Модуль сверхточного перемещения с одной осью и воздушным поплавком: литье из гранита для превосходной точности.

На переднем крае точного производства и научных исследований спрос на сверхточное управление движением растет с каждым днем. Как ключевое оборудование для достижения высокоточного линейного движения, производительность сверхточного одноосного воздушного плавающего модуля напрямую влияет на качество конечного продукта и точность результатов научных исследований. Среди многих влияющих факторов применение гранитного основания дает ему непревзойденное преимущество и становится основным элементом для обеспечения превосходной точности.
Гранит, после миллионов лет геологических изменений, внутренняя структура чрезвычайно плотная и однородная. Он в основном состоит из кварца, полевого шпата и других минералов, этот уникальный состав материала придает граниту превосходные физические свойства. При использовании в качестве основания одноосного воздушного плавающего сверхточного модуля движения, гранит сначала демонстрирует чрезвычайно высокую стабильность. По сравнению с обычными металлическими основаниями, гранитные основания демонстрируют более высокую устойчивость к деформации при внешних возмущениях окружающей среды, таких как колебания температуры и механическая вибрация. В процессе производства электронных чипов точность позиционирования литографии чипа должна достигать нанометрового уровня. В производственном цехе вибрация, создаваемая работой крупного оборудования, и небольшие изменения температуры окружающей среды могут повлиять на точность движения литографического оборудования. Одноосный воздушный плавающий сверхточный модуль движения с гранитным основанием может эффективно ослаблять внешнюю вибрацию и уменьшать амплитуду вибрации, передаваемую модулю движения, более чем на 80%. В то же время, чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения делает размер основания практически неизменным при изменении температуры, гарантируя, что модуль перемещения с воздушным потоком может по-прежнему поддерживать стабильную точность перемещения в сложных условиях, обеспечивая основу точного позиционирования для литографии чипов и значительно повышая выход продукции при производстве чипов.

Кроме того, гранит обладает хорошей износостойкостью. В процессе частого возвратно-поступательного движения сверхточного одноосного воздушного поплавкового модуля, хотя между ползунком воздушного поплавка и основанием имеется газовая пленка, длительное использование неизбежно приведет к возникновению определенной степени трения. Гранитное основание с его высокими характеристиками твердости может эффективно противостоять износу, вызванному этим трением, и продлевает срок службы модуля движения. В научно-исследовательской лаборатории университетов экспериментальное оборудование, используемое для обнаружения микрочастиц, нуждается в сверхточном модуле движения одноосной воздушной флотации для стабильной работы в течение длительного времени для получения большого количества точных экспериментальных данных. Высокая износостойкость гранитного основания гарантирует, что точность модуля движения может по-прежнему поддерживаться на исходном высоком уровне точности после длительного использования, обеспечивая надежную гарантию непрерывности и точности научно-исследовательской работы и помогая исследователям глубоко исследовать тайну микроскопического мира.
Модуль сверхточного движения с одной осью воздушного поплавка с гранитным основанием подобен точному «навигатору» для точного производства и научных исследований. Гранитное основание с его превосходной устойчивостью, износостойкостью, для высокоточного движения модуля движения воздушного поплавка обеспечивает надежную поддержку, в производстве полупроводников, производстве оптических приборов, высокотехнологичных научных исследованиях и многих других требованиях к точности в этой области, играет незаменимую важную роль, продвигая отрасль в направлении более высокой точности, более высокого качества.