Гранит — твёрдый и прочный материал, часто используемый в строительстве. Однако он также обладает свойствами, которые делают его полезным в производстве полупроводников, в частности, при изготовлении и обработке интегральных схем. Гранитные изделия, такие как гранитные столы и гранитные блоки, широко используются благодаря своей прочности, плоскостности и низкому коэффициенту теплового расширения.
Одним из основных применений гранитных компонентов в производстве полупроводников является их изготовление. Кремниевые пластины, основные строительные блоки интегральных схем, должны изготавливаться с высокой точностью и аккуратностью. Любое искажение или смещение в процессе производства может привести к дефектам, которые могут повлиять на качество и функциональность интегральных схем. Гранитные столы, благодаря своей высокой устойчивости и ровности, обеспечивают удобную платформу для оборудования по обработке пластин. Они также устойчивы к тепловому расширению и сжатию, возникающим при нагревании и охлаждении, необходимых в процессе производства.
Гранитные блоки также используются в обработке полупроводников благодаря своей термической стабильности. В процессе травления или осаждения для модификации поверхности кремниевой пластины используются горячие газы или плазма. Для обеспечения эффективности и точности процесса необходимо контролировать температуру пластины. Гранитные блоки, благодаря низкому коэффициенту теплового расширения, помогают стабилизировать температуру пластины, снижая риск температурных колебаний, которые могут повлиять на качество обрабатываемого материала.
Помимо процессов изготовления и обработки, гранитные компоненты также используются на этапах метрологии и контроля в производстве полупроводников. Метрологические измерения проводятся для обеспечения соответствия размера, формы и положения структур на пластине требуемым характеристикам. Гранитные блоки используются в качестве эталонов в этих измерениях благодаря своей размерной стабильности и точности. Они также используются на этапах контроля, где качество интегральных схем проверяется под большим увеличением.
В целом, использование гранитных компонентов в производстве полупроводников в последние годы возросло. Необходимость высокой точности, достоверности и стабильности при изготовлении и обработке интегральных схем обусловила переход производителей полупроводников на эти материалы. Уникальные свойства гранита, такие как твёрдость, стабильность и низкий коэффициент теплового расширения, делают его превосходным выбором для этих процессов. В связи с непрерывным развитием и совершенствованием полупроводниковых технологий ожидается дальнейший рост использования гранитных компонентов в будущем.
Время публикации: 05 декабря 2023 г.