Материал – керамика

♦Оглинозем (Al)2O3)

Прецизионные керамические детали, производимые компанией ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), могут быть изготовлены из высокочистого керамического сырья: 92–97% оксида алюминия, 99,5% оксида алюминия, >99,9% оксида алюминия, методом холодного изостатического прессования (CIP). Высокотемпературное спекание и прецизионная обработка обеспечивают точность размеров ± 0,001 мм, гладкость поверхности до Ra0,1, рабочую температуру до 1600 градусов. По требованию заказчика могут быть изготовлены керамические детали различных цветов, таких как: черный, белый, бежевый, темно-красный и др. Прецизионные керамические детали, производимые нашей компанией, устойчивы к высоким температурам, коррозии, износу и изоляционным свойствам и могут длительное время использоваться в условиях высоких температур, вакуума и агрессивных газов.

Широко используется в различном оборудовании для производства полупроводников: рамах (керамических кронштейнах), подложках (основаниях), манипуляторах (рычагах/мостах), механических компонентах и ​​керамических воздушных подшипниках.

AL2O3

Название продукта Высокочистая 99%-ная керамическая квадратная труба/трубка/стержень из оксида алюминия
Индекс Единица 85 % Al2O3 95 % Al2O3 99 % Al2O3 99,5 % Al2O3
Плотность г/см3 3.3 3.65 3.8 3.9
Водопоглощение % <0.1 <0.1 0 0
Температура спекания 1620 1650 1800 1800
Твердость Мооса 7 9 9 9
Прочность на изгиб (20℃) Мпа 200 300 340 360
Прочность на сжатие Кгс/см2 10000 25000 30000 30000
Длительная рабочая температура 1350 1400 1600 1650
Максимальная рабочая температура 1450 1600 1800 1800
Объемное удельное сопротивление 20℃ Ω. см3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

Применение высокочистой глиноземной керамики:
1. Применяется в полупроводниковом оборудовании: керамический вакуумный патрон, отрезной диск, чистящий диск, керамический патрон.
2. Детали для перемещения пластин: зажимные устройства для перемещения пластин, диски для резки пластин, диски для очистки пластин, присоски для оптического контроля пластин.
3. В индустрии светодиодных/ЖК-панелей: керамические сопла, керамические шлифовальные диски, подъемные штифты, направляющие для штифтов.
4. Оптическая связь, солнечная энергетика: керамические трубки, керамические стержни, керамические скребки для трафаретной печати печатных плат.
5. Термостойкие и электроизолирующие детали: керамические подшипники.
В настоящее время керамику на основе оксида алюминия можно разделить на высокочистую и обычную. Серия высокочистой керамики на основе оксида алюминия включает керамический материал, содержащий более 99,9% Al₂O₃. Благодаря температуре спекания до 1650–1990 °C и длине волны пропускания 1–6 мкм, её обычно перерабатывают в плавленое стекло вместо платинового тигля, которое может использоваться в качестве натриевой трубки благодаря своей светопропускаемости и коррозионной стойкости к щелочным металлам. В электронной промышленности её можно использовать в качестве высокочастотного изоляционного материала для подложек интегральных схем. В зависимости от содержания оксида алюминия, обычную керамику на основе оксида алюминия можно разделить на 99%, 95%, 90% и 85%. Иногда керамику с содержанием оксида алюминия 80% или 75% также относят к обычной керамике на основе оксида алюминия. Среди них 99%-ная керамика на основе оксида алюминия используется для производства высокотемпературных тиглей, огнеупорных труб для печей и специальных износостойких материалов, таких как керамические подшипники, керамические уплотнения и клапанные пластины. 95%-ная керамика в основном используется в качестве коррозионно-стойких износостойких деталей. 85%-ная керамика часто содержит примеси, улучшающие электрические характеристики и механическую прочность. В качестве уплотнений могут использоваться молибден, ниобий, тантал и другие металлы, а некоторые применяются в электровакуумных устройствах.

 

Качественный товар (ориентировочная стоимость) Название продукта АЭС-12 АЭС-11 АЭС-11С АЭС-11Ф АЭС-22С АЭС-23 АЛ-31-03
Продукт с низким содержанием натрия, легко поддающийся спеканию, благодаря своему химическому составу. H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Ржу не могу % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0.11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Средний диаметр частиц (МТ-3300, метод лазерного анализа) мкм 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Размер кристалла мкм 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Плотность формования** г/см³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Плотность спекания** г/см³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Коэффициент усадки линии спекания** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO не учитывается при расчете чистоты Al₂O₃.
* Без образования окалины, давление 29,4 МПа (300 кг/см²), температура спекания 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Добавление 0,05 ~ 0,1% MgO обеспечивает превосходную спекаемость, поэтому подходит для керамики на основе оксида алюминия с чистотой более 99%.
AES-22S: Характеризуется высокой плотностью формования и низким коэффициентом усадки в линии спекания, что позволяет использовать его для литья в шликерные формы и других крупномасштабных изделий с требуемой точностью размеров.
AES-23 / AES-31-03: Обладает более высокой плотностью формования, тиксотропией и более низкой вязкостью, чем AES-22S. Первый используется в керамике, а второй — в качестве водоредуцирующей добавки для огнезащитных материалов, набирая популярность.

♦Характеристики карбида кремния (SiC)

Общие характеристики Чистота основных компонентов (мас. %) 97
Цвет Черный
Плотность (г/см³) 3.1
Водопоглощение (%) 0
Механические характеристики Прочность на изгиб (МПа) 400
Модуль Юнга (ГПа) 400
Твердость по Виккерсу (ГПа) 20
Тепловые характеристики Максимальная рабочая температура (°C) 1600
коэффициент теплового расширения RT~500°C 3.9
(1/°C x 10⁻⁶) RT~800°C 4.3
Теплопроводность (Вт/м х К) 130 110
Термостойкость ΔT (°C) 300
Электрические характеристики Объемное удельное сопротивление 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Диэлектрическая постоянная 10 ГГц -
Диэлектрические потери (x 10⁻⁴) -
Добротность (в 10⁴ раз) -
Напряжение пробоя диэлектрика (кВ/мм) -

20200507170353_55726

♦Керамика из нитрида кремния

Материал Единица Si₃N₄
Метод спекания - Газопод давлением спеченный
Плотность г/см³ 3.22
Цвет - Темно-серый
Скорость водопоглощения % 0
Модуль Юнга Гпа 290
Твердость по Виккерсу Гпа 18 - 20
Прочность на сжатие Мпа 2200
Прочность на изгиб Мпа 650
Теплопроводность Вт/мК 25
Устойчивость к термическому шоку Δ (°C) 450 - 650
Максимальная рабочая температура °С 1200
Объемное удельное сопротивление Ω·cm > 10 ^ 14
Диэлектрическая постоянная - 8.2
Диэлектрическая прочность кВ/мм 16