Гранит — это тип твердой породы, которая стала незаменимым материалом в полупроводниковой промышленности. Его свойства позволяют ему выдерживать высокие температуры, что делает его идеальным для использования на различных этапах процессов производства полупроводниковых приборов. В результате сборка гранита нашла обширные области применения в изделиях для полупроводниковых производственных процессов.
Одной из наиболее используемых сфер применения гранитной сборки является строительство высокоточных структур станков. Жесткость и устойчивость гранита позволяют производить точные и аккуратные инструменты с небольшой деформацией или без нее. Такой уровень точности необходим в процессах производства полупроводников, таких как ионная имплантация, где луч должен быть точно направлен на пластину.
Другое применение гранитной сборки в производстве полупроводников — это создание метрологического оборудования. Метрологическое оборудование жизненно важно в процессах производства полупроводников, поскольку оно измеряет и проверяет точность производимых устройств. Размерная стабильность гранита, низкое тепловое расширение и отличные свойства гашения вибрации делают его предпочтительным материалом для создания метрологического оборудования. Сюда входят большие гранитные поверхности, используемые при подготовке и проверке пластин.
Оптические столы — еще одна область обширного применения гранитной сборки в полупроводниковой промышленности. Оптические столы используются при тестировании оптических устройств, таких как волноводы для передачи данных. Плоскость гранита, низкое тепловое расширение, высокая жесткость и механическая устойчивость позволяют ему обеспечивать высокостабильную поверхность для монтажа и позиционирования оптики. Гранитные оптические столы могут обеспечить устойчивость и жесткость, необходимые для проведения точного, аккуратного тестирования оптических устройств.
Гранит также находит применение в изготовлении держателей пластин и ступеней. В процессе производства полупроводников точность выравнивания и контроль положения имеют решающее значение. Держатели пластин, которые удерживают пластины на месте во время обработки, должны сохранять точность положения, выдерживая высокие температуры и условия вакуума. Гранит обладает превосходной размерной стабильностью в широком диапазоне температур и может выдерживать условия вакуума, что делает его идеальным для изготовления держателей пластин. Ступени, используемые для перемещения пластин из одного положения в другое, проходят циклическую последовательность движений во время процесса изготовления полупроводников. Сборка гранита обеспечивает стабильность и долговечность, необходимые для выдерживания непрерывных и повторяющихся циклов движения.
Подводя итог, можно сказать, что применение гранитной сборки в полупроводниковой промышленности обширно. Такие его свойства, как размерная стабильность, низкое тепловое расширение, высокая жесткость и гашение вибраций, делают его идеальным материалом для использования на различных этапах процессов производства полупроводниковых приборов. От создания высокоточных станков и метрологического оборудования до оптических столов, пластинчатых столиков и патронов, свойства гранита играют решающую роль в обеспечении стабильности, точности и повторяемости, необходимых для достижения высококачественного производства полупроводниковых приборов.
Время публикации: 06.12.2023