Гранит — это твердый и прочный материал, который часто используется в строительной отрасли. Однако он также обладает свойствами, которые делают его полезным в производстве полупроводников, в частности, в изготовлении и обработке интегральных схем. Гранитные компоненты, такие как гранитные столы и гранитные блоки, широко используются из-за их стабильности, плоскостности и низкого коэффициента теплового расширения.
Одним из основных применений гранитных компонентов в производстве полупроводников является процесс изготовления. Кремниевые пластины, основные строительные блоки интегральных схем, должны изготавливаться с высокой точностью и аккуратностью. Любое искажение или движение в процессе может привести к дефектам, которые могут повлиять на качество и функциональность интегральных схем. Гранитные столы с их высокой устойчивостью и плоскостностью обеспечивают хорошую платформу для оборудования по обработке пластин. Они также устойчивы к тепловому расширению и сжатию, вызванным нагревом и охлаждением, необходимыми в процессе.
Гранитные блоки также используются в обработке полупроводников из-за их термической стабильности. Во время процессов травления или осаждения горячие газы или плазма используются для модификации поверхности кремниевой пластины. Температуру пластины необходимо контролировать, чтобы гарантировать, что процесс выполняется эффективно и точно. Гранитные блоки с их низким коэффициентом теплового расширения помогают стабилизировать температуру пластины, снижая риск температурных колебаний, которые могут повлиять на качество обрабатываемого материала.
Помимо процессов изготовления и обработки, гранитные компоненты также используются на этапах метрологии и проверки производства полупроводников. Метрологические измерения проводятся для того, чтобы гарантировать, что размер, форма и положение структур на пластине соответствуют требуемым спецификациям. Гранитные блоки используются в качестве эталонов в этих измерениях из-за их размерной стабильности и точности. Они также используются на этапах проверки, где качество интегральных схем проверяется под большим увеличением.
В целом, использование гранитных компонентов в производстве полупроводников возросло в последние годы. Потребность в высокой точности, аккуратности и стабильности при изготовлении и обработке интегральных схем привела к принятию этих материалов производителями полупроводников. Уникальные свойства гранита, такие как его твердость, устойчивость и низкий коэффициент теплового расширения, делают его отличным выбором для использования в этих процессах. С постоянным развитием и совершенствованием полупроводниковых технологий ожидается, что использование гранитных компонентов будет расти и дальше в будущем.
Время публикации: 05.12.2023