Гранитные системы воздушных подшипников широко используются всверхточнаяПлатформы для перемещения объектов в полупроводниковой промышленности, оптической юстировки и нанометровой метрологии.
Эти системы исключают механический контакт за счет использования тонкой пленки сжатого воздуха, что обеспечивает движение с минимальным трением.
Принцип работы воздушного подшипника
Воздушные подшипники работают за счет подачи сжатого воздуха между двумя поверхностями, образуя воздушную пленку толщиной 2–20 мкм.
Это исключает:
- Механическое трение
- Носить
- поведение скольжения-залипания
Система основана на динамике гидропленки и стабильном ламинарном потоке.
Роль гранита
Компания Granite предоставляет следующие услуги:
- Структурная устойчивость
- Подавление теплового дрейфа
- Гашение вибраций
Он служит механической опорной базой для системы перемещения.
Компоненты системы
- Гранитное основание
- Подшипниковые накладки
- Система подачи воздуха
- Прецизионные энкодеры
- Система управления движением
Характеристики производительности
Типичные показатели включают в себя:
- Субмикронная точность позиционирования
- Высокая прямолинейность на больших расстояниях
- Отсутствие механического люфта
К основным источникам ошибок относятся нестабильность давления воздуха, температурный дрейф и ошибка энкодера.
Приложения
- Контроль качества полупроводниковых пластин
- литографические системы
- Оптические платформы для юстировки
- Высокотехнологичные метрологические машины
Часто задаваемые вопросы
Изнашиваются ли воздушные подшипники?
Отсутствие механического контакта исключает износ.
Почему стоит использовать гранит?
Для обеспечения стабильности и гашения вибраций.
Что ограничивает точность?
Стабильность воздуха и тепловые эффекты.
Могут ли они перевозить тяжелые грузы?
Да, в зависимости от конструкции.
Дата публикации: 03.07.2026