Гранитные материалы широко используются в полупроводниковой промышленности благодаря своим превосходным характеристикам, таким как высокая стабильность, низкое тепловое расширение и высокая устойчивость к коррозии.Эти свойства делают гранит идеальным материалом для создания высокоточных компонентов в системе переноса пластин.
В процессе производства полупроводников система переноса пластин играет решающую роль в транспортировке пластин на разных этапах производственного процесса.Точность и аккуратность являются важнейшими требованиями для этих систем, поскольку даже небольшие отклонения могут поставить под угрозу весь процесс.Поэтому компоненты системы переноса пластин должны быть изготовлены из высококачественных материалов, и гранит соответствует этим критериям.
Некоторые части системы переноса пластин, изготовленные из гранитных материалов, включают:
1. Стол вакуумного патрона
Стол для вакуумного держателя используется для удержания пластины во время процесса, и он должен иметь устойчивую поверхность, чтобы пластина не была повреждена.Гранит — идеальный материал для изготовления этого стола, поскольку он имеет плоскую непористую поверхность, обеспечивающую высокую стабильность и точность.Кроме того, гранит имеет низкий коэффициент теплового расширения, что делает его устойчивым к изменениям температуры, которые могут вызвать изменения размеров пластины.
2. Воздушно-несущая ступень.
Этап воздушной опоры используется для транспортировки пластины через различные этапы производственного процесса.Сцена спроектирована таким образом, чтобы обеспечить плавное движение, требующее высокой точности и стабильности.В этом случае используется гранит, поскольку это твердый и твердый камень, устойчивый к деформации и износу с течением времени.
3. Направляющие линейного движения
Направляющие линейного перемещения используются для направления воздушной опоры, и они должны быть точно расположены, чтобы минимизировать ошибки.Для изготовления этой направляющей используется гранит, поскольку он обладает превосходной механической стабильностью и прочностью.Материал также устойчив к коррозии, что обеспечивает долговечность направляющей системы.
4. Метрологическое оборудование
Метрологическое оборудование используется для измерения размеров и свойств пластины в процессе производства.Гранит является идеальным материалом для изготовления этого оборудования, поскольку он обладает высокой жесткостью, низким расширением и минимальной деформацией под нагрузкой.Более того, термическая стабильность гранита гарантирует, что метрологическое оборудование останется стабильным и точным с течением времени.
В заключение отметим, что полупроводниковая промышленность полагается на точность и аккуратность, а гранитные материалы доказали свою высокую надежность и стабильность в производственном процессе.Поскольку многие критически важные компоненты системы переноса пластин требуют высокой стабильности, точности и низкого теплового расширения, инженеры обратились к гранитным материалам, чтобы удовлетворить эти критические требования.
Время публикации: 19 марта 2024 г.