Сверхточная гранитная подставка для контроля и метрологии кремниевых пластин.

1. Превосходные материалы: черный гранит ZHHIMG®

В отличие от стандартного гранита или, что еще хуже, мрамора более низкого качества, используемого менее добросовестными производителями, основания ZHHIMG изготавливаются исключительно из нашего фирменного черного гранита ZHHIMG®.

● Исключительная плотность: Наш материал обладает впечатляющей плотностью ≈ 3100 кг/м³, превосходящей плотность многих обычных черных гранитов из Европы и Америки.

● Термическая стабильность: Высокая плотность и минимальное водопоглощение обеспечивают превосходную стабильность размеров, значительно снижая влияние температурных колебаний во время критически важных циклов контроля.

● Виброгашение: Естественная минеральная структура обеспечивает превосходное внутреннее демпфирование, необходимое для изоляции чувствительной оптики и датчиков от внешних вибраций.

2. Непревзойденные производственные и сборочные возможности.

Наша приверженность точности выражена в нашем главном убеждении: «В сфере высокоточной обработки информации не должно быть слишком много требований».

● Мастерство исполнения: Наши основания обрабатываются вручную опытными мастерами, многие из которых имеют более 30 лет опыта, способными достичь плоскостности и параллельности поверхности с точностью до нанометра — точность, подтвержденная лазерными интерферометрами Renishaw и электронными уровнями WYLER.

● Контролируемая среда: Механическая обработка и окончательная сборка проводятся в нашей чистой комнате площадью 10 000 м² с регулируемой температурой и влажностью (имитирующей строгие условия производства полупроводников). Это помещение имеет бетонный фундамент толщиной 1000 мм и антивибрационные траншеи глубиной 2000 мм, что обеспечивает действительно стабильную метрологическую среду.

3. Интегрированная высокоточная конструкция (как показано на изображении)

Основание обычно поставляется в виде сложной сборки, часто включающей в себя:

● L-образные/портальные конструкции: предназначены для поддержки вертикального перемещения (по оси Z) головок визуализации, обеспечивая ортогональность и геометрическую точность.

● Прецизионные канавки и вставки: Предварительно обработанные поверхности с резьбовыми стальными вставками и прецизионными отверстиями для штифтов для установки воздушных подшипников, линейных двигателей (XY-столов), систем машинного зрения и направляющих (THK, HIWIN, Rexroth).

● Индивидуальный подход: Мы специализируемся на крупномасштабной механической обработке и можем изготавливать монолитные гранитные основания длиной до 20 м и весом до 100 тонн, точно соответствующие габаритам вашего оборудования.