В процессе производства полупроводников резка кремниевых пластин является критически важным этапом, требующим от оборудования высокой точности и стабильности. Гранитные станочные основания ZHHIMG® обладают рядом существенных преимуществ при использовании в станках для резки пластин, что делает их идеальным выбором для этой сложной задачи.
Исключительная стабильность. Гранит ZHHIMG® с плотностью около 3100 кг/м³ обеспечивает сверхпрочную основу для станков для резки пластин. Высокая плотность гарантирует превосходную стабильность, минимизируя любые потенциальные перемещения или вибрации во время процесса резки. Эта стабильность имеет решающее значение, поскольку даже малейшая вибрация может привести к отклонению режущего инструмента от заданной траектории, что приведет к неточным резам и дефектным пластинам. В отличие от материалов с меньшей плотностью, гранит ZHHIMG® обеспечивает точное позиционирование режущей головки, позволяя получать высококачественные и равномерные разрезы по всей пластине.
Низкий коэффициент теплового расширения. На предприятиях по производству полупроводников часто соблюдается строгий температурный контроль, но небольшие колебания все же возможны. Гранит ZHHIMG® обладает очень низким коэффициентом теплового расширения. Это означает, что при незначительных изменениях температуры в производственной среде гранитное основание станка не будет существенно расширяться или сжиматься. При резке пластин, где допуски точности находятся в диапазоне микрометров или даже нанометров, вызванные температурой изменения размеров могут иметь катастрофические последствия. Низкий коэффициент теплового расширения гранита ZHHIMG® помогает поддерживать выравнивание компонентов режущего станка, обеспечивая точность процесса резки независимо от незначительных колебаний температуры.
Превосходное гашение вибраций. Во время резки пластин режущий инструмент генерирует вибрации. Если эти вибрации не гасятся эффективно, они могут передаваться на пластину, вызывая сколы или другие повреждения. Гранит ZHHIMG® обладает естественными виброгасящими свойствами. Его внутренняя структура, сформировавшаяся за длительные геологические периоды, позволяет ему быстро поглощать и рассеивать вибрации. Это существенное преимущество по сравнению с некоторыми металлическими основаниями станков, которые могут передавать вибрации более легко. Снижая вибрации, основания станков из гранита ZHHIMG® способствуют более плавной резке, что приводит к более чистым разрезам и более высокому качеству пластин.
Высокая износостойкость. Станки для резки полупроводниковых пластин непрерывно используются в крупносерийном производстве полупроводников. В процессе резки основание станка подвергается механическим нагрузкам и трению. Высокая твердость и износостойкость гранита ZHHIMG® позволяют основанию станка выдерживать эти нагрузки в течение длительного времени без значительного износа. Такая долговечность означает, что основание станка может сохранять свою точность размеров и производительность в течение длительного срока службы. Это снижает необходимость частой замены или дорогостоящего технического обслуживания из-за проблем, связанных с износом, что в конечном итоге экономит время и деньги производителей полупроводников.
Химическая инертность. В условиях производства полупроводников оборудование может подвергаться воздействию различных химических веществ, используемых при очистке, травлении или других процессах. Гранит ZHHIMG® химически инертен и устойчив к коррозии под воздействием этих химических веществ. Это свойство гарантирует сохранение целостности основания станка даже при воздействии агрессивных химических веществ. Это помогает поддерживать стабильность и точность работы станка для резки пластин с течением времени, поскольку химическая коррозия в противном случае могла бы привести к деформации или ухудшению характеристик основания станка.
В заключение, гранитные основания станков ZHHIMG® обеспечивают сочетание стабильности, термостойкости, гашения вибраций, износостойкости и химической инертности, что очень полезно для станков для резки полупроводниковых пластин. При планировании модернизации или приобретения нового оборудования для резки полупроводниковых пластин выбор станка с гранитным основанием ZHHIMG® — это разумное решение, которое может повысить качество и эффективность процессов производства полупроводников.
Дата публикации: 03.06.2025