Гранит — превосходный материал для оснований машин, особенно оборудования для обработки полупроводниковых пластин, благодаря своим уникальным свойствам, таким как высокая жесткость, низкое тепловое расширение и превосходные характеристики гашения вибраций. Хотя традиционно в качестве материала для оснований машин использовался металл, гранит стал лучшей альтернативой по следующим причинам:
Высокая жесткость: основание станка должно быть жестким и устойчивым, чтобы минимизировать вибрации и поддерживать точность во время обработки пластин. Гранит обладает высоким соотношением жесткости к весу, что делает его чрезвычайно жестким и устойчивым, тем самым снижая вибрации и обеспечивая превосходную точность обработки.
Низкий коэффициент теплового расширения: изменения температуры могут вызывать расширение или сжатие металла, что приводит к изменению размеров основания станка и, как следствие, к неточностям в обработке. Гранит, напротив, имеет низкий коэффициент теплового расширения, что означает, что он не сильно расширяется или сжимается при изменении температуры, обеспечивая стабильность и точность обработки.
Превосходное гашение вибраций: Вибрация — распространенная проблема в станках, которая может приводить к погрешностям размеров, проблемам с качеством поверхности и даже преждевременному износу компонентов станка. Гранит известен своими превосходными виброгасящими свойствами, что означает, что он способен поглощать и гасить вибрации, обеспечивая плавную и точную обработку.
Химическая стойкость: Обработка кремниевых пластин включает использование различных химических веществ, и воздействие этих веществ со временем может вызывать коррозию и разрушение основания станка. Гранит обладает высокой устойчивостью к химической коррозии, что делает его безопасным и долговечным материалом для оснований станков в оборудовании для обработки кремниевых пластин.
Низкие затраты на обслуживание: Гранит требует минимального ухода, легко чистится и не подвергается коррозии и ржавчине, как металл. Это приводит к снижению затрат на техническое обслуживание и сокращению времени простоя оборудования.
В целом, выбор гранита вместо металла для основания станка для оборудования по обработке кремниевых пластин предлагает ряд преимуществ, включая высокую жесткость, низкое тепловое расширение, превосходное гашение вибраций, отличную химическую стойкость и низкие затраты на техническое обслуживание. Эти преимущества гарантируют стабильность, точность и долговечность основания станка, что приводит к высококачественной обработке кремниевых пластин и повышению производительности.
Дата публикации: 28 декабря 2023 г.