Область применения одноосевого пневматического модуля сверхточной навигации с гранитным основанием.

Производство полупроводников: В процессе производства микросхем фотолитография требует точного переноса рисунка схемы на кремниевую пластину. Гранитное основание одноосевого воздушно-плавающего модуля сверхточной навигации обеспечивает высокоточное позиционирование и стабильную опору стола для пластин в литографическом оборудовании. Например, ASML и другие всемирно известные производители литографического оборудования используют гранитные воздушные плавающие модули в своих высокотехнологичных устройствах, что позволяет контролировать точность позиционирования пластины на нанометровом уровне, обеспечивая точность литографического рисунка и тем самым улучшая интеграцию и производительность микросхемы.
Область прецизионных измерений: Координатно-измерительная машина (КИМ) — это прецизионное измерительное оборудование, широко используемое в промышленном производстве для измерения размеров, формы и точности положения обрабатываемой детали. В качестве подвижной платформы КИМ может использоваться сверхточный модуль перемещения с одноосевой пневматической подвеской на гранитном основании, что обеспечивает высокоточное линейное перемещение и стабильную траекторию движения измерительного щупа. Например, в высококлассных КИМ компании Hexagon используется эта комбинация для измерения крупных и сложных деталей с точностью до микрона, что обеспечивает надежную гарантию контроля качества деталей в автомобильной, аэрокосмической и других отраслях промышленности.
Аэрокосмическая отрасль: В процессе обработки и тестирования деталей аэрокосмической техники требуется высокая точность. Например, при обработке лопаток авиационных двигателей необходим точный контроль траектории движения инструмента для обеспечения точности профиля лопатки. Гранитная опора одноосевого пневматического модуля сверхточной обработки может применяться на пятиосевых обрабатывающих центрах и другом оборудовании для обеспечения высокоточного управления движением инструмента и гарантии соответствия точности обработки лопатки проектным требованиям. В то же время, в процессе сборки авиационного двигателя также необходимо использовать высокоточное измерительное оборудование для контроля точности сборки деталей. Пневматический модуль обработки на гранитной опоре обеспечивает стабильную поддержку и точное перемещение измерительного оборудования, гарантируя качество сборки.
Область оптического контроля: В процессе производства и тестирования оптических компонентов необходимо выполнять высокоточное позиционирование и измерение. Например, при изготовлении высокоточных оптических компонентов, таких как зеркала и линзы, необходимо использовать интерферометры и другое оборудование для определения точности формы поверхности. Гранитное основание одноосевого воздушно-плавающего сверхточного модуля перемещения может использоваться в качестве платформы перемещения интерферометра, что позволяет обеспечить субмикронную точность позиционирования и предоставить точные данные для контроля оптических компонентов. Кроме того, в оборудовании для лазерной обработки также необходимо использовать высокоточную платформу перемещения для управления траекторией сканирования лазерного луча, и гранитное основание воздушно-плавающего модуля перемещения может удовлетворить это требование, обеспечивая высокоточную лазерную обработку.