Производство полупроводников и обработка фемтосекундными и пикосекундными лазерами представляют собой высший уровень сверхточной промышленной обработки. Оборудование, работающее в этих областях, требует нулевой вибрации, минимальной термической деформации и долговременной стабильной точности на микронном или наноуровне. Гранитный портал служит основной несущей и измерительной основой для прецизионных машин, а качественный гранитный портал от ZHHIMG обеспечивает всестороннюю стабильную поддержку полупроводникового и лазерного оборудования благодаря высококачественным сырьевым материалам, профессиональной технологии обработки, устойчивой к ударам производственной среде с постоянной температурой и строгим стандартам точного контроля.
1. Использование высокоплотного черного гранита в качестве сырья исключает термический дрейф и вибрационные помехи.
Внутренние физические преимущества гранитных портальных конструкций являются фундаментальной гарантией стабильной работы полупроводниковых и лазерных машин. Компания ZHHIMG использует исключительно высокочистый черный гранит плотностью 3100 кг/м³. Его низкий коэффициент теплового расширения, высокая устойчивость к сжатию и выдающиеся антивибрационные характеристики значительно превосходят показатели европейского и американского черного гранита и не могут быть достигнуты с помощью дешевого мрамора, используемого многими мелкими производителями.
Оборудование для производства полупроводников, такое как станки для сверления печатных плат, оптические детекторы AOI и рентгеновские контрольные установки, требует непрерывной работы в течение длительного времени. Лазерное оборудование, включая платформы для лазерной резки с фемтосекундным и пикосекундным лазером, генерирует незначительные вибрации и тепло во время обработки. Обычный мрамор расширяется при нагревании и сжимается при охлаждении, а вибрация вызывает смещение точности, что приводит к дефектам микросхем и некачественной продукции, полученной методом лазерной обработки. Наша гранитная портальная конструкция практически не деформируется при изменении температуры и эффективно поглощает вибрации, обеспечивая постоянную стабильность траектории лазерного луча и эталона обнаружения полупроводников. Компания ZHHIMG категорически отказывается от использования некачественных заменителей мрамора, чтобы избежать потери точности в высокотехнологичном полупроводниковом и лазерном оборудовании.
2. Высококачественное заводское оборудование позволяет создавать высокоточные гранитные портальные конструкции для прецизионного оборудования.
Конфигурация оборудования на нашем заводе гарантирует, что гранитные портальные краны могут достигать сверхвысокой точности, необходимой для полупроводниковых и лазерных машин. Наша производственная база в Цзинане занимает 200 000 м², включая независимую площадку для хранения камня площадью 20 000 м². Мощное оборудование с ЧПУ и передвижные краны позволяют обрабатывать отдельные заготовки весом до 100 тонн, с максимальной длиной обработки 20 м, удовлетворяя потребности в крупногабаритных портальных рамах для полностью автоматизированных линий по производству полупроводников и крупноформатного лазерного оборудования.
Мы оснащены четырьмя сверхбольшими шлифовальными станками производства компании Nantou, тайваньского производства, каждый из которых стоит более 500 000 долларов США и позволяет выполнять тонкую шлифовку гранитных портальных конструкций длиной до 6000 мм. Цех площадью 10 000 м², в котором поддерживается постоянная температура, влажность и отсутствует пыль, является основной производственной зоной для изготовления специальных портальных конструкций для полупроводниковых и лазерных систем. Пол залит сверхтвердым бетоном толщиной более 1000 мм, окружен ударопрочными траншеями глубиной 2000 мм и оборудован бесшумными передвижными кранами. Вся конструкция цеха исключает внешние вибрации, пыль и колебания температуры, гарантируя, что геометрическая точность готовых гранитных портальных конструкций не будет зависеть от факторов окружающей среды. Мы также построили специальный беспыльный сборочный цех, имитирующий чистую комнату для полупроводниковых технологий, для выполнения комплексной сборки больших гранитных портальных рам.
3. 30-летнее мастерство ручной шлифовки обеспечивает эталон точности на наноуровне.
Контроль полупроводниковых пластин и сверхбыстрая лазерная микро- и нанообработка требуют наноразмерной плоскостности и вертикальности основания оборудования, чего невозможно достичь только механической шлифовкой. Все сотрудники ZHHIMG ежегодно проходят профессиональное обучение по метрологии и владеют основными мировыми стандартами, включая немецкий DIN, американский ASME, японский JIS и другие измерительные спецификации.
