♦Глинозем (Al2О3)
Прецизионные керамические детали, производимые ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), могут быть изготовлены из высокочистого керамического сырья, 92~97% глинозема, 99,5% глинозема, >99,9% глинозема, методом холодного изостатического прессования CIP. Высокотемпературное спекание и прецизионная обработка, точность размеров ±0,001 мм, гладкость до Ra0,1, рабочая температура до 1600 градусов. Различные цвета керамики могут быть изготовлены в соответствии с требованиями заказчика, например: черный, белый, бежевый, темно-красный и т. д. Прецизионные керамические детали, производимые нашей компанией, устойчивы к высоким температурам, коррозии, износу и изоляции, и могут использоваться в течение длительного времени в условиях высоких температур, вакуума и агрессивных газов.
Широко используется в различном оборудовании для производства полупроводников: рамы (керамические кронштейны), подложки (основания), рычаги/мосты (манипуляторы), механические компоненты и керамические воздушные подшипники.
| Название продукта | Трубка квадратная из оксида алюминия высокой чистоты 99 пробы | |||||
| Индекс | Единица | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
| Плотность | г/см3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Поглощение воды | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Температура спекания | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Твердость | Мооса | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Прочность на изгиб (20℃)) | МПа | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Прочность на сжатие | Кгс/см2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Длительная рабочая температура | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Макс. рабочая температура | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Объемное сопротивление | 20℃ | Ом. см3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Применение керамики из оксида алюминия высокой чистоты:
1. Применяется в полупроводниковом оборудовании: керамические вакуумные зажимные приспособления, отрезные диски, чистящие диски, керамические ПАТРОНЫ.
2. Детали для переноса пластин: зажимные приспособления для перемещения пластин, диски для резки пластин, диски для очистки пластин, присоски для оптического контроля пластин.
3. Индустрия светодиодных/ЖК-дисплеев с плоским экраном: керамическое сопло, керамический шлифовальный диск, подъемный штифт, штифтовая рейка.
4. Оптическая связь, солнечная энергетика: керамические трубки, керамические стержни, керамические скребки для трафаретной печати на печатных платах.
5. Термостойкие и электроизолирующие детали: керамические подшипники.
В настоящее время керамику из оксида алюминия можно разделить на высокочистую и обычную керамику. Серия керамики из оксида алюминия высокой чистоты относится к керамическому материалу, содержащему более 99,9% Al₂O₃. Из-за температуры спекания до 1650 - 1990 °C и длины волны пропускания 1 ~ 6 мкм ее обычно перерабатывают в плавленое стекло вместо платинового тигля: который может использоваться в качестве натриевой трубки из-за ее светопропускания и коррозионной стойкости к щелочным металлам. В электронной промышленности ее можно использовать в качестве высокочастотного изоляционного материала для подложек ИС. В зависимости от различного содержания оксида алюминия обычную серию керамики из оксида алюминия можно разделить на 99 керамику, 95 керамику, 90 керамику и 85 керамику. Иногда керамику с 80% или 75% оксида алюминия также классифицируют как серию обычной керамики из оксида алюминия. Керамика на основе оксида алюминия марки 99 используется для изготовления высокотемпературных тиглей, огнеупорных труб печей и специальных износостойких материалов, таких как керамические подшипники, керамические уплотнения и клапанные пластины. Керамика на основе оксида алюминия марки 95 в основном используется в качестве коррозионно-стойких и износостойких деталей. Керамика марки 85 часто комбинируется с другими материалами, что улучшает электрические характеристики и механическую прочность. Она может использоваться для изготовления уплотнений из молибдена, ниобия, тантала и других металлов, а некоторые материалы используются в электровакуумных приборах.
| Качественный товар (репрезентативное значение) | Название продукта | АЭС-12 | АЭС-11 | АЕС-11С | АЕС-11Ф | АЭС-22С | АЭС-23 | АЛ-31-03 | |
| Химический состав легкоспекаемого продукта с низким содержанием натрия | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Ржу не могу | % | 0.1 | 0,2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Средний диаметр частиц (МТ-3300, метод лазерного анализа) | мкм | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Размер кристалла α | мкм | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Плотность формования** | г/см³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Плотность спекания** | г/см³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Скорость усадки линии спекания** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO не включен в расчет чистоты Al₂O₃.
* Порошок без окалины 29,4 МПа (300 кг/см²), температура спекания 1600 °C.
AES-11/11C/11F: Добавьте 0,05 ~ 0,1% MgO, спекаемость будет отличной, поэтому его можно применять для керамики из оксида алюминия с чистотой более 99%.
AES-22S: характеризуется высокой плотностью формования и низкой скоростью усадки линии спекания, применим для литья в шликерные формы и других крупногабаритных изделий с требуемой точностью размеров.
AES-23 / AES-31-03: имеет более высокую плотность формования, тиксотропию и меньшую вязкость, чем AES-22S. Первый используется для керамики, а второй — в качестве водоредуцирующей добавки для огнезащитных материалов, приобретая все большую популярность.
♦Характеристики карбида кремния (SiC)
| Общие характеристики | Чистота основных компонентов (мас.%) | 97 | |
| Цвет | Черный | ||
| Плотность (г/см³) | 3.1 | ||
| Водопоглощение (%) | 0 | ||
| Механические характеристики | Прочность на изгиб (МПа) | 400 | |
| Модуль Юнга (ГПа) | 400 | ||
| Твердость по Виккерсу (ГПа) | 20 | ||
| Тепловые характеристики | Максимальная рабочая температура (°С) | 1600 | |
| Коэффициент теплового расширения | КТ~500°С | 3.9 | |
| (1/°С x 10-6) | КТ~800°С | 4.3 | |
| Теплопроводность (Вт/м x К) | 130 110 | ||
| Стойкость к тепловому удару ΔT (°C) | 300 | ||
| Электрические характеристики | Объемное удельное сопротивление | 25°С | 3 х 106 |
| 300°С | - | ||
| 500°С | - | ||
| 800°С | - | ||
| Диэлектрическая проницаемость | 10 ГГц | - | |
| Диэлектрические потери (x 10-4) | - | ||
| Фактор добротности (x 104) | - | ||
| Напряжение пробоя диэлектрика (кВ/мм) | - | ||
♦Керамика из нитрида кремния
| Материал | Единица | Si₃N₄ |
| Метод спекания | - | Спекание под давлением газа |
| Плотность | г/см³ | 3.22 |
| Цвет | - | Темно-серый |
| Скорость водопоглощения | % | 0 |
| Модуль Юнга | Средний балл | 290 |
| Твердость по Виккерсу | Средний балл | 18 - 20 |
| Прочность на сжатие | МПа | 2200 |
| Прочность на изгиб | МПа | 650 |
| Теплопроводность | Вт/мК | 25 |
| Стойкость к тепловому удару | Δ (°С) | 450 - 650 |
| Максимальная рабочая температура | °С | 1200 |
| Объемное сопротивление | Ом·см | > 10 ^ 14 |
| Диэлектрическая проницаемость | - | 8.2 |
| Электрическая прочность диэлектрика | кВ/мм | 16 |