Материал - керамика

♦ Ошибка (AL2O3)

Точные керамические детали, произведенные Zhonghui Intelly Manufacturing Group (ZHHIMG), могут быть изготовлены из керамического сырья высокой чистоты, 92 ~ 97% глинозема, 99,5% глинозема,> 99,9% глинозем и изостатического пресса CIP. Высокая температурная спекания и точная обработка, точность размеров ± 0,001 мм, гладкость до RA0,1, используйте температуру до 1600 градусов. Различные цвета керамики могут быть сделаны в соответствии с требованиями клиентов, такими как: черный, белый, бежевый, темно -красный и т. Д. Точные керамические детали, произведенные нашей компанией, устойчивы к высокой температуре, коррозии, износу и изоляции и могут долгое время использоваться в высокой температуре, вакуумной и коррозионной газовой среде.

Широко используется в различных полупроводниковых производственных оборудовании: рамы (керамический кронштейн), субстрат (основание), рука/ мост (манипулятор), механические компоненты и керамический воздушный подшипник.

Al2O3

Название продукта Высокая чистота 99 глиноземной керамическая квадратная трубка / труба / стержень
Индекс Единица 85 % Al2O3 95 % Al2O3 99 % Al2O3 99,5 % Al2O3
Плотность G/CM3 3.3 3.65 3.8 3.9
Водяной поглощение % <0,1 <0,1 0 0
Спеченная температура 1620 1650 1800 1800
Твердость Мохс 7 9 9 9
Изгибающая сила (20 ℃)) МПА 200 300 340 360
Прочность на сжатие KGF/CM2 10000 25000 30000 30000
Давняя рабочая температура 1350 1400 1600 1650
Максимум Рабочая температура 1450 1600 1800 1800
Объемный удельное сопротивление 20 ℃ Ω. CM3 > 1013 > 1013 > 1013 > 1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ > 109 > 1010 > 1012 > 1012

Применение керамики с высокой чистотой глиноземой:
1. Применяется к полупроводниковым оборудованию: керамический вакуумный патрон, режущий диск, чистящий диск, керамический патрон.
2. Переводные детали: патроны для обработки пластин, диски для резки пластин, диски для очистки пластин, оптические инспекционные чашки с оптической проверкой.
3. Светодиодный / ЖК -дисплей.
4. Оптическая связь, Солнечная промышленность: керамические трубки, керамические стержни, печать печать европейской платы.
5. Теплостойкие и электрически изолирующие детали: керамические подшипники.
В настоящее время керамика оксида алюминия можно разделить на высокую чистоту и общую керамику. Серия керамики с высокой чистотой керамикой оксида алюминия относится к керамическому материалу, содержащему более 99,9% al₂o₃. Из -за температуры спекания до 1650 - 1990 ° C и длины волны передачи 1 ~ 6 мкм он обычно обрабатывается в слитое стекло вместо платинового тигара: который может использоваться в качестве натриевой трубки из -за его световой пропускания и коррозионной устойчивости к щелочному металлу. В электронике он может использоваться в качестве высокочастотного изоляционного материала для подложки IC. Согласно различному содержанию оксида алюминия, общие керамические серии оксида алюминия можно разделить на 99 керамику, 95 керамики, 90 керамики и 85 керамики. Иногда керамика с 80% или 75% оксида алюминия также классифицируется как распространенная керамическая серия оксида алюминия. Среди них 99 керамический материал из оксида алюминия используется для получения высокотемпературных тигных, огнеупорных печи и специальных материалов, устойчивых к износостойкому, таким как керамические подшипники, керамические уплотнения и клапанные пластины. 95 Алюминиевая керамика в основном используется в качестве коррозионной устойчивой к износостойкой части. 85 Керамика часто смешивается в некоторых свойствах, тем самым улучшая электрические характеристики и механическую прочность. Он может использовать молибдена, ниобий, тантал и другие металлические уплотнения, а некоторые используются в качестве электрических вакуумных устройств.

 

Качественный пункт (репрезентативная стоимость) Название продукта AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22s AES-23 Аль-31-03
Химический композиция низкоодиум легкий спекающий продукт H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Ржу не могу % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
Sio₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Наг % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
Mgo* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Диаметр средней частицы (MT-3300, метод лазерного анализа) мкм 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α -кристалл размер мкм 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Формирование плотности ** G/CM³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Плотность спекания ** G/CM³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Сокращение скорости спекания ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MGO не включен в расчет чистоты al₂o₃.
* Нет масштабирующего порошка 29,4 МПа (300 кг/см²), температура спекания составляет 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: добавить 0,05 ~ 0,1% MGO, спекание превосходна, поэтому она применима к керамике оксида алюминия с чистотой более 99%.
AES-22S: характеризуется высокой плотностью формирования и низкой скоростью сжимания линии спекания, применимо к литью формы скольжения и другие крупномасштабные продукты с необходимой точностью размеров.
AES-23 / AES-31-03: он имеет более высокую плотность формирования, тиксотропию и более низкую вязкость, чем AES-22. Первый используется для керамики, в то время как последняя используется в качестве восстановителя воды для огнестрельных материалов, набирая популярность.

♦ Характеристики карбида кремния (sic)

Общие характеристики Чистота основных компонентов (WT%) 97
Цвет Черный
Плотность (г/см сегодня) 3.1
Водопоглощение (%) 0
Механические характеристики Прочность на изгиб (MPA) 400
Молодой модуль (GPA) 400
Твердость Виккерса (GPA) 20
Тепловые характеристики Максимальная рабочая температура (° C) 1600
Коэффициент термического расширения RT ~ 500 ° C. 3.9
(1/° C x 10-6) RT ~ 800 ° C. 4.3
Теплопроводность (W/M x K) 130 110
Устойчивость к тепловым ударам ΔT (° C) 300
Электрические характеристики Объемный удельное сопротивление 25 ° C. 3 x 106
300 ° C. -
500 ° C. -
800 ° C. -
Диэлектрическая постоянная 10 ГГц -
Диэлектрическая потеря (x 10-4) -
Q -фактор (x 104) -
Диэлектрическое напряжение разбивки (кВ/мм) -

20200507170353_55726

♦ Керамика нитрида кремния

Материал Единица Si₃n₄
Метод спекания - Давление газа спечено
Плотность G/CM³ 3.22
Цвет - Темно -серый
Скорость поглощения воды % 0
Молодой модуль Средний балл 290
Виккерс твердость Средний балл 18 - 20
Прочность на сжатие МПА 2200
Изгибающая сила МПА 650
Теплопроводность W/mk 25
Устойчивость к тепловым ударам Δ (° C) 450 - 650
Максимальная рабочая температура ° C. 1200
Объемный удельное сопротивление Ω · см > 10 ^ 14
Диэлектрическая постоянная - 8.2
Диэлектрическая прочность кВ/мм 16