Гранитные ступени на воздушных подшипниках являются неотъемлемой частью прецизионного оборудования, широко используемого в производстве и испытании полупроводников, микроэлектроники, оптических устройств и спутников. Эти ступени состоят из гранитного основания, на котором установлена подвижная платформа, парящая в тонком слое воздуха и приводимая в движение электромагнитными двигателями и линейными энкодерами. Гранитные ступени на воздушных подшипниках обладают множеством уникальных свойств, которые делают их предпочтительным выбором по сравнению со многими другими типами ступеней.
Преимущества ступеней на воздушных подшипниках из гранита:
1. Высокая точность и достоверность. Гранитные воздушные подшипники обеспечивают высокую точность, допуская погрешность в пределах нескольких нанометров. Это критически важно для таких процессов, как литография, где любая ошибка может привести к значительным изменениям в конечном продукте.
2. Высокая грузоподъёмность – Гранитные ступени на воздушных подшипниках имеют прочное гранитное основание, которое позволяет им выдерживать большие нагрузки, в отличие от других альтернатив, таких как ступени на шарикоподшипниках. Это свойство делает их идеальными для работы с большими пластинами и инструментами, используемыми в производстве полупроводников и микроэлектроники.
3. Плавность и отсутствие трения – Гранитные воздушные подшипники удерживают подвижную платформу в тонком слое воздуха, исключающем контакт между ней и основанием. Таким образом, трение между подвижными частями отсутствует, что обеспечивает плавность и отсутствие вибраций.
4. Высокоскоростные возможности. Электромагнитные двигатели, используемые в гранитных воздушных подшипниках, обеспечивают высокоскоростное движение, что делает их идеальными для позиционирования, сканирования и других высокоточных задач.
5. Долговечность и минимальное обслуживание. Гранитное основание, служащее основой сцены, обеспечивает исключительную жёсткость, термостойкость и износостойкость. Поэтому гранитные сцены на воздушных опорах требуют минимального обслуживания и отличаются длительным сроком службы.
Недостатки ступеней с воздушными подшипниками из гранита:
1. Стоимость. Передовые технологии, используемые при проектировании и производстве гранитных сцен на воздушных опорах, делают их дорогостоящим вложением. Это может стать недостатком для небольших компаний или компаний с ограниченным бюджетом.
2. Сложная установка. Гранитные ступени с воздушными подшипниками требуют специальных знаний и опыта при установке, калибровке и эксплуатации, что делает их сложными для неспециалистов.
3. Чувствительность к вибрации. Несмотря на то, что гранитные ступени с воздушными подшипниками спроектированы так, чтобы обеспечивать плавное движение без вибраций, на них могут влиять внешние вибрации, которые нарушают хрупкое равновесие плавучей платформы.
В заключение, гранитные воздушные ступени — это высокоэффективное и точное решение для высокоточных применений, требующих плавного и быстрого перемещения больших грузов. Прочность, долговечность и длительный срок службы делают их предпочтительным выбором для многих производственных, испытательных и исследовательских задач. Хотя высокая первоначальная стоимость и сложность монтажа могут быть недостатком, преимущества гранитных воздушных ступеней перевешивают их недостатки, делая их отличным вложением в прецизионное оборудование.
Время публикации: 20 октября 2023 г.