниевых пластин.
Гранит широко используется в промышленности по производству кремниевых пластин благодаря уникальному сочетанию свойств. Ниже перечислены некоторые области применения гранита в оборудовании для обработки кремниевых пластин:
1. Инструменты метрологии
Гранит широко используется в производстве метрологических инструментов, таких как координатно-измерительные машины (КИМ) и оптические измерительные системы. Эти инструменты требуют стабильных поверхностей, способных выдерживать вибрации и нагрев. Высокая жесткость и низкое тепловое расширение гранита делают его идеальным материалом для таких применений.
2. Вафельные зажимы
Зажимы для пластин используются для удержания пластин в процессе производства. Для этих зажимов необходима плоская и устойчивая поверхность, чтобы предотвратить деформацию или изгиб пластины. Гранит обеспечивает плоскую поверхность, которая отличается высокой стабильностью и устойчивостью к деформации, что делает его превосходным материалом для зажимов для пластин.
3. Инструменты для химико-механической полировки (ХМП).
Инструменты для химико-механической полировки (CMP) используются для полировки кремниевых пластин в процессе производства. Для этих инструментов необходима устойчивая платформа, способная выдерживать вибрации и нагрев. Превосходная жесткость и низкое тепловое расширение гранита делают его идеальным материалом для инструментов CMP.
4. Оборудование для контроля качества кремниевых пластин
Оборудование для контроля качества кремниевых пластин используется для проверки пластин на наличие дефектов и изъянов. Для обеспечения точных измерений этим инструментам необходима стабильная и ровная поверхность. Гранит обеспечивает стабильную и ровную поверхность, устойчивую к деформации, что делает его идеальным материалом для оборудования для контроля качества кремниевых пластин.
Заключение
В заключение, гранит является широко используемым материалом в индустрии обработки кремниевых пластин благодаря своим исключительным механическим свойствам и долговечности. Он обычно используется в производстве метрологических инструментов, зажимных устройств для пластин, инструментов для химико-механической полировки (CMP) и оборудования для контроля качества пластин. Уникальное сочетание свойств делает его идеальным материалом для применений, требующих высокой точности и аккуратности. Благодаря своим многочисленным преимуществам гранит остается популярным выбором для оборудования обработки кремниевых пластин, и его использование, вероятно, будет продолжать расти в будущем.
Дата публикации: 27 декабря 2023 г.