Гранитные материалы широко используются в полупроводниковой промышленности благодаря своим превосходным характеристикам, таким как высокая стабильность, низкое тепловое расширение и высокая коррозионная стойкость. Эти свойства делают гранит идеальным материалом для создания высокоточных компонентов в системах переноса пластин.
В процессе производства полупроводников система транспортировки пластин играет важнейшую роль в их транспортировке между различными этапами производственного процесса. К этим системам предъявляются важнейшие требования: точность и надёжность, поскольку даже незначительные отклонения могут поставить под угрозу весь процесс. Поэтому компоненты системы транспортировки пластин должны быть изготовлены из высококачественных материалов, и гранит отвечает этим требованиям.
Некоторые части системы транспортировки пластин, изготовленные из гранитных материалов, включают в себя:
1. Вакуумный зажимной стол
Вакуумный стол используется для удержания пластины во время процесса и должен иметь устойчивую поверхность, чтобы предотвратить повреждение пластины. Гранит — идеальный материал для изготовления этого стола, поскольку его плоская, непористая поверхность обеспечивает высокую стабильность и точность. Кроме того, гранит обладает низким коэффициентом теплового расширения, что делает его устойчивым к перепадам температур, которые могут привести к изменению размеров пластины.
2. Ступень на воздушной подушке
Стол на воздушных подшипниках используется для транспортировки пластины через различные этапы производственного процесса. Стол спроектирован таким образом, чтобы обеспечивать движение без трения, что требует высокой точности и стабильности. Гранит используется в данном случае, поскольку это жёсткий и твёрдый камень, устойчивый к деформации и износу с течением времени.
3. Линейные направляющие
Линейные направляющие используются для управления подвижным элементом на воздушных подшипниках и должны быть точно позиционированы, чтобы минимизировать ошибки. Для изготовления этих направляющих используется гранит, обладающий превосходной механической стабильностью и прочностью. Этот материал также устойчив к коррозии, что обеспечивает долговечность направляющей системы.
4. Метрологическое оборудование
Метрологическое оборудование используется для измерения размеров и свойств пластин в процессе производства. Гранит — идеальный материал для изготовления такого оборудования, поскольку он обладает высокой жёсткостью, малым расширением и минимальной деформацией под нагрузкой. Кроме того, термостойкость гранита гарантирует стабильность и точность работы метрологического оборудования в течение длительного времени.
В заключение следует отметить, что полупроводниковая промышленность опирается на точность и достоверность данных, а гранитные материалы доказали свою высокую надежность и стабильность в процессе производства. Поскольку многие критически важные компоненты системы переноса пластин требуют высокой стабильности, точности и низкого теплового расширения, инженеры обратились к гранитным материалам для удовлетворения этих критически важных требований.
Время публикации: 19 марта 2024 г.