Одноосевой пневматический модуль сверхточной навигации: гранитное основание для превосходной точности.

В сфере высокоточной обработки материалов и научных исследований спрос на сверхточные системы управления движением растет с каждым днем. Как ключевое оборудование для обеспечения высокоточной линейной навигации, сверхточный одноосевой модуль с воздушной подушкой напрямую влияет на качество конечного продукта и точность результатов научных исследований. Среди множества влияющих факторов, применение гранитного основания дает ему неоспоримое преимущество и становится ключевым элементом, обеспечивающим превосходную точность.
Гранит, после миллионов лет геологических изменений, приобрел чрезвычайно плотную и однородную внутреннюю структуру. Он состоит в основном из кварца, полевого шпата и других минералов, что придает граниту превосходные физические свойства. При использовании в качестве основания для одноосевого пневматического сверхточного модуля перемещения гранит впервые демонстрирует чрезвычайно высокую стабильность. По сравнению с обычными металлическими основаниями, гранитные основания обладают большей устойчивостью к деформации под воздействием внешних воздействий окружающей среды, таких как колебания температуры и механические вибрации. В процессе производства электронных чипов требуется точность позиционирования при литографии чипов на нанометровом уровне. В производственном цехе вибрации, создаваемые работой крупного оборудования, и незначительные изменения температуры окружающей среды могут влиять на точность перемещения литографического оборудования. Одноосевой пневматический сверхточный модуль перемещения с гранитным основанием может эффективно гасить внешние вибрации и снижать амплитуду вибрации, передаваемую на модуль перемещения, более чем на 80%. В то же время, чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения приводит к тому, что размер основания практически не изменяется при изменении температуры, обеспечивая стабильную точность перемещения модуля с воздушным перемещением даже в сложных условиях, предоставляя точную основу для позиционирования при литографии микросхем и значительно повышая выход годной продукции при производстве микросхем.

Кроме того, гранит обладает хорошей износостойкостью. В процессе частого возвратно-поступательного движения сверхточного одноосевого пневматического модуля, несмотря на наличие газовой пленки между ползуном пневматического модуля и основанием, при длительной эксплуатации неизбежно возникает определенная степень трения. Гранитное основание, благодаря своим высоким характеристикам твердости, эффективно противодействует износу, вызванному этим трением, и продлевает срок службы подвижного модуля. В научных лабораториях университетов экспериментальное оборудование, используемое для обнаружения микрочастиц, требует стабильной работы сверхточного одноосевого пневматического модуля в течение длительного времени для получения большого количества точных экспериментальных данных. Высокая износостойкость гранитного основания гарантирует сохранение точности подвижного модуля на исходном высоком уровне даже после длительного использования, обеспечивая надежную гарантию непрерывности и точности научных исследований и помогая исследователям глубоко изучать тайны микроскопического мира.
Одноосевой пневматический сверхточный модуль перемещения с гранитным основанием подобен точному «навигатору» для высокоточного производства и научных исследований. Гранитное основание, обладающее превосходной стабильностью и износостойкостью, обеспечивает надежную опору для высокоточного перемещения пневматического модуля, играя незаменимую роль в полупроводниковом производстве, производстве оптических приборов, высокотехнологичных научных исследованиях и многих других областях, требующих высокой точности, и продвигая отрасль в направлении повышения точности и качества.