В процессе производства полупроводников резка пластин является критически важным этапом, требующим высокой точности и стабильности от оборудования. Гранитные основания станков ZHHIMG® обладают рядом явных преимуществ при использовании в станках для резки пластин, что делает их идеальным выбором для этого сложного применения.
Исключительная устойчивостьГранит ZHHIMG®, плотность которого составляет около 3100 кг/м³, обеспечивает прочную основу для машин для резки пластин. Высокая плотность обеспечивает превосходную устойчивость, сводя к минимуму любые потенциальные перемещения или вибрации во время процесса резки. Эта устойчивость имеет решающее значение, поскольку даже малейшая вибрация может привести к отклонению режущего инструмента от предполагаемого пути, что приведет к неточным резам и дефектным пластинам. В отличие от материалов с меньшей плотностью, гранит ZHHIMG® обеспечивает точное позиционирование режущей головки, что позволяет производить высококачественные, последовательные разрезы по всей пластине.
Низкое тепловое расширение. На предприятиях по производству полупроводников часто осуществляется строгий контроль температуры, но небольшие колебания все равно могут происходить. Гранит из ZHHIMG® имеет очень низкий коэффициент теплового расширения. Это означает, что при небольших изменениях температуры в производственной среде основание гранитного станка не будет значительно расширяться или сжиматься. При резке пластин, где допуски точности находятся в диапазоне микрометров или даже нанометров, изменения размеров, вызванные теплом, могут быть катастрофическими. Низкое тепловое расширение гранита ZHHIMG® помогает поддерживать выравнивание компонентов режущего станка, гарантируя, что процесс резки останется точным независимо от незначительных колебаний температуры.
Превосходное гашение вибрацииВо время резки пластин режущий инструмент генерирует вибрации. Если эти вибрации не гасятся эффективно, они могут передаваться пластине, вызывая сколы или другие повреждения. Гранит ZHHIMG® обладает естественными свойствами гашения вибрации. Его внутренняя структура, сформированная в течение длительных геологических периодов, позволяет ему быстро поглощать и рассеивать вибрации. Это существенное преимущество по сравнению с некоторыми основаниями машин на основе металла, которые могут легче передавать вибрации. Снижая вибрации, основания машин из гранита ZHHIMG® способствуют более плавным операциям резки, что приводит к более чистым разрезам и более высокому качеству пластин.
Высокая износостойкостьМашины для резки пластин постоянно используются в крупносерийном производстве полупроводников. Процесс резки подвергает основание машины механическому напряжению и трению. Высокая твердость и износостойкость гранита ZHHIMG® позволяют основанию машины выдерживать эти нагрузки в течение длительного времени без значительного износа. Эта прочность означает, что основание машины может сохранять точность размеров и производительность в течение длительного срока службы. Это снижает необходимость в частых заменах или дорогостоящем обслуживании из-за проблем, связанных с износом, в конечном итоге экономя производителям полупроводников время и деньги.
Химическая инертностьВ условиях производства полупроводников оборудование может подвергаться воздействию различных химикатов, используемых при очистке, травлении или других процессах. Гранит ZHHIMG® химически инертен, устойчив к коррозии, вызываемой этими химикатами. Это свойство гарантирует, что целостность основания машины останется неповрежденной даже при воздействии агрессивных химических веществ. Это помогает поддерживать стабильность и точность машины для резки пластин с течением времени, поскольку химическая коррозия в противном случае может привести к деформации или ухудшению производительности основания машины.
Подводя итог, можно сказать, что гранитные основания машин ZHHIMG® предлагают сочетание стабильности, термостойкости, гашения вибрации, износостойкости и химической инертности, что очень выгодно для машин для резки пластин. При рассмотрении модернизации или покупки нового оборудования для резки пластин выбор машины с гранитным основанием машин ZHHIMG® является мудрым решением, которое может повысить качество и эффективность процессов производства полупроводников.
Время публикации: 03.06.2025