Гранит — популярный материал в индустрии обработки пластин благодаря своим исключительным механическим свойствам и долговечности. Это природный камень, добываемый в карьерах по всему миру и на протяжении веков используемый в различных строительных целях, включая производство полупроводникового оборудования. В этой статье мы рассмотрим свойства гранита и его применение в оборудовании для обработки пластин.
Свойства гранита
Гранит — магматическая горная порода, состоящая из слюды, полевого шпата и кварца. Он известен своей исключительной прочностью, твёрдостью и долговечностью, что делает его идеальным материалом для применений, требующих высокой точности. Гранит обладает низким коэффициентом теплового расширения, что означает, что он не расширяется и не сжимается при перепадах температур, что обеспечивает его высокую стабильность. Кроме того, гранит устойчив к коррозии и химическим веществам, что делает его идеальным материалом для использования в суровых условиях.
Применение гранита в оборудовании для обработки пластин
Гранит широко используется в производстве пластин благодаря уникальному сочетанию свойств. Ниже приведены некоторые примеры применения гранита в оборудовании для обработки пластин:
1. Метрологические инструменты
Гранит широко используется в производстве метрологических приборов, таких как координатно-измерительные машины (КИМ) и оптические измерительные системы. Для этих приборов требуются прочные поверхности, устойчивые к вибрации и нагреву. Высокая жёсткость и низкое тепловое расширение гранита делают его идеальным материалом для подобных применений.
2. Держатели пластин
Держатели пластин используются для удержания пластин в процессе производства. Для этих держателей требуется ровная и устойчивая поверхность, чтобы предотвратить деформацию или изгиб пластины. Гранит обеспечивает ровную поверхность, которая отличается высокой стабильностью и устойчивостью к деформации, что делает его превосходным материалом для держателей пластин.
3. Инструменты для химико-механической полировки (ХМП)
Инструменты CMP используются для полировки пластин в процессе производства. Для этих инструментов требуется устойчивая платформа, устойчивая к вибрациям и нагреву. Высокая жёсткость и низкое тепловое расширение гранита делают его идеальным материалом для инструментов CMP.
4. Оборудование для инспекции пластин
Оборудование для контроля пластин используется для проверки пластин на наличие дефектов и изъянов. Для обеспечения точности измерений этим приборам требуется устойчивая и ровная поверхность. Гранит обеспечивает устойчивую и ровную поверхность, устойчивую к деформации, что делает его идеальным материалом для оборудования для контроля пластин.
Заключение
В заключение следует отметить, что гранит широко используется в индустрии обработки пластин благодаря своим исключительным механическим свойствам и долговечности. Он широко применяется в производстве метрологических приборов, держателей пластин, инструментов для химической магнитной литья под давлением (CMP) и оборудования для контроля пластин. Уникальное сочетание свойств делает его идеальным материалом для применений, требующих высокой точности. Благодаря своим многочисленным преимуществам гранит остаётся популярным материалом для оборудования для обработки пластин, и его применение, вероятно, будет продолжать расти в будущем.
Время публикации: 27 декабря 2023 г.