Производство полупроводников: В процессе производства микросхем фотолитография необходима для точного переноса рисунка схемы на пластину. Гранитное основание одноосного сверхточного модуля перемещения с воздушной подушкой обеспечивает высокоточное позиционирование и стабильную поддержку стола для пластин в литографическом оборудовании. Например, ASML и другие всемирно известные производители литографических машин используют гранитные модули перемещения с воздушной подушкой в своём высококлассном оборудовании, которые позволяют контролировать точность позиционирования пластины на нанометровом уровне, обеспечивая точность литографического рисунка, тем самым улучшая интеграцию и производительность микросхемы.
Область прецизионных измерений: КИМ — это прецизионное измерительное оборудование, широко используемое в промышленном производстве для измерения размера, формы и точности позиционирования обрабатываемых деталей. Сверхточный модуль перемещения одноосного воздушного поплавка на гранитном основании может использоваться в качестве подвижной платформы КИМ, обеспечивая высокоточное линейное перемещение и стабильную траекторию перемещения измерительного датчика. Например, высококлассные КИМ Hexagon используют эту комбинацию для измерения крупногабаритных и сложных деталей с точностью измерения до микронного уровня, обеспечивая надежную гарантию контроля качества деталей в автомобильной, аэрокосмической и других отраслях промышленности.
Авиационно-космическая отрасль: При обработке и испытании деталей для аэрокосмической техники требуется высокая точность. Например, обработка лопаток авиационных двигателей требует точного управления траекторией движения инструмента для обеспечения точности профиля лопатки. Гранитное основание однокоординатного сверхточного модуля перемещения с воздушным поплавком может применяться на пятикоординатном обрабатывающем центре и другом оборудовании для обеспечения высокоточного управления движением инструмента и обеспечения соответствия точности обработки лопатки проектным требованиям. В то же время, в процессе сборки авиационного двигателя также необходимо использовать высокоточное измерительное оборудование для определения точности сборки деталей. Модуль перемещения с воздушным поплавком гранитного основания может обеспечить стабильную опору и точное перемещение измерительного оборудования для обеспечения качества сборки.
Область оптического контроля: В процессе изготовления и испытания оптических компонентов необходимо выполнять высокоточное позиционирование и измерение оптических компонентов. Например, при изготовлении высокоточных оптических компонентов, таких как зеркала и линзы, необходимо использовать интерферометры и другое оборудование для определения точности формы поверхности. Гранитное основание одноосного воздушного плавающего сверхточного модуля движения может использоваться в качестве подвижной платформы интерферометра, который может реализовать субмикронную точность позиционирования и обеспечить точную поддержку данных для обнаружения оптических компонентов. Кроме того, в оборудовании для лазерной обработки также необходимо использовать высокоточную подвижную платформу для управления траекторией сканирования лазерного луча, гранитное основание воздушного плавающего модуля движения может удовлетворить этому требованию, обеспечивая высокоточную лазерную обработку.
Время публикации: 07.04.2025