Производство полупроводников
Литография: Литография является ключевым процессом в производстве полупроводников, который требует точного переноса сложных схемных рисунков на пластины. Прецизионная активная виброизоляционная платформа движения XYT на гранитном основании может обеспечить стабильную поддержку и точное позиционирование для литографического оборудования, гарантировать, что точность позиционирования стола пластины в процессе экспонирования достигает нанометрового уровня, эффективно снизить отклонение рисунка, вызванное вибрацией и тепловой деформацией, а также улучшить точность изготовления и выход чипа.
Проверка пластин: после завершения производства пластины ее необходимо проверить с высокой точностью, чтобы обнаружить мелкие дефекты и дефекты. Прецизионная активная виброизоляционная подвижная платформа XYT может нести оборудование обнаружения, такое как электронно-лучевой микроскоп, атомно-силовой микроскоп и т. д., для поддержания стабильного движения и точного позиционирования во время процесса обнаружения, чтобы оборудование обнаружения могло точно сканировать поверхность пластины, улучшать разрешение и точность обнаружения.
Производство оптических приборов
Шлифовка и полировка линз: в процессе изготовления оптических линз необходимо шлифовать и полировать линзы с высокой точностью, чтобы получить хорошие оптические свойства. Прецизионная активная виброизоляционная платформа движения XYT может точно контролировать траекторию движения шлифовальных и полировальных инструментов, в то время как гранитное основание может изолировать внешнюю вибрацию, уменьшая влияние вибрации на точность обработки, чтобы гарантировать, что плоскостность и отделка поверхности линзы соответствуют требованиям конструкции.
Сборка оптической системы: в процессе сборки оптической системы различные оптические компоненты должны быть точно установлены в определенном положении, чтобы обеспечить точное распространение света и качество изображения. Прецизионная активная виброизоляционная подвижная платформа XYT с гранитным основанием может обеспечить устойчивую платформу для установки и регулировки оптических компонентов, а также достичь высокоточного выравнивания и сборки оптических компонентов за счет точного управления движением.
аэрокосмическая промышленность
Испытание инерциальной навигационной системы: инерциальная навигационная система является важным навигационным оборудованием в аэрокосмической области, и ее точность напрямую влияет на точность навигации и безопасность полета самолета. В процессе испытания инерциальной навигационной системы необходимо использовать высокоточный поворотный стол для имитации различных состояний движения самолета. XYT-прецизионная активная виброизоляционная подвижная платформа может использоваться в качестве опорной платформы для поворотного стола. Благодаря точному управлению движением и хорошим показателям виброизоляции она обеспечивает стабильную и точную подвижную среду для испытания инерциальной навигационной системы и повышает точность и надежность испытания.
Обработка лопаток авиадвигателей: Точность обработки лопаток авиадвигателей оказывает важное влияние на производительность и эффективность двигателя. Платформа перемещения с активной виброизоляцией XYT может применяться в процессе обработки лопаток, например, в пятикоординатном обрабатывающем центре с рычажным механизмом, путем точного управления траекторией движения инструмента и поддержания стабильной среды обработки для достижения высокоточной обработки лопаток, чтобы гарантировать, что точность профиля лопатки и качество поверхности соответствуют требованиям конструкции.
Научно-исследовательские испытания
Исследования в области нанонауки: В исследованиях в области нанонауки необходимо управлять и наблюдать за нанообъектами, например, при подготовке наноматериалов и сборке наноустройств. Гранитное основание прецизионной активной виброизоляционной платформы движения XYT может обеспечить точность позиционирования на уровне субмикрона или даже нано, предоставить стабильную и точную экспериментальную платформу для нанонаучных исследований и помочь ученым лучше исследовать тайны наномира.
Биомедицинская визуализация: В биомедицинской области, такой как флуоресцентная микроскопия, конфокальная микроскопия и другие устройства визуализации, для получения биологических изображений высокого разрешения требуются точное позиционирование и стабильная визуализация образца. Прецизионная активная виброизоляционная платформа движения XYT может переносить биологические образцы, уменьшать вибрацию и дрейф образцов за счет точного управления движением и хороших характеристик виброизоляции, улучшать качество и точность визуализации и помогать биомедицинским исследователям проводить углубленные исследования клеток, тканей и других микроскопических структур.
Время публикации: 11 апреля 2025 г.