Гранит – твердый и прочный материал, который часто используется в строительной отрасли.Однако он также обладает свойствами, которые делают его полезным в производстве полупроводников, особенно при изготовлении и обработке интегральных схем.Гранитные компоненты, такие как гранитные столы и гранитные блоки, широко используются из-за их стабильности, плоскостности и низкого коэффициента теплового расширения.
Одним из основных применений гранитных компонентов в производстве полупроводников является производственный процесс.Кремниевые пластины, основные строительные блоки интегральных схем, должны изготавливаться с высокой точностью и аккуратностью.Любое искажение или движение во время процесса может привести к дефектам, которые могут повлиять на качество и функциональность интегральных схем.Гранитные столы, обладающие высокой стабильностью и плоскостностью, служат хорошей платформой для оборудования по обработке пластин.Они также устойчивы к тепловому расширению и сжатию, вызванным нагреванием и охлаждением, необходимыми в процессе.
Гранитные блоки также используются при обработке полупроводников из-за их термической стабильности.Во время процессов травления или осаждения для модификации поверхности кремниевой пластины используются горячие газы или плазма.Температуру пластины необходимо контролировать, чтобы обеспечить эффективное и точное выполнение процесса.Гранитные блоки с низким коэффициентом теплового расширения помогают стабилизировать температуру пластины, снижая риск колебаний температуры, которые могут повлиять на качество обрабатываемого материала.
Помимо процессов изготовления и обработки, гранитные компоненты также используются на этапах метрологии и контроля при производстве полупроводников.Метрологические измерения проводятся для того, чтобы гарантировать, что размер, форма и положение структур на пластине соответствуют требуемым характеристикам.Гранитные блоки используются в качестве эталонов при этих измерениях из-за их размерной стабильности и точности.Они также используются на этапах проверки, где качество интегральных схем проверяется под большим увеличением.
В целом, использование гранитных компонентов в производстве полупроводников в последние годы увеличилось.Потребность в высокой точности, аккуратности и стабильности при изготовлении и обработке интегральных схем привела к внедрению этих материалов производителями полупроводников.Уникальные свойства гранита, такие как его твердость, стабильность и низкий коэффициент теплового расширения, делают его отличным выбором для использования в этих процессах.Ожидается, что благодаря постоянному развитию и совершенствованию полупроводниковых технологий использование гранитных компонентов в будущем будет расти и дальше.
Время публикации: 05 декабря 2023 г.