Гранитные материалы широко используются в полупроводниковой промышленности из -за их превосходных характеристик, таких как высокая стабильность, низкая тепловая экспансия и высокая устойчивость к коррозии. Эти свойства делают гранит идеальным материалом для строительства высоких компонентов в системе переноса пластин.
В процессе производства полупроводников система передачи пластин играет важную роль в транспортировке пластин на разных этапах производственного процесса. Точность и точность являются важными требованиями для этих систем, так как даже незначительные отклонения могут поставить под угрозу весь процесс. Следовательно, компоненты в системе переноса пластин должны быть изготовлены из высококачественных материалов, а гранит соответствует этим критериям.
Некоторые части системы переноса пластин, которые изготовлены из гранитных материалов, включают:
1. Вакуумный патронный таблица
Таблица вакуумного патрона используется для удержания пластины во время процесса, и она должна иметь стабильную поверхность, чтобы гарантировать, что пластина не повреждена. Гранит является идеальным материалом для создания этой таблицы, потому что он имеет плоскую, непористую поверхность, которая обеспечивает высокую стабильность и точность. Кроме того, гранит имеет низкий коэффициент термического расширения, что делает его устойчивым к изменениям температуры, которые могут вызвать размерные изменения в пластине.
2. Авиационная стадия
Стадия воздуха используется для перевозки пластины на разных этапах производственного процесса. Сцена спроектирована для обеспечения без трения, что требует высокой точности и стабильности. Гранит используется в этом приложении, потому что он жесткий и твердый камень, и он со временем противостоит деформации и износу.
3. Линейные руководства по движению
Руководства по линейным движению используются для направления воздушной стадии, и они должны быть точно расположены, чтобы минимизировать ошибки. Гранит используется для создания этого руководства, потому что он обладает отличной механической стабильностью и прочностью. Материал также является устойчивым к коррозии, что обеспечивает долговечность направляющей системы.
4. Метрологическое оборудование
Метрологическое оборудование используется для измерения размеров и свойств пластины во время производственного процесса. Гранит является идеальным материалом для строительства этого оборудования, потому что он имеет высокую жесткость, низкую расширение и минимальную деформацию при нагрузке. Кроме того, тепловая стабильность гранита гарантирует, что метрологическое оборудование остается стабильным и точным с течением времени.
В заключение, полупроводниковая промышленность опирается на точность и точность, а гранитные материалы оказались очень надежными и стабильными в производственном процессе. При многих критических компонентах в системе переноса пластины, требующих высокой стабильности, точности и низкого теплового расширения, инженеры обратились к гранитным материалам для удовлетворения этих критических требований.
Пост времени: марта-19-2024