Поскольку полупроводниковая промышленность активно внедряет технологические процессы с размером менее 2 нм, допустимая погрешность механических повреждений практически исчезла. В этой среде с высокими ставками стабильность технологической камеры перестала быть второстепенным вопросом; она стала основным узким местом, ограничивающим выход годной продукции. В ZHHIMG мы наблюдаем фундаментальный сдвиг в подходе мировых OEM-производителей к обеспечению структурной целостности полупроводникового оборудования.
Физика тишины: передовые методы гашения вибраций
В современном производстве кремниевых пластин вибрации, которые когда-то считались «фоновым шумом», теперь стали катастрофическими. Будь то микроколебания от системы отопления, вентиляции и кондиционирования воздуха на предприятии или внутренняя инерция высокоскоростного сканирующего столика, неконтролируемая энергия напрямую приводит к ошибкам совмещения и размытию изображений.
Современные методы гашения вибраций в полупроводниковом производстве развились в многослойную архитектуру. Хотя пассивное демпфирование — с использованием массивных материалов, таких как минеральный литьё или высокоточный гранит — остаётся основой, мы наблюдаем резкий рост интеграции активного демпфирования.
Активные системы используют пьезоэлектрические актуаторы и датчики реального времени для «гашения» вибраций путем генерации контрчастот. Однако эффективность активных систем по своей природе ограничена коэффициентом демпфирования базового материала. Именно здесь опыт ZHHIMG в области высокодемпфирующих конструкционных материалов становится критически важным. Сочетая активную электронику с естественно инертным гранитным или композитным основанием, мы создаем «тихую зону», где нанопозиционирование может происходить без помех.
Развитие технологии безфрикционного движения: воздушные подшипники
Потребность в повышении производительности довела возможности традиционных механических подшипников до предела. Трение приводит к выделению тепла, а тепло — к тепловому расширению, что является врагом точности. Это привело к широкому распространению...технология воздушных подшипников для прецизионных ступеней.
Пневматические подшипники поддерживают нагрузку на тонкой пленке сжатого воздуха, обычно толщиной всего в несколько микрон. Поскольку физического контакта нет, статическое трение (липкость) равно нулю. Это позволяет:
-
Движение без гистерезиса: обеспечение возврата предметного столика точно в одну и ту же нанометровую координату каждый раз.
-
Постоянство скорости: критически важно для сканирующих приложений, таких как электронно-лучевая дефектоскопия, где даже малейшее «заедание» механического подшипника может исказить изображение.
-
Исключительная долговечность: поскольку отсутствуют соприкасающиеся детали, нет износа и образования частиц, что делает их идеальными для чистых помещений класса 1.
В компании ZHHIMG мы производим сверхплоские гранитные поверхности, которые служат направляющими для этих воздушных подшипников. Для правильной работы эти поверхности должны быть отшлифованы до плоскостности, измеряемой в долях длины волны света.
Тенденции в сфере капитального оборудования для полупроводниковой промышленности: 2026 год и далее.
По мере приближения к 2026 году,тенденции в сфере капитального оборудования для полупроводниковой промышленностиИх отличают «три столпа»: модульность, экологичность и терморегулирование.
-
Модульная конструкция платформы: производители оборудования стремятся к созданию базовых модулей, готовых к использованию сразу после подключения. Вместо разработки новой базы для каждого инструмента, они используют стандартизированные прецизионные основания ZHHIMG, которые можно адаптировать для литографии, метрологии или травления.
-
Теплоотвод: Поскольку источники экстремального ультрафиолетового излучения (EUV) выделяют огромное количество тепла, основание станка должно выступать в качестве массивного теплоотвода. Мы интегрируем сложные каналы охлаждения непосредственно в наши компоненты из минерального и гранитного металла, чтобы поддерживать разницу температур в пределах $<0,01^\circ\text{C}$.
-
Совместимость с вакуумом: Поскольку все больше производственных процессов переходят в условия высокого вакуума, используемые материалы должны быть абсолютно газовыделяющими. Наша специализированная обработка гранита и керамики гарантирует, что целостность вакуума никогда не будет нарушена структурным фундаментом.
Стратегическое партнерство с ZHHIMG
ZHHIMG — это не просто производитель компонентов; мы являемся стратегическим партнером в цепочке поставок систем управления движением. Наше предприятие в Китае работает в тесном сотрудничестве с инженерными группами в Силиконовой долине и Эйндховене для решения самых сложных задач обеспечения стабильности в отрасли.
Благодаря использованию наших запатентованных технологий притирки и глубокому пониманию...методы гашения вибрацийМы помогаем нашим клиентам расширять границы действия закона Мура. Независимо от того, разрабатываете ли вы оборудование следующего поколения для ALD (атомно-слоевого осаждения) или высокоскоростной зонд для пластин, фундамент закладывается с помощью ZHHIMG.
Заключение
Эволюция производства полупроводников — это гонка с законами физики. По мере приближения к 2026 году внимание к точности воздушных подшипников и передовым методам демпфирования будет только усиливаться. Чтобы оставаться впереди этих тенденций, необходим фундамент — как в прямом, так и в переносном смысле — построенный на экспертизе и инновациях.
Дата публикации: 26 января 2026 г.