Высокоточная активная виброизоляционная платформа XYT стала ключевым оборудованием для обеспечения высокоточного управления движением в прецизионном производстве, научных исследованиях и разработках. Использование гранитного основания обеспечивает множество ключевых преимуществ для повышения производительности платформы.
Отличная стабильность, изоляция от внешних помех.
Гранитное основание сформировалось за миллионы лет геологического развития, внутренние минералы тесно переплетены, структура плотная и однородная. В условиях сложных внешних источников вибрации, таких как работа крупного оборудования в цехе и сильная вибрация от окружающего движения, оно подобно прочной крепости. Благодаря сложной кристаллической структуре гранитное основание эффективно блокирует и ослабляет вибрацию, что позволяет снизить амплитуду вибрации, передаваемой на прецизионную активную виброизоляционную платформу XYT, более чем на 80%. Рассмотрим в качестве примера цех по производству полупроводниковых чипов: процесс фотолитографии требует очень высокой стабильности платформы, и даже небольшие вибрации могут привести к отклонению рисунка чипа. В этом сценарии платформа XYT, поддерживаемая гранитным основанием, обеспечивает точную работу литографического оборудования, создает стабильную основу для производства чипов и способствует повышению выхода годных изделий.
Превосходная термостойкость обеспечивает постоянную точность.
Колебания температуры являются серьезной проблемой, влияющей на точность прецизионного оборудования, однако гранитное основание легко преодолевает эту проблему благодаря очень низкому коэффициенту теплового расширения. Его коэффициент теплового расширения обычно составляет 5-7 × 10⁻⁶/℃, и его размеры практически не меняются при изменении температуры. В области астрономии, прецизионная активная виброизоляционная платформа XYT для точной настройки линз телескопа с гранитным основанием, даже при значительной разнице температур между днем и ночью, обеспечивает поддержание точности позиционирования линзы на субмикронном уровне, помогая астрономам улавливать тонкую динамику далеких небесных тел.
Высокая твердость и износостойкость обеспечивают долговечность.
Высокоточная активная виброизоляционная платформа XYT имеет определенное трение с основанием во время длительной эксплуатации. Высокотвердый гранит, твердость по шкале Мооса до 6-7, обладает превосходной износостойкостью. В лабораториях материаловедения часто используется платформа XYT, гранитное основание которой эффективно противостоит долговременной потере прочности на трение, что по сравнению с обычным основанием позволяет увеличить цикл технического обслуживания платформы более чем на 50%, снизить затраты на обслуживание оборудования и обеспечить непрерывность научно-исследовательской работы.
Высокоточная платформа для перемещения с активной виброизоляцией XYT на гранитном основании, обладающая превосходными характеристиками стабильности, термостойкости и долговечности, выделяется среди множества прецизионного оборудования.
Дата публикации: 11 апреля 2025 г.