♦Глинозем (Ал2О3)
Прецизионные керамические детали, производимые интеллектуальной производственной группой ZhongHui (ZHHIMG), могут быть изготовлены из керамического сырья высокой чистоты, 92 ~ 97% глинозема, 99,5% глинозема,> 99,9% глинозема и холодного изостатического прессования CIP.Высокотемпературное спекание и прецизионная механическая обработка, точность размеров ± 0,001 мм, гладкость до Ra0,1, температура использования до 1600 градусов.В соответствии с требованиями клиентов могут быть изготовлены различные цвета керамики, такие как: черный, белый, бежевый, темно-красный и т. д. Прецизионные керамические детали, производимые нашей компанией, устойчивы к высоким температурам, коррозии, износу и изоляции, а также могут быть используется в течение длительного времени в условиях высокой температуры, вакуума и агрессивной газовой среды.
Широко используется в разнообразном оборудовании для производства полупроводников: рамы (керамический кронштейн), подложка (основание), рычаг/мост (манипулятор), механические компоненты и керамический воздушный подшипник.
наименование товара | Керамические квадратные трубка/труба/стержень из глинозема особой чистоты 99 | |||||
Индекс | Единица | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Плотность | г/см3 | 3.3 | 3,65 | 3,8 | 3,9 | |
Впитывание воды | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Спеченная температура | ℃ | 1620 г. | 1650 г. | 1800 г. | 1800 г. | |
Твердость | Моос | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Прочность на изгиб (20 ℃)) | МПа | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Прочность на сжатие | кгс/см2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Длительная рабочая температура | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 г. | |
Макс.Рабочая температура | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 г. | 1800 г. | |
Объемное сопротивление | 20℃ | Ом.см3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Применение керамики из глинозема высокой чистоты:
1. Применяется к полупроводниковому оборудованию: керамическому вакуумному патрону, отрезному диску, чистящему диску, керамическому патрону.
2. Детали для передачи пластин: патроны для обработки пластин, диски для резки пластин, диски для очистки пластин, присоски для оптического контроля пластин.
3. Светодиодный/ЖК-дисплей с плоской панелью: керамическое сопло, керамический шлифовальный диск, ПОДЪЕМНЫЙ ПИН, ПИН-рейка.
4. Оптическая связь, солнечная промышленность: керамические трубки, керамические стержни, керамические скребки для трафаретной печати на печатных платах.
5. Термостойкие и электроизоляционные детали: керамические подшипники.
В настоящее время керамику из оксида алюминия можно разделить на керамику высокой чистоты и обычную керамику.Серия керамики из оксида алюминия высокой чистоты относится к керамическому материалу, содержащему более 99,9% Al₂O₃.Из-за температуры спекания до 1650–1990 ° C и длины волны пропускания 1 ~ 6 мкм его обычно перерабатывают в плавленое стекло вместо платинового тигля: который можно использовать в качестве натриевой трубки из-за его светопропускания и коррозионной стойкости к щелочной металл.В электронной промышленности его можно использовать в качестве высокочастотного изоляционного материала для подложек микросхем.В зависимости от различного содержания оксида алюминия общую серию керамики из оксида алюминия можно разделить на керамику 99, керамику 95, керамику 90 и керамику 85.Иногда керамику с 80% или 75% оксида алюминия также классифицируют как обычную серию керамики из оксида алюминия.Среди них керамический материал из оксида алюминия 99 используется для производства высокотемпературных тиглей, огнезащитных печных труб и специальных износостойких материалов, таких как керамические подшипники, керамические уплотнения и тарелки клапанов.Алюминиевая керамика 95 в основном используется в качестве коррозионно-стойкой и износостойкой детали.Керамику 85 часто смешивают с некоторыми свойствами, тем самым улучшая электрические характеристики и механическую прочность.В нем могут использоваться уплотнения из молибдена, ниобия, тантала и других металлов, а некоторые из них используются в качестве электровакуумных устройств.
Качественный товар (репрезентативная стоимость) | наименование товара | АЭС-12 | АЭС-11 | АЕС-11С | АЭС-11Ф | АЭС-22С | АЭС-23 | АЛ-31-03 | |
Химический состав Продукт для легкого спекания с низким содержанием натрия | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Ржу не могу | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Ал₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Средний диаметр частиц (МТ-3300, метод лазерного анализа) | мкм | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Размер кристалла | мкм | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Плотность формовки** | г/см³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2,57 | 2,56 | |
Плотность спекания** | г/см³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Скорость усадки линии спекания** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO не учитывается при расчете чистоты Al₂O₃.
* Без окалины 29,4МПа (300кг/см²), температура спекания 1600°С.
AES-11/11C/11F: добавьте 0,05 ~ 0,1% MgO, спекаемость отличная, поэтому применима к керамике из оксида алюминия с чистотой более 99%.
AES-22S: Характеризуется высокой плотностью формования и низкой скоростью усадки линии спекания, применяется для литья в шликерных формах и других крупносерийных изделий с необходимой точностью размеров.
AES-23/AES-31-03: Имеет более высокую плотность формовки, тиксотропию и меньшую вязкость, чем AES-22S.первый используется для керамики, а второй - в качестве водоредуцирующего средства для огнезащитных материалов, что набирает популярность.
♦Характеристики карбида кремния (SiC).
Общие характеристики | Чистота основных компонентов (мас.%) | 97 | |
Цвет | Черный | ||
Плотность (г/см³) | 3.1 | ||
Впитывание воды (%) | 0 | ||
Механические характеристики | Прочность на изгиб (МПа) | 400 | |
Модуль Юнга (ГПа) | 400 | ||
Твердость по Виккерсу (ГПа) | 20 | ||
Тепловые характеристики | Максимальная рабочая температура (°C) | 1600 | |
Коэффициент теплового расширения | КТ~500°С | 3,9 | |
(1/°С х 10-6) | КТ~800°С | 4.3 | |
Теплопроводность (Вт/м x К) | 130 110 | ||
Термическая устойчивость ΔT (°C) | 300 | ||
Электрические характеристики | Объемное сопротивление | 25°С | 3 х 106 |
300°С | - | ||
500°С | - | ||
800°С | - | ||
Диэлектрическая постоянная | 10 ГГц | - | |
Диэлектрические потери (х 10-4) | - | ||
Q-фактор (х 104) | - | ||
Напряжение пробоя диэлектрика (КВ/мм) | - |
♦Керамика из нитрида кремния
Материал | Единица | Си₃N₄ |
Метод спекания | - | Спеченный под давлением газа |
Плотность | г/см³ | 3.22 |
Цвет | - | Темно-серый |
Скорость поглощения воды | % | 0 |
Молодой модуль | средний балл | 290 |
Твердость по Виккерсу | средний балл | 18 - 20 |
Прочность на сжатие | МПа | 2200 |
Прочность на изгиб | МПа | 650 |
Теплопроводность | Вт/мК | 25 |
Устойчивость к тепловому удару | Δ (°С) | 450 - 650 |
Максимальная рабочая температура | °С | 1200 |
Объемное сопротивление | Ом·см | > 10 ^ 14 |
Диэлектрическая постоянная | - | 8.2 |
Диэлектрическая прочность | кВ/мм | 16 |