Производство полупроводников: В процессе производства чипов процесс фотолитографии должен точно перенести рисунок схемы на пластину. Гранитное основание одноосного воздушного плавающего сверхточного модуля движения может обеспечить высокоточное позиционирование и стабильную поддержку стола пластины в литографическом оборудовании. Например, ASML и другие всемирно известные производители литографических машин используют гранитные модули движения воздушного плавания в своем высококлассном оборудовании, которые могут контролировать точность позиционирования пластины на уровне нанометров, чтобы гарантировать точность рисунка литографии, тем самым улучшая интеграцию и производительность чипа.
Область точных измерений: КИМ — это прецизионное измерительное оборудование, обычно используемое в промышленном производстве, которое используется для измерения размера, формы и точности позиционирования заготовки. Сверхточный модуль движения одноосного воздушного поплавка на гранитном основании может использоваться в качестве платформы движения КИМ, которая может реализовать высокоточное линейное движение и обеспечить стабильную траекторию движения измерительного зонда. Например, высококлассная КИМ Hexagon использует эту комбинацию для измерения больших и сложных деталей с точностью измерения до микронного уровня, обеспечивая надежную гарантию контроля качества деталей в автомобильной, аэрокосмической и других отраслях промышленности.
Аэрокосмическая отрасль: При обработке и испытании деталей для аэрокосмической отрасли требуется высокая точность. Например, обработка лопаток авиационных двигателей требует точного управления траекторией движения инструмента для обеспечения точности профиля лопатки. Гранитное основание одноосного воздушного поплавкового сверхточного модуля движения может применяться на пятиосевом обрабатывающем центре и другом оборудовании для обеспечения высокоточного управления движением инструмента и обеспечения того, чтобы точность обработки лопатки соответствовала требованиям конструкции. В то же время в процессе сборки авиационного двигателя также необходимо использовать высокоточное измерительное оборудование для определения точности сборки деталей. Воздушный плавающий модуль движения гранитного основания может обеспечить стабильную опору и точное движение измерительного оборудования для обеспечения качества сборки.
Область оптического контроля: В процессе производства и тестирования оптических компонентов необходимо выполнять высокоточное позиционирование и измерение оптических компонентов. Например, при производстве высокоточных оптических компонентов, таких как зеркала и линзы, необходимо использовать интерферометры и другое оборудование для определения точности формы поверхности. Гранитное основание одноосного воздушного плавающего сверхточного модуля движения может использоваться в качестве платформы движения интерферометра, который может реализовать субмикронную точность позиционирования и обеспечить точную поддержку данных для обнаружения оптических компонентов. Кроме того, в оборудовании для лазерной обработки также необходимо использовать высокоточную платформу движения для управления траекторией сканирования лазерного луча, гранитное основание воздушного плавающего модуля движения может соответствовать этому требованию, чтобы достичь высокоточной лазерной обработки.
Время публикации: 07.04.2025