Гранитные платформы на воздушных подшипниках являются неотъемлемой частью высокоточного оборудования, широко используемого в производстве и тестировании полупроводников и микроэлектроники, оптических устройств и спутников. Эти платформы состоят из гранитного основания, в котором размещена подвижная платформа, левитирующая за счет тонкого слоя воздуха и приводимая в движение электромагнитными двигателями и линейными энкодерами. Многочисленные уникальные свойства гранитных платформ на воздушных подшишипниках делают их предпочтительным выбором по сравнению со многими другими типами платформ.
Преимущества гранитных воздушных подшипниковых ступеней:
1. Высокая точность и аккуратность – Гранитные опорные платформы с воздушными подшипниками обеспечивают высокую точность, позволяя поддерживать погрешность в пределах нескольких нанометров. Это крайне важно в таких процессах, как литография, где любая ошибка может привести к существенным изменениям в конечном продукте.
2. Высокая грузоподъемность – Гранитные платформы на воздушных подшипниках имеют прочное гранитное основание, позволяющее им выдерживать большие нагрузки, в отличие от других альтернатив, таких как платформы на шарикоподшипниках. Эта особенность делает их идеальными для работы с крупными пластинами и инструментами, используемыми в производстве полупроводников и микроэлектроники.
3. Плавное и бесшумное движение без трения – Гранитные опоры на воздушных подшипниках удерживают подвижную платформу в тонком слое воздуха, что исключает любой контакт между платформой и основанием. Таким образом, между движущимися частями отсутствует трение, что обеспечивает плавное и безвибрационное движение.
4. Высокоскоростные возможности – Электромагнитные двигатели, используемые в гранитных платформах с воздушными подшипниками, обеспечивают высокоскоростное перемещение, что делает их идеальными для позиционирования, сканирования и других высокоточных задач.
5. Долговечность и минимальное техническое обслуживание – Гранитное основание, образующее фундамент сцены, обладает исключительной жесткостью, термостойкостью и устойчивостью к износу. Поэтому гранитные сцены на воздушной подушке требуют минимального технического обслуживания и имеют длительный срок службы.
Недостатки гранитных воздушных подшипниковых ступеней:
1. Стоимость – Использование передовых технологий при проектировании и производстве гранитных сцен с воздушной опорой делает их дорогостоящим приобретением. Это может стать недостатком для малых предприятий или компаний с ограниченным бюджетом.
2. Сложная установка – Гранитные воздушные подшипниковые ступени требуют специальных знаний и опыта при установке, калибровке и эксплуатации, что делает их сложной задачей для неспециалистов.
3. Чувствительность к вибрации – Несмотря на то, что гранитные платформы с воздушными подшипниками спроектированы для обеспечения плавного и безвибрационного движения, они могут подвергаться воздействию внешних вибраций, нарушающих хрупкое равновесие плавучей платформы.
В заключение, гранитные пневматические опорные платформы представляют собой высокоэффективное и точное решение для высокоточных применений, требующих плавного и быстрого перемещения больших грузов. Их прочность, долговечность и длительный срок службы делают их предпочтительным выбором для многих производственных, испытательных и исследовательских операций. Хотя высокая первоначальная стоимость и сложная установка могут быть недостатком, преимущества, предлагаемые гранитными пневматическими опорными платформами, перевешивают их недостатки, что делает их отличной инвестицией в высокоточное оборудование.
Дата публикации: 20 октября 2023 г.