Гранит - это тип твердой породы, который стал незаменимым материалом в производственной промышленности полупроводников. Его свойства позволяют ему выдерживать высокие температуры, что делает его идеальным для использования на различных этапах процессов производства полупроводниковых устройств. В результате гранитная сборка обнаружила обширные зоны применения в продуктах производства процесса полупроводника.
Одним из наиболее используемых применений гранитной сборки является строительство строительных конструкций машинного инструмента. Жесткость и стабильность гранита позволяют производить точные и точные инструменты с практически без деформации. Этот уровень точности необходим в процессах производства полупроводников, таких как ионная имплантация, где луч должен быть точно направлен на пластину.
Еще одно применение гранитной сборки в полупроводниковом производстве заключается в строительстве метрологического оборудования. Метрологическое оборудование жизненно важно в процессах производства полупроводников, поскольку оно измеряет и проверяет точность производимых устройств. Размерная стабильность гранита, низкое тепловое расширение и превосходные свойства демпфирования вибрации делают его материалом, выбранным в построении метрологического оборудования. Это включает в себя большие гранитные поверхности, используемые при постановке и проверке пластин.
Оптические таблицы - это еще одна область обширного применения гранитной сборки в полупроводниковой промышленности. Оптические таблицы используются при тестировании оптических устройств, таких как волноводы для передачи данных. Плохость гранита, низкая тепловая экспансия, высокая жесткость и механическая стабильность позволяют ему обеспечить очень стабильную поверхность для монтажа и позиционирования оптики. Гранитные оптические таблицы могут обеспечить стабильность и жесткость, необходимые для выполнения точного, точного тестирования оптических устройств.
Гранит также находит применение при строительстве патронов и этапов пластин. Во время производственного процесса полупроводника, выравнивание точности и контроль положения имеет решающее значение. Патроны пластин, которые удерживают пластины на месте во время обработки, должны поддерживать точность положения при выявлении высоких температур и вакуумных условий. Гранит обладает превосходной стабильностью размеров в широком диапазоне температур и может выдерживать вакуумные условия, что делает его идеальным для построения патронов пластин. Стадии, используемые в движении пластин из одной позиции в другую, проходят велосипедную последовательность движений в процессе полупроводникового изготовления. Гранитная сборка обеспечивает стабильность и долговечность, необходимую для того, чтобы нести непрерывные и повторяющиеся циклы движения.
Таким образом, применение гранитной сборки в обрабатывающей промышленности полупроводниковых промышленности является обширным. Его свойства, такие как размерная стабильность, низкое тепловое расширение, высокая жесткость и демпфирование вибрации, делают его идеальным материалом для использования на различных этапах процессов производства полупроводниковых устройств. От строительства высокопроизводительных машин и метрологического оборудования до оптических таблиц и стадий пластин и патронов, атрибуты гранита играют решающую роль в обеспечении стабильности, точности и повторяемости, необходимых для достижения высококачественных полупроводниковых устройств.
Время публикации: декабрь-06-2023