В области производства полупроводников субмикронная точность является ключом к обеспечению производительности микросхем, и гранитная основа (ZHHIMG®), благодаря своим материальным свойствам, точной обработке и инновационному дизайну, стала основной гарантией достижения этой точности.
С точки зрения материальных свойств, выбранный компанией ZHHIMG® черный гранит имеет плотность приблизительно 3100 кг/м³ и плотную внутреннюю структуру. Эта высокая плотность обеспечивает ему исключительную стабильность и жесткость. Во время работы полупроводникового оборудования вращение двигателей и движение механических компонентов внутри оборудования генерируют вибрации. Гранитное основание эффективно поглощает более 90% энергии вибрации, значительно снижая ее влияние на точность оборудования. В то же время, его чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения позволяет ему сохранять деформацию в очень малых пределах при колебаниях температуры окружающей среды, обеспечивая стабильную опору для полупроводникового оборудования и предотвращая смещение компонентов оборудования из-за изменений температуры, что может повлиять на точность.
В области обработки и производства завод ZHHIMG® использует передовое международное оборудование и располагает четырьмя сверхкрупными шлифовальными станками (стоимость каждого из которых превышает 500 000 долларов США), способными выполнять высокоточную шлифовку гранита. Благодаря пятиосевой обработке на станках с ЧПУ и другим процессам плоскостность станочного основания достигает нанометрового уровня, обеспечивая сверхплоскую эталонную поверхность для установки полупроводникового оборудования и гарантируя точное позиционирование каждого компонента оборудования. Кроме того, цех с постоянной температурой и влажностью (площадью 10 000 квадратных метров) обеспечивает стабильную среду для обработки. Антивибрационные канавки шириной 500 мм и глубиной 2000 мм вокруг него, а также бесшумные краны эффективно изолируют внешние вибрационные помехи и обеспечивают точность обработки станочного основания.
Кроме того, компания ZHHIMG® обладает широкими возможностями индивидуальной настройки. Для удовлетворения особых требований полупроводникового оборудования могут быть предварительно изготовлены точные монтажные отверстия и кабельные лотки, что обеспечивает идеальную совместимость оборудования с основанием. В то же время, в сочетании с метрологическим и испытательным оборудованием мирового класса, таким как немецкий минутный измеритель Mahr (с точностью до 0,5 мкм) и швейцарский электронный уровень WYLER, основание оборудования проходит строгую проверку и калибровку, чтобы гарантировать соответствие каждого основания оборудования жестким требованиям к точности на субмикронном уровне, предъявляемым к полупроводниковому оборудованию.
Именно сочетание этих преимуществ делает гранитное основание ZHHIMG® надежным выбором для достижения субмикронной точности в полупроводниковом оборудовании, способствуя переходу полупроводникового производства к более высокоточным областям.
Дата публикации: 18 июня 2025 г.