Гранитные компоненты широко используются в полупроводниковой технике благодаря их высокой стабильности и долговечности.Они несут ответственность за поддержание точности и аккуратности процессов производства полупроводников.Однако эффективность и надежность гранитных компонентов зависят от стандартов и спецификаций, которые соблюдаются при их проектировании, изготовлении и установке.
Ниже приведены некоторые стандарты и спецификации, которых необходимо придерживаться при использовании гранитных компонентов в полупроводниковом оборудовании:
1. Плотность материала: Плотность гранитного материала, используемого при производстве гранитных компонентов, должна составлять около 2,65 г/см3.Это плотность природного гранитного материала, обеспечивающая постоянство и надежность свойств гранитных компонентов.
2. Плоскостность. Плоскостность — одна из наиболее важных характеристик гранитных компонентов, используемых в полупроводниковом оборудовании.Ровность гранитной поверхности должна быть ниже 0,001 мм/м2.Это гарантирует, что поверхность компонента будет плоской и ровной, что важно для процессов производства полупроводников.
3. Обработка поверхности. Обработка поверхности гранитных компонентов должна быть высокого качества, с шероховатостью поверхности менее 0,4 мкм.Это гарантирует, что поверхность гранитной детали имеет низкий коэффициент трения, что имеет решающее значение для бесперебойной работы полупроводникового оборудования.
4. Коэффициент теплового расширения. Полупроводниковое оборудование работает при разных температурах, а гранитные компоненты должны выдерживать термические колебания без деформации.Коэффициент теплового расширения гранита, используемого в полупроводниковом оборудовании, должен быть ниже 2 x 10^-6 /°C.
5. Допуски по размерам: Допуски по размерам имеют решающее значение для производительности гранитных компонентов.Допуски на размеры гранитных компонентов должны быть в пределах ±0,1 мм для всех критических размеров.
6. Твердость и износостойкость. Твердость и износостойкость являются важными характеристиками гранитных компонентов, используемых в полупроводниковом оборудовании.Гранит имеет твердость по шкале Мооса 6–7, что делает его подходящим материалом для использования в полупроводниковом оборудовании.
7. Характеристики изоляции. Гранитные компоненты, используемые в полупроводниковом оборудовании, должны иметь отличные изоляционные характеристики, чтобы предотвратить повреждение чувствительных электронных компонентов.Электрическое сопротивление должно быть выше 10^9 Ом/см.
8. Химическая стойкость. Гранитные компоненты должны быть устойчивы к обычным химическим веществам, используемым в процессах производства полупроводников, таким как кислоты и щелочи.
В заключение отметим, что стандарты и спецификации гранитных компонентов, используемых в полупроводниковом оборудовании, имеют решающее значение для обеспечения долговечности и надежности как компонентов, так и оборудования, в котором они используются. Приведенные выше рекомендации следует строго соблюдать во время проектирования, изготовления и установки. процессы, обеспечивающие высочайшее качество компонентов.Следуя этим стандартам и спецификациям, производители полупроводников могут гарантировать, что производительность их оборудования останется оптимальной, что приведет к повышению производительности и прибыльности.
Время публикации: 20 марта 2024 г.