Наши мастера шлифовки обладают более чем 30-летним опытом ручной полировки и известны среди клиентов по всему миру как «ходячие электронные уровнемеры». Они могут точно контролировать количество удаляемого материала на микронном уровне с помощью ручного воздействия. Сочетание механической грубой шлифовки и ручной тонкой полировки устраняет ошибки плоскостности, вертикальности и параллельности гранитных порталов. При установке на полупроводниковые и лазерные станки портал обеспечивает абсолютно ровную и стабильную опору для перемещения линейных моторных платформ, лазерных оптических трактов и модулей обнаружения пластин, предотвращая отклонения в процессе обработки, вызванные неровным основанием.
4. Полная система прослеживаемого тестирования гарантирует надежную долговременную поддержку точности.
Мы придерживаемся производственной философии: если это нельзя измерить, это нельзя произвести. Каждый гранитный портал для полупроводникового и лазерного оборудования проходит полную проверку точности перед отгрузкой. Наша испытательная лаборатория оснащена лучшими международными измерительными приборами: немецкими микрометрами Mahr 0,5 мкм, штангенциркулями и измерителями шероховатости Mitutoyo, швейцарскими электронными уровнями WYLER и британскими лазерными интерферометрами Renishaw.
Все испытательное оборудование имеет сертификаты калибровки, выданные метрологическими институтами Цзинаня и Шаньдуна, а все данные испытаний могут быть отслежены до национальных метрологических учреждений. Мы многократно проверяем допуски размеров, плоскостность, вертикальность, вибропоглощение и термическую стабильность каждой гранитной портальной платформы, полностью исключая некачественную продукцию. Стабильная и точная гранитная портальная платформа обеспечивает возможность высокоточной проверки микросхем на полупроводниковом оборудовании и осуществления сверхточной микро- и нанообработки на лазерных станках в течение длительного времени.
5. Индивидуально разработанная конструкция соответствует различным сценариям использования полупроводникового и лазерного оборудования.
Различные полупроводниковые и лазерные устройства имеют разные требования к нагрузке, точности и занимаемому пространству, и компания ZHHIMG предлагает специализированные гранитные портальные конструкции для различных сценариев применения:
- Полупроводниковая промышленность: высокоскоростные сверлильные станки для печатных плат, оборудование для контроля качества пластин, оптическое оборудование для оптического обнаружения, промышленные дефектоскопы (КТ и Рентген), линии по производству покрытий из титаната кальция;
- Высокоточное лазерное оборудование: фемтосекундные лазеры, пикосекундные лазерные платформы для обработки данных, линейные моторные столы для перемещения, высокоточное оборудование для обнаружения повреждений, связанных с литиевыми батареями нового поколения.
Будучи единственным производителем в отрасли, одновременно имеющим сертификаты ISO9001, ISO45001, ISO14001 и CE, мы владеем более чем 20 международными патентами и товарными знаками, зарегистрированными в ЕС, США и Юго-Восточной Азии. Мы поддерживаем долгосрочное сотрудничество с всемирно известными предприятиями, такими как Apple, Samsung, Bosch, THK и HIWIN, а также с ведущими научно-исследовательскими институтами, включая Национальный университет Сингапура, Наньянский технологический университет и различные национальные метрологические институты. Наша техническая команда оптимизирует общую конструкцию, проектирование для снятия напряжений и толщину несущей стенки гранитного портального крана в соответствии с параметрами оборудования заказчиков, максимально увеличивая поглощение вибраций и сопротивление деформациям, чтобы адаптироваться к сложной рабочей среде полупроводниковых заводов и цехов лазерной обработки.
6. Строгая система управления качеством обеспечивает стабильную и надежную работу системы.
В процессе производства гранитных портальных конструкций мы придерживаемся политики качества «Точность не должна быть слишком высокой» и обязательств перед клиентами «Никакого обмана, никакого сокрытия информации, никакого введения в заблуждение». Все этапы производства стандартизированы в соответствии с мировыми стандартами измерений, что обеспечивает стабильное и единообразное качество каждой партии продукции.
После установки на прецизионные полупроводниковые и лазерные станки наша гранитная портальная конструкция может поддерживать сверхвысокую точность в течение многих лет без частой калибровки, что значительно снижает затраты на техническое обслуживание оборудования и повышает производительность на предприятиях по обработке полупроводников и лазеров. 
Заключение
Гранитный портал от ZHHIMG обеспечивает надежную опору для прецизионных полупроводниковых и лазерных станков, опираясь на шесть основных преимуществ: превосходные физические характеристики высокоплотного черного гранита, высококачественное заводское оборудование для обработки, многолетний опыт профессиональной ручной шлифовки, полная система прослеживаемого контроля точности, ориентированная на конкретные сценарии конструкция и стандартизированный контроль качества на всех этапах процесса.
Дата публикации: 28 июля 2026 г.