Модуль сверхточного перемещения с одной осью воздушного поплавка: литье из гранита для превосходной точности.

В сфере прецизионного производства и научных исследований спрос на сверхточное управление движением растёт с каждым днём. Высокоточный одноосный модуль с воздушной подушкой, являясь ключевым оборудованием для достижения высокоточного линейного перемещения, напрямую влияет на качество конечного продукта и точность результатов научных исследований. Среди множества факторов, влияющих на это, применение гранитного основания даёт ему непревзойдённое преимущество и становится ключевым элементом, обеспечивающим превосходную точность.
Гранит, после миллионов лет геологических изменений, имеет чрезвычайно плотную и однородную внутреннюю структуру. Он в основном состоит из кварца, полевого шпата и других минералов, этот уникальный состав материала придает граниту превосходные физические свойства. При использовании в качестве основания одноосного воздушного плавающего сверхточного модуля движения, гранит впервые демонстрирует чрезвычайно высокую стабильность. По сравнению с основаниями из обычных металлических материалов, гранитные основания демонстрируют более высокую устойчивость к деформации при воздействии внешних возмущений окружающей среды, таких как температурные колебания и механическая вибрация. В процессе производства электронных чипов точность позиционирования литографии чипа должна достигать нанометрового уровня. В производственном цехе вибрация, создаваемая работой крупногабаритного оборудования, и незначительные изменения температуры окружающей среды могут повлиять на точность движения литографического оборудования. Одноосный воздушный плавающий сверхточный модуль движения с гранитным основанием может эффективно ослаблять внешнюю вибрацию и снижать амплитуду вибрации, передаваемую модулю движения, более чем на 80%. В то же время его чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения делает изменение размера основания минимальным при изменении температуры, гарантируя, что воздушный модуль движения по-прежнему сможет поддерживать стабильную точность движения в сложных условиях, предоставляя основу для точного позиционирования для литографии чипов и значительно повышая выход годных при производстве чипов.

Кроме того, гранит обладает хорошей износостойкостью. При частом возвратно-поступательном движении сверхточного одноосного воздушного поплавкового модуля, несмотря на наличие газовой пленки между ползуном воздушного поплавка и основанием, длительное использование неизбежно приводит к возникновению определенного уровня трения. Гранитное основание, благодаря своей высокой твердости, эффективно противостоит износу, вызванному этим трением, и продлевает срок службы модуля движения. В научно-исследовательских лабораториях университетов экспериментальное оборудование, используемое для обнаружения микрочастиц, нуждается в сверхточном модуле движения одноосной воздушной флотации для длительной стабильной работы и получения большого количества точных экспериментальных данных. Высокая износостойкость гранитного основания гарантирует сохранение точности модуля движения на исходном высоком уровне после длительного использования, обеспечивая надежную гарантию непрерывности и точности научных исследований и помогая исследователям глубоко исследовать тайны микроскопического мира.
Одноосный модуль сверхточного перемещения с гранитным основанием, работающий на воздушной подушке, служит своего рода точным «навигатором» для точного производства и научных исследований. Гранитное основание, обладая превосходной устойчивостью и износостойкостью, обеспечивает надежную поддержку высокоточного перемещения модуля в полупроводниковом производстве, оптическом приборостроении, высокотехнологичных научных исследованиях и многих других областях, где требуются точные измерения, играя незаменимую роль, продвигая отрасль к более высокой точности и качеству.