Материал – Керамика

♦Глинозем (Al2О3)

Прецизионные керамические детали, производимые ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), могут быть изготовлены из высокочистого керамического сырья, 92~97% глинозема, 99,5% глинозема, >99,9% глинозема и холодного изостатического прессования CIP. Высокотемпературное спекание и прецизионная обработка, точность размеров ± 0,001 мм, гладкость до Ra0,1, температура использования до 1600 градусов. Различные цвета керамики могут быть изготовлены в соответствии с требованиями клиентов, например: черный, белый, бежевый, темно-красный и т. д. Прецизионные керамические детали, производимые нашей компанией, устойчивы к высоким температурам, коррозии, износу и изоляции и могут использоваться в течение длительного времени в условиях высоких температур, вакуума и агрессивных газовых сред.

Широко используется в различном оборудовании для производства полупроводников: рамы (керамические кронштейны), подложки (основания), рычаги/мосты (манипуляторы), механические компоненты и керамические воздушные подшипники.

AL2O3

Название продукта Трубка квадратная из глинозема высокой чистоты 99 пробы
Индекс Единица 85 % Al2O3 95 % Al2O3 99 % Al2O3 99,5 % Al2O3
Плотность г/см3 3.3 3.65 3.8 3.9
Поглощение воды % <0,1 <0,1 0 0
Температура спекания 1620 1650 1800 1800
Твёрдость Мооса 7 9 9 9
Прочность на изгиб (20℃)) МПа 200 300 340 360
Прочность на сжатие Кгс/см2 10000 25000 30000 30000
Длительная рабочая температура 1350 1400 1600 1650
Макс. рабочая температура 1450 1600 1800 1800
Объемное сопротивление 20℃ Ом. см3 >1013 >1013 >1013 >1013
100℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300℃ >109 >1010 >1012 >1012

Применение керамики из высокочистого оксида алюминия:
1. Применяется в полупроводниковом оборудовании: керамический вакуумный зажим, отрезной диск, чистящий диск, керамический ПАТРОН.
2. Детали для переноса пластин: зажимные приспособления для перемещения пластин, диски для резки пластин, диски для очистки пластин, присоски для оптического контроля пластин.
3. Индустрия светодиодных/ЖК-дисплеев с плоским экраном: керамическое сопло, керамический шлифовальный диск, подъемный штифт, штифтовая рейка.
4. Оптическая связь, солнечная энергетика: керамические трубки, керамические стержни, керамические скребки для трафаретной печати на печатных платах.
5. Термостойкие и электроизолирующие детали: керамические подшипники.
В настоящее время керамику из оксида алюминия можно разделить на высокочистую и обычную керамику. Серия керамики из оксида алюминия высокой чистоты относится к керамическому материалу, содержащему более 99,9% Al₂O₃. Из-за температуры спекания до 1650 - 1990 °C и длины волны пропускания 1 ~ 6 мкм ее обычно перерабатывают в плавленое стекло вместо платинового тигля: который может использоваться в качестве натриевой трубки благодаря своей светопропускаемости и коррозионной стойкости к щелочным металлам. В электронной промышленности ее можно использовать в качестве высокочастотного изоляционного материала для подложек ИС. В зависимости от различного содержания оксида алюминия обычную серию керамики из оксида алюминия можно разделить на 99 керамику, 95 керамику, 90 керамику и 85 керамику. Иногда керамику с 80% или 75% оксида алюминия также классифицируют как обычную серию керамики из оксида алюминия. Среди них 99 алюминиево-оксидный керамический материал используется для производства высокотемпературных тиглей, огнеупорных печных труб и специальных износостойких материалов, таких как керамические подшипники, керамические уплотнения и клапанные пластины. 95 алюминиевая керамика в основном используется как коррозионно-стойкая износостойкая деталь. 85 керамика часто смешивается с некоторыми свойствами, тем самым улучшая электрические характеристики и механическую прочность. Он может использовать молибденовые, ниобиевые, танталовые и другие металлические уплотнения, а некоторые используются в качестве электровакуумных устройств.

 

Качественный элемент (репрезентативное значение) Название продукта АЭС-12 АЭС-11 АЕС-11С АЕС-11Ф АЕС-22С АЭС-23 АЛ-31-03
Химический состав продукта с низким содержанием натрия, легко спекающегося H₂O % 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Ржу не могу % 0.1 0.2 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
Fe₂0₃ % 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
МгО* % - 0.11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Средний диаметр частиц (МТ-3300, метод лазерного анализа) мкм 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
Размер кристалла α мкм 0.3 0.3 0.3 0.3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Плотность формования** г/см³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Плотность спекания** г/см³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Скорость усадки линии спекания** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO не включен в расчет чистоты Al₂O₃.
* Порошок без окалины 29,4 МПа (300 кг/см²), температура спекания 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Добавьте 0,05 ~ 0,1% MgO, спекаемость будет отличной, поэтому его можно применять для керамики на основе оксида алюминия с чистотой более 99%.
AES-22S: Характеризуется высокой плотностью формования и низкой скоростью усадки линии спекания, применима для литья в шликерные формы и других крупногабаритных изделий с требуемой точностью размеров.
AES-23 / AES-31-03: имеет более высокую плотность формования, тиксотропность и более низкую вязкость, чем AES-22S. Первый используется для керамики, а второй используется в качестве водоредуцирующей добавки для огнестойких материалов, приобретая все большую популярность.

♦Характеристики карбида кремния (SiC)

Общие характеристики Чистота основных компонентов (мас.%) 97
Цвет Черный
Плотность (г/см³) 3.1
Водопоглощение (%) 0
Механические характеристики Прочность на изгиб (МПа) 400
Модуль Юнга (ГПа) 400
Твёрдость по Виккерсу (ГПа) 20
Тепловые характеристики Максимальная рабочая температура (°C) 1600
Коэффициент теплового расширения КТ~500°С 3.9
(1/°С x 10-6) КТ~800°С 4.3
Теплопроводность (Вт/м x К) 130 110
Устойчивость к тепловому удару ΔT (°C) 300
Электрические характеристики Объемное удельное сопротивление 25°С 3 х 106
300°С -
500°С -
800°С -
Диэлектрическая проницаемость 10ГГц -
Диэлектрические потери (x 10-4) -
Фактор добротности (x 104) -
Напряжение пробоя диэлектрика (КВ/мм) -

20200507170353_55726

♦Керамика из нитрида кремния

Материал Единица Si₃N₄
Метод спекания - Спеченный под давлением газа
Плотность г/см³ 3.22
Цвет - Темно-серый
Скорость поглощения воды % 0
Модуль Юнга ГПа 290
Твердость по Виккерсу ГПа 18 - 20
Прочность на сжатие МПа 2200
Прочность на изгиб МПа 650
Теплопроводность Вт/мК 25
Устойчивость к термическому удару Δ (°С) 450 - 650
Максимальная рабочая температура °С 1200
Объемное сопротивление Ом·см > 10 ^ 14
Диэлектрическая постоянная - 8.2
Диэлектрическая прочность кВ/мм 16