Производство полупроводников
Литография: Литография — ключевой процесс в производстве полупроводников, требующий точного переноса сложных схемных рисунков на пластины. Прецизионная платформа XYT с активной виброизоляцией на гранитном основании обеспечивает стабильную поддержку и точное позиционирование литографического оборудования, гарантирует точность позиционирования стола для пластин в процессе экспонирования до нанометрового уровня, эффективно снижает отклонение рисунка, вызванное вибрацией и тепловой деформацией, а также повышает точность изготовления и выход годных кристаллов.
Проверка пластин: После завершения изготовления пластины ее необходимо проверить с высокой точностью для выявления мелких дефектов и изъянов. Прецизионная платформа движения с активной виброизоляцией XYT может нести оборудование обнаружения, такое как электронно-лучевой микроскоп, атомно-силовой микроскоп и т. д., для поддержания стабильного движения и точного позиционирования в процессе обнаружения, что позволяет оборудованию обнаружения точно сканировать поверхность пластины, повышая разрешение и точность обнаружения.
Производство оптических приборов
Шлифовка и полировка линз: в процессе изготовления оптических линз необходимо шлифовать и полировать линзы с высокой точностью для получения хороших оптических свойств. Прецизионная платформа с активной виброизоляцией XYT позволяет точно контролировать траекторию движения шлифовальных и полировальных инструментов, а гранитное основание изолирует внешнюю вибрацию, снижая влияние вибрации на точность обработки, гарантируя, что плоскостность и чистота поверхности линзы соответствуют проектным требованиям.
Сборка оптической системы: В процессе сборки оптической системы различные оптические компоненты должны быть точно установлены в определённом положении для обеспечения точного распространения света и качества изображения. Прецизионная активная виброизоляционная платформа XYT с гранитным основанием обеспечивает устойчивую платформу для установки и регулировки оптических компонентов, а также обеспечивает высокоточное выравнивание и сборку оптических компонентов благодаря точному управлению движением.
аэрокосмическая промышленность
Испытание инерциальной навигационной системы: Инерциальная навигационная система является важным навигационным оборудованием в аэрокосмической отрасли, и её точность напрямую влияет на точность навигации и безопасность полёта воздушного судна. В процессе испытания инерциальной навигационной системы необходимо использовать высокоточный поворотный стол для имитации различных состояний движения воздушного судна. В качестве опорной платформы для поворотного стола может использоваться прецизионная активная виброизоляционная платформа XYT. Благодаря точному управлению движением и хорошим показателям виброизоляции, она обеспечивает стабильную и точную подвижную среду для испытания инерциальной навигационной системы, повышая точность и надёжность испытаний.
Обработка лопаток авиационных двигателей: Точность обработки лопаток авиационных двигателей оказывает существенное влияние на производительность и эффективность двигателя. Прецизионная платформа XYT с активной виброизоляцией может применяться в процессе обработки лопаток, например, на пятикоординатном обрабатывающем центре с рычажным механизмом. Она обеспечивает точное управление траекторией движения инструмента и поддержание стабильной рабочей среды, позволяя добиться высокоточной обработки лопаток, гарантируя соответствие точности профиля и качества поверхности проектным требованиям.
Научно-исследовательские испытания
Исследования в области нанонауки: В исследованиях в области нанонауки необходимо управлять и наблюдать за нанообъектами, например, при изготовлении наноматериалов и сборке наноустройств. Гранитное основание прецизионной платформы движения с активной виброизоляцией XYT обеспечивает субмикронную и даже наноточечную точность позиционирования, создавая стабильную и точную экспериментальную платформу для нанонаучных исследований и помогая учёным глубже исследовать тайны наномира.
Биомедицинская визуализация: В биомедицинской области, такой как флуоресцентная микроскопия, конфокальная микроскопия и другие устройства визуализации, для получения биологических изображений высокого разрешения требуются точное позиционирование и стабильное изображение образца. Прецизионная платформа движения с активной виброизоляцией XYT позволяет переносить биологические образцы, снижать вибрацию и дрейф образцов благодаря точному управлению движением и хорошей виброизоляции, повышать качество и точность визуализации, а также помогает биомедицинским исследователям проводить углубленные исследования клеток, тканей и других микроскопических структур.
Время публикации: 11 апреля 2025 г.