В высокоскоростном лазерном оборудовании, используемом для производства микросхем и прецизионных деталей, на первый взгляд обычное гранитное основание на самом деле является ключом к предотвращению скрытых проблем. Какие же невидимые «убийцы прецизионности» оно может решить? Давайте сегодня вместе разберемся.
I. Избавьтесь от «призрака вибрации»: попрощайтесь с вибрационными помехами.
При высокоскоростной лазерной резке лазерная головка перемещается сотни раз в секунду. Даже малейшая вибрация может сделать режущую кромку шероховатой. Стальное основание подобно «усиленной аудиосистеме», усиливающей вибрации, вызванные работой оборудования и проезжающими транспортными средствами. Плотность гранитного основания достигает 3100 кг/м³, а его внутренняя структура по плотности сравнима с «железобетоном», способным поглощать более 90% энергии вибрации. Фактические измерения одного оптоэлектронного предприятия показали, что после перехода на гранитное основание шероховатость кромок отрезанных кремниевых пластин снизилась с Ra1,2 мкм до 0,5 мкм, а точность повысилась более чем на 50%.
Во-вторых, избегайте «ловушки термической деформации»: температура больше не является проблемой.
В процессе лазерной обработки тепло, выделяемое оборудованием, может вызывать расширение и деформацию основания. Коэффициент теплового расширения обычных металлических материалов вдвое выше, чем у гранита. При повышении температуры на 10℃ металлическое основание может деформироваться на 12 мкм, что эквивалентно 1/5 диаметра человеческого волоса! Гранит обладает чрезвычайно низким коэффициентом теплового расширения. Даже при длительной работе деформацию можно контролировать в пределах 5 мкм. Это как надеть на оборудование «защиту от постоянной температуры», гарантирующую постоянную точность и безошибочность фокусировки лазера.
III. Предотвращение «кризиса износа»: продление срока службы оборудования.
Высокоскоростная подвижная лазерная головка часто соприкасается с основанием станка, и некачественные материалы изнашиваются, как наждачная бумага. Гранит имеет твердость от 6 до 7 по шкале Мооса и даже более износостойкий, чем сталь. После 10 лет нормальной эксплуатации износ поверхности составляет менее 1 мкм. В отличие от этого, некоторые металлические основания требуют замены каждые 2-3 года. Статистика с одного полупроводникового завода показывает, что после использования гранитных оснований станков затраты на техническое обслуживание оборудования снизились на 300 000 юаней в год.
В-четвертых, исключите «риски установки»: точное выполнение работ в один этап.
Точность обработки традиционных оснований станков ограничена, и погрешность позиционирования монтажных отверстий может достигать ±0,02 мм, что приводит к неправильному сопряжению компонентов оборудования. Гранитное основание ZHHIMG® обрабатывается на пятиосевом станке с ЧПУ, обеспечивая точность позиционирования отверстий ±0,01 мм. В сочетании с предварительной сборкой по CAD/CAM-технологиям, оно идеально подходит, как конструктор Lego, во время установки. Одно научно-исследовательское учреждение сообщило, что время отладки оборудования сократилось с 3 дней до 8 часов после начала эксплуатации.
Дата публикации: 19 июня 2025 г.