Гранитное основание является важным компонентом различных полупроводниковых приборов. Будучи высокостабильным и жёстким материалом, гранит широко используется в качестве основания для оборудования для обработки полупроводников. Он характеризуется низким коэффициентом теплового расширения, высокой размерной стабильностью и превосходными механическими свойствами. Благодаря этим свойствам гранитное основание чаще всего используется в трёх различных типах полупроводниковых приборов: метрологическом оборудовании, литографическом оборудовании и контрольно-измерительном оборудовании.
Метрологическое оборудование используется для измерения и определения критических размеров полупроводниковых приборов. Оно играет решающую роль в поддержании качества и стабильности процесса производства полупроводников. К метрологическому оборудованию относятся такие приборы, как оптические микроскопы, электронные микроскопы и атомно-силовые микроскопы (АСМ). Поскольку эффективность этих измерительных приборов зависит от их стабильности, точности и виброустойчивости, гранит является идеальным материалом для их основания. Однородность и устойчивость гранитного основания обеспечивают устойчивую платформу для приборов, что повышает их точность и надежность.
Литографическое оборудование используется для создания шаблонов микросхем на пластине. Процесс литографии требует высокой точности и аккуратности для создания сложных схем и повышения производительности чипов. Литографическое оборудование включает в себя шаговые и сканирующие системы, которые используют свет для переноса изображений на пластину. Поскольку процесс литографии очень чувствителен к вибрации и перепадам температур, высококачественный стол необходим для обеспечения стабильности и повторяемости процесса. Гранитные столы обеспечивают необходимую стабильность и строгие характеристики гашения вибраций для литографических систем. Гранитный стол позволяет шаговому или сканирующему устройству поддерживать точное пространственное положение, обеспечивая высокую точность и качество конечного продукта.
Инспекционное оборудование используется для выявления дефектов в полупроводниковых приборах. К инспекционному оборудованию относятся такие системы, как лазерные сканирующие микроскопы, электронные микроскопы и оптические микроскопы. Поскольку эти приборы должны быть высокоточными, стабильными и виброустойчивыми, гранитные основания являются идеальным материалом. Механические свойства и размерная стабильность гранита способствуют виброизоляции, что повышает точность результатов инспекционного оборудования.
В заключение следует отметить, что гранитные основания играют ключевую роль в полупроводниковой промышленности и широко используются в различных типах оборудования. Благодаря своим уникальным свойствам, таким как размерная стабильность, низкий коэффициент теплового расширения и превосходная механическая прочность, гранит является идеальным материалом для изготовления оснований для полупроводникового оборудования. Высококачественное гранитное основание обеспечивает необходимую стабильность, точность и виброустойчивость полупроводникового оборудования, что в конечном итоге повышает качество конечного продукта. Поэтому гранитные основания, несомненно, будут использоваться в полупроводниковом оборудовании ещё долгие годы.
Время публикации: 03.04.2024