Гранит — это вид твёрдой горной породы, ставший незаменимым материалом в производстве полупроводников. Его свойства позволяют ему выдерживать высокие температуры, что делает его идеальным материалом для использования на различных этапах производства полупроводниковых приборов. Благодаря этому гранитные конструкции нашли широкое применение в производстве полупроводниковых приборов.
Одной из наиболее распространённых областей применения гранитной сборки является создание высокоточных станочных конструкций. Жёсткость и устойчивость гранита позволяют изготавливать точные инструменты практически без деформации. Такой уровень точности необходим в процессах производства полупроводников, таких как ионная имплантация, где луч должен быть точно направлен на пластину.
Ещё одно применение гранита в производстве полупроводников — создание метрологического оборудования. Метрологическое оборудование играет ключевую роль в процессах производства полупроводников, поскольку оно измеряет и проверяет точность производимых устройств. Размерная стабильность гранита, низкий коэффициент теплового расширения и отличные виброгасящие свойства делают его предпочтительным материалом для создания метрологического оборудования. В частности, гранитные поверхности больших размеров используются для подготовки и контроля пластин.
Оптические столы — ещё одна область широкого применения гранитной сборки в полупроводниковой промышленности. Оптические столы используются для испытания оптических устройств, таких как волноводы для передачи данных. Плоскость гранита, его низкое тепловое расширение, высокая жёсткость и механическая стабильность позволяют использовать его в качестве высокоустойчивой поверхности для монтажа и позиционирования оптических устройств. Гранитные оптические столы обеспечивают необходимую устойчивость и жёсткость для точного и точного испытания оптических устройств.
Гранит также применяется в изготовлении держателей пластин и платформ. В процессе производства полупроводников точность выравнивания и контроля положения имеют решающее значение. Держатели пластин, которые удерживают пластины на месте во время обработки, должны сохранять точность положения, выдерживая высокие температуры и условия вакуума. Гранит обладает превосходной размерной стабильностью в широком диапазоне температур и может выдерживать условия вакуума, что делает его идеальным материалом для изготовления держателей пластин. Столы, используемые для перемещения пластин из одного положения в другое, совершают циклическую последовательность движений в процессе производства полупроводников. Сборка из гранита обеспечивает устойчивость и долговечность, необходимые для выдерживания непрерывных и повторяющихся циклов движения.
Подводя итог, можно сказать, что применение гранита в производстве полупроводников обширно. Такие свойства, как размерная стабильность, низкое тепловое расширение, высокая жёсткость и гашение вибраций, делают его идеальным материалом для использования на различных этапах производства полупроводниковых приборов. От создания высокоточных станков и метрологического оборудования до оптических столов, стендов для пластин и держателей – свойства гранита играют решающую роль в обеспечении стабильности, точности и повторяемости, необходимых для высококачественного производства полупроводниковых приборов.
Время публикации: 06 декабря 2023 г.