♦ Ошибка (AL2O3)
Точные керамические детали, произведенные Zhonghui Intelly Manufacturing Group (ZHHIMG), могут быть изготовлены из керамического сырья высокой чистоты, 92 ~ 97% глинозема, 99,5% глинозема,> 99,9% глинозем и изостатического пресса CIP. Высокая температурная спекания и точная обработка, точность размеров ± 0,001 мм, гладкость до RA0,1, используйте температуру до 1600 градусов. Различные цвета керамики могут быть сделаны в соответствии с требованиями клиентов, такими как: черный, белый, бежевый, темно -красный и т. Д. Точные керамические детали, произведенные нашей компанией, устойчивы к высокой температуре, коррозии, износу и изоляции и могут долгое время использоваться в высокой температуре, вакуумной и коррозионной газовой среде.
Широко используется в различных полупроводниковых производственных оборудовании: рамы (керамический кронштейн), субстрат (основание), рука/ мост (манипулятор), механические компоненты и керамический воздушный подшипник.
Название продукта | Высокая чистота 99 глиноземной керамическая квадратная трубка / труба / стержень | |||||
Индекс | Единица | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Плотность | G/CM3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Водяной поглощение | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Спеченная температура | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Твердость | Мохс | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Изгибающая сила (20 ℃)) | МПА | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Прочность на сжатие | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Давняя рабочая температура | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Максимум Рабочая температура | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Объемный удельное сопротивление | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Применение керамики с высокой чистотой глиноземой:
1. Применяется к полупроводниковым оборудованию: керамический вакуумный патрон, режущий диск, чистящий диск, керамический патрон.
2. Переводные детали: патроны для обработки пластин, диски для резки пластин, диски для очистки пластин, оптические инспекционные чашки с оптической проверкой.
3. Светодиодный / ЖК -дисплей.
4. Оптическая связь, Солнечная промышленность: керамические трубки, керамические стержни, печать печать европейской платы.
5. Теплостойкие и электрически изолирующие детали: керамические подшипники.
В настоящее время керамика оксида алюминия можно разделить на высокую чистоту и общую керамику. Серия керамики с высокой чистотой керамикой оксида алюминия относится к керамическому материалу, содержащему более 99,9% al₂o₃. Из -за температуры спекания до 1650 - 1990 ° C и длины волны передачи 1 ~ 6 мкм он обычно обрабатывается в слитое стекло вместо платинового тигара: который может использоваться в качестве натриевой трубки из -за его световой пропускания и коррозионной устойчивости к щелочному металлу. В электронике он может использоваться в качестве высокочастотного изоляционного материала для подложки IC. Согласно различному содержанию оксида алюминия, общие керамические серии оксида алюминия можно разделить на 99 керамику, 95 керамики, 90 керамики и 85 керамики. Иногда керамика с 80% или 75% оксида алюминия также классифицируется как распространенная керамическая серия оксида алюминия. Среди них 99 керамический материал из оксида алюминия используется для получения высокотемпературных тигных, огнеупорных печи и специальных материалов, устойчивых к износостойкому, таким как керамические подшипники, керамические уплотнения и клапанные пластины. 95 Алюминиевая керамика в основном используется в качестве коррозионной устойчивой к износостойкой части. 85 Керамика часто смешивается в некоторых свойствах, тем самым улучшая электрические характеристики и механическую прочность. Он может использовать молибдена, ниобий, тантал и другие металлические уплотнения, а некоторые используются в качестве электрических вакуумных устройств.
Качественный пункт (репрезентативная стоимость) | Название продукта | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22s | AES-23 | Аль-31-03 | |
Химический композиция низкоодиум легкий спекающий продукт | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Ржу не могу | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Наг | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
Mgo* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Диаметр средней частицы (MT-3300, метод лазерного анализа) | мкм | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α -кристалл размер | мкм | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Формирование плотности ** | G/CM³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Плотность спекания ** | G/CM³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Сокращение скорости спекания ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO не включен в расчет чистоты al₂o₃.
* Нет масштабирующего порошка 29,4 МПа (300 кг/см²), температура спекания составляет 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: добавить 0,05 ~ 0,1% MGO, спекание превосходна, поэтому она применима к керамике оксида алюминия с чистотой более 99%.
AES-22S: характеризуется высокой плотностью формирования и низкой скоростью сжимания линии спекания, применимо к литью формы скольжения и другие крупномасштабные продукты с необходимой точностью размеров.
AES-23 / AES-31-03: он имеет более высокую плотность формирования, тиксотропию и более низкую вязкость, чем AES-22. Первый используется для керамики, в то время как последняя используется в качестве восстановителя воды для огнестрельных материалов, набирая популярность.
♦ Характеристики карбида кремния (sic)
Общие характеристики | Чистота основных компонентов (WT%) | 97 | |
Цвет | Черный | ||
Плотность (г/см сегодня) | 3.1 | ||
Водопоглощение (%) | 0 | ||
Механические характеристики | Прочность на изгиб (MPA) | 400 | |
Молодой модуль (GPA) | 400 | ||
Твердость Виккерса (GPA) | 20 | ||
Тепловые характеристики | Максимальная рабочая температура (° C) | 1600 | |
Коэффициент термического расширения | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
Теплопроводность (W/M x K) | 130 110 | ||
Устойчивость к тепловым ударам ΔT (° C) | 300 | ||
Электрические характеристики | Объемный удельное сопротивление | 25 ° C. | 3 x 106 |
300 ° C. | - | ||
500 ° C. | - | ||
800 ° C. | - | ||
Диэлектрическая постоянная | 10 ГГц | - | |
Диэлектрическая потеря (x 10-4) | - | ||
Q -фактор (x 104) | - | ||
Диэлектрическое напряжение разбивки (кВ/мм) | - |
♦ Керамика нитрида кремния
Материал | Единица | Si₃n₄ |
Метод спекания | - | Давление газа спечено |
Плотность | G/CM³ | 3.22 |
Цвет | - | Темно -серый |
Скорость поглощения воды | % | 0 |
Молодой модуль | Средний балл | 290 |
Виккерс твердость | Средний балл | 18 - 20 |
Прочность на сжатие | МПА | 2200 |
Изгибающая сила | МПА | 650 |
Теплопроводность | W/mk | 25 |
Устойчивость к тепловым ударам | Δ (° C) | 450 - 650 |
Максимальная рабочая температура | ° C. | 1200 |
Объемный удельное сопротивление | Ω · см | > 10 ^ 14 |
Диэлектрическая постоянная | - | 8.2 |
Диэлектрическая прочность | кВ/мм | 16 |