Гранит - это твердый и долговечный материал, который часто используется в строительной отрасли. Тем не менее, он также обладает свойствами, которые делают его полезным в производстве полупроводников, особенно при изготовлении и обработке интегрированных цепей. Гранитные компоненты, такие как гранитные таблицы и гранитные блоки, широко используются для их стабильности, плоскостности и низкого коэффициента теплового расширения.
Одним из основных использования гранитных компонентов в производстве полупроводников является процесс изготовления. Кремниевые пластины, основные строительные блоки интегрированных цепей, должны быть изготовлены с высокой точностью и точностью. Любое искажение или движение во время процесса может привести к дефектам, которые могут повлиять на качество и функциональность интегрированных цепей. Гранитные столы, с их высокой стабильностью и плоскостностью, обеспечивают хорошую платформу для оборудования для обработки пластины. Они также устойчивы к термическому расширению и сокращению, вызванным нагревом и охлаждением, необходимым в процессе.
Гранитные блоки также используются в полупроводниковой обработке для их термостабильности. Во время процессов травления или осаждения горячие газы или плазмы используются для модификации поверхности кремниевой пластины. Температура пластины необходимо контролировать, чтобы гарантировать, что процесс выполняется эффективно и точно. Гранитные блоки с их низким коэффициентом термического расширения помогают стабилизировать температуру пластины, снижая риск колебаний температуры, которые могут повлиять на качество обработанного материала.
Помимо процессов изготовления и обработки, гранитные компоненты также используются на этапах метрологии и проверки производства полупроводников. Измерения метрологии проводится, чтобы обеспечить размер, форма и положение структур на пластине, находящиеся в пределах необходимых спецификаций. Гранитные блоки используются в качестве эталонных стандартов в этих измерениях из -за их размерной стабильности и точности. Они также используются на этапах проверки, где качество интегрированных цепей проверяется при высоком увеличении.
В целом, использование гранитных компонентов в производстве полупроводников увеличилось в последние годы. Необходимость высокой точности, точности и стабильности в изготовлении и обработке интегрированных цепей привела к принятию этих материалов производителями полупроводников. Уникальные свойства гранита, такие как его твердость, стабильность и низкий коэффициент термического расширения, делают его отличным выбором для использования в этих процессах. Благодаря продолжающемуся развитию и улучшению полупроводниковых технологий использование гранитных компонентов, как ожидается, будет расти дальше в будущем.
Пост времени: декабрь-05-2023