Гранит — это твердый и прочный материал, часто используемый в строительстве. Однако он также обладает свойствами, которые делают его полезным в полупроводниковом производстве, особенно при изготовлении и обработке интегральных схем. Гранитные компоненты, такие как гранитные столы и гранитные блоки, широко используются благодаря своей стабильности, плоскостности и низкому коэффициенту теплового расширения.
Одно из основных применений гранитных компонентов в полупроводниковом производстве — это процесс изготовления. Кремниевые пластины, основные строительные блоки интегральных схем, должны изготавливаться с высокой точностью. Любые деформации или смещения в процессе могут привести к дефектам, которые могут повлиять на качество и функциональность интегральных схем. Гранитные столы, благодаря своей высокой стабильности и ровности, обеспечивают хорошую платформу для оборудования для обработки пластин. Они также устойчивы к термическому расширению и сжатию, вызванным нагревом и охлаждением, необходимыми в процессе.
Гранитные блоки также используются в полупроводниковой промышленности благодаря своей термической стабильности. В процессе травления или осаждения для модификации поверхности кремниевой пластины используются горячие газы или плазма. Для обеспечения эффективного и точного проведения процесса необходимо контролировать температуру пластины. Гранитные блоки, благодаря низкому коэффициенту теплового расширения, помогают стабилизировать температуру пластины, снижая риск температурных колебаний, которые могут повлиять на качество обрабатываемого материала.
Помимо процессов изготовления и обработки, гранитные компоненты также используются на этапах метрологии и контроля качества в полупроводниковом производстве. Метрологические измерения проводятся для обеспечения соответствия размеров, формы и положения структур на пластине требуемым спецификациям. Гранитные блоки используются в качестве эталонных стандартов в этих измерениях благодаря их стабильности размеров и точности. Они также используются на этапах контроля качества, где качество интегральных схем проверяется при большом увеличении.
В целом, использование гранитных компонентов в полупроводниковом производстве в последние годы возросло. Потребность в высокой точности, аккуратности и стабильности при изготовлении и обработке интегральных схем стимулировала внедрение этих материалов производителями полупроводников. Уникальные свойства гранита, такие как твердость, стабильность и низкий коэффициент теплового расширения, делают его отличным выбором для использования в этих процессах. С учетом дальнейшего развития и совершенствования полупроводниковых технологий, ожидается дальнейший рост использования гранитных компонентов в будущем.
Дата публикации: 05.12.2023