производство полупроводников
Литография: Литография — ключевой процесс в производстве полупроводников, требующий точного переноса сложных схемных рисунков на кремниевые пластины. Прецизионная активная виброизоляционная платформа XYT на гранитном основании обеспечивает стабильную опору и точное позиционирование литографического оборудования, гарантируя точность позиционирования стола для пластин в процессе экспонирования на нанометровом уровне, эффективно снижая отклонения рисунка, вызванные вибрацией и термической деформацией, и повышая точность и выход годных чипов.
Контроль качества пластин: После завершения производства пластин необходимо провести высокоточный контроль для обнаружения мелких дефектов и повреждений. Прецизионная платформа перемещения XYT с активной виброизоляцией позволяет размещать на ней контрольное оборудование, такое как электронно-лучевой микроскоп, атомно-силовой микроскоп и т. д., обеспечивая стабильное перемещение и точное позиционирование в процессе контроля, что позволяет оборудованию точно сканировать поверхность пластины, повышая разрешение и точность контроля.
производство оптических приборов
Шлифовка и полировка линз: В процессе производства оптических линз необходима высокоточная шлифовка и полировка для получения хороших оптических свойств. Прецизионная платформа перемещения XYT с активной виброизоляцией позволяет точно контролировать траекторию движения шлифовальных и полировальных инструментов, а гранитное основание изолирует внешние вибрации, снижая их влияние на точность обработки и обеспечивая соответствие плоскостности и чистоты поверхности линзы проектным требованиям.
Сборка оптической системы: В процессе сборки оптической системы различные оптические компоненты необходимо точно установить в заданном положении, чтобы обеспечить точное распространение света и качество изображения. Прецизионная активная виброизоляционная платформа XYT с гранитным основанием обеспечивает стабильную опору для установки и регулировки оптических компонентов, а также позволяет осуществлять высокоточную юстировку и сборку оптических компонентов за счет точного управления движением.
аэрокосмическая отрасль
Испытание инерциальной навигационной системы: Инерциальная навигационная система является важным навигационным оборудованием в аэрокосмической отрасли, и ее точность напрямую влияет на точность навигации и безопасность полетов летательных аппаратов. В процессе испытания инерциальной навигационной системы необходимо использовать высокоточный поворотный стол для имитации различных состояний движения летательного аппарата. В качестве опорной платформы для поворотного стола может использоваться высокоточная платформа XYT с активной виброизоляцией. Благодаря точному управлению движением и хорошим виброизоляционным характеристикам она обеспечивает стабильную и точную среду движения для испытания инерциальной навигационной системы, повышая точность и надежность испытаний.
Обработка лопаток авиационных двигателей: Точность обработки лопаток авиационных двигателей оказывает важное влияние на производительность и эффективность двигателя. Для обработки лопаток, например, на пятиосевом обрабатывающем центре, может применяться высокоточная платформа перемещения с активной виброизоляцией XYT, которая, точно контролируя траекторию движения инструмента и поддерживая стабильную рабочую среду, обеспечивает высокоточную обработку лопаток, гарантируя соответствие точности профиля и качества поверхности проектным требованиям.
Научные исследования и испытания
Нанонаучные исследования: В нанонаучных исследованиях необходимо работать с нанообъектами и наблюдать за ними, например, при подготовке наноматериалов и сборке наноустройств. Гранитное основание прецизионной активной виброизоляционной подвижной платформы XYT обеспечивает точность позиционирования на субмикронном или даже наноуровне, создавая стабильную и точную экспериментальную платформу для нанонаучных исследований и помогая ученым лучше изучать тайны наномира.
Биомедицинская визуализация: В биомедицинской области, например, в флуоресцентной микроскопии, конфокальной микроскопии и других устройствах визуализации, для получения биологических изображений высокого разрешения требуется точное позиционирование и стабильная визуализация образца. Прецизионная активная виброизоляционная платформа XYT позволяет перемещать биологические образцы, уменьшая вибрацию и дрейф образцов за счет точного управления движением и хорошей виброизоляции, повышая качество и точность визуализации и помогая биомедицинским исследователям проводить углубленные исследования клеток, тканей и других микроскопических структур.
Дата публикации: 11 апреля 2025 г.