В точной цепочке производства полупроводников система переноса пластин подобна «жизненно важной части производственной линии микросхем», и ее стабильность и точность напрямую определяют процент выхода годных микросхем. Новое поколение систем переноса пластин революционно сочетает линейные двигатели с гранитными основаниями, и уникальные преимущества гранитных материалов являются ключевым фактором, обеспечивающим высокопроизводительную передачу данных.
Гранитное основание: создание "непробиваемого фундамента" для стабильной передачи данных.
Гранит, прошедший сотни миллионов лет геологического развития, отличается плотной и однородной внутренней кристаллизацией минералов. Эта природная особенность делает его идеальным базовым материалом для систем переноса пластин. В сложной среде чистых помещений полупроводниковых производств гранит, благодаря своему сверхнизкому коэффициенту теплового расширения (всего 5-7 × 10⁻⁶/℃), способен противостоять теплу, выделяемому во время работы оборудования, и влиянию изменений температуры окружающей среды, обеспечивая стабильность размеров основания и предотвращая отклонения пути переноса, вызванные термической деформацией. Его выдающиеся виброгасящие свойства позволяют быстро поглощать механические вибрации, возникающие при запуске, остановке и разгоне линейных двигателей, а также внешние помехи, создаваемые работой другого оборудования в цехе, обеспечивая стабильную платформу с «нулевой вибрацией» для переноса пластин.
Между тем, химическая стабильность гранита гарантирует, что он не подвергается коррозии или ржавчине в полупроводниковых цехах, где кислотные и щелочные реагенты летучи и требуется высокая чистота, что позволяет избежать влияния старения материала или адсорбции загрязняющих веществ на точность передачи. Гладкая и плотная поверхность позволяет более эффективно снижать прилипание пыли, соответствуя строгим стандартам чистоты помещений и исключая риск загрязнения пластин с корнем.
Эффект «золотого партнерства» линейных двигателей и гранита
Линейные двигатели, благодаря отсутствию зазоров в механической передаче, высокому ускорению и высокой скорости отклика, наделяют конвейер для транспортировки пластин преимуществами «быстроты, точности и стабильности». Гранитное основание обеспечивает прочную и надежную опорную платформу. Вместе они обеспечивают значительный скачок в производительности. Когда линейный двигатель приводит в движение конвейер для пластин по направляющим гранитного основания, высокая жесткость и устойчивость основания обеспечивают эффективную передачу приводной силы двигателя, предотвращая потери усилия или задержку передачи, вызванные деформацией основания.
В связи с растущей потребностью в наноразмерной точности, линейные двигатели позволяют осуществлять управление перемещением на субмикронном уровне. Высокоточные характеристики обработки гранитных оснований (с погрешностями плоскостности в пределах ±1 мкм) идеально сочетаются с точным управлением линейных двигателей, обеспечивая в совокупности погрешность позиционирования при передаче пластин менее ±5 мкм. Будь то высокоскоростное перемещение между различным технологическим оборудованием или точная парковка для передачи пластин, сочетание линейных двигателей и гранитных оснований обеспечивает «нулевое отклонение и нулевую вибрацию» при передаче пластин.
Проверка соответствия отраслевым стандартам: двойное повышение эффективности и коэффициента выхода продукции.
После модернизации системы переноса пластин ведущее мировое предприятие по производству полупроводников внедрило решение с использованием линейного двигателя и гранитной подставки, что повысило эффективность переноса пластин на 40%, снизило частоту возникновения дефектов, таких как столкновения и смещения, в процессе переноса на 85% и улучшило общий процент выхода годных чипов на 6%. За этими данными стоит гарантия стабильности переноса, обеспечиваемая гранитной подставкой, и высокоскоростной и точный синергетический эффект линейного двигателя, что значительно снижает потери и ошибки в процессе переноса пластин.
От свойств материалов до точности изготовления, от преимуществ в производительности до практической проверки — сочетание линейных двигателей и гранитных оснований переопределило стандарты систем переноса пластин. В будущем, когда полупроводниковые технологии будут развиваться в направлении 3-нм и 2-нм процессов, гранитные материалы, несомненно, продолжат придавать мощный импульс развитию отрасли благодаря своим незаменимым преимуществам.
Дата публикации: 14 мая 2025 г.