Гранитные материалы широко используются в полупроводниковой промышленности благодаря своим превосходным характеристикам, таким как высокая стабильность, низкое тепловое расширение и высокая коррозионная стойкость. Эти свойства делают гранит идеальным материалом для создания высокоточных компонентов в системе переноса пластин.
В процессе производства полупроводников система перемещения пластин играет важнейшую роль в транспортировке пластин на различных этапах производственного процесса. Точность и аккуратность являются основными требованиями к этим системам, поскольку даже незначительные отклонения могут поставить под угрозу весь процесс. Поэтому компоненты в системе перемещения пластин должны быть изготовлены из высококачественных материалов, и гранит соответствует этим критериям.
Некоторые части системы транспортировки пластин, изготовленные из гранитных материалов, включают:
1. Вакуумный зажимной стол
Вакуумный стол-держатель используется для удержания пластины во время процесса, и он должен иметь устойчивую поверхность, чтобы пластина не была повреждена. Гранит является идеальным материалом для изготовления этого стола, поскольку он имеет плоскую, непористую поверхность, которая обеспечивает высокую устойчивость и точность. Кроме того, гранит имеет низкий коэффициент теплового расширения, что делает его устойчивым к перепадам температуры, которые могут вызвать изменения размеров пластины.
2. Ступень на воздушной подушке
Воздушный подшипниковый стол используется для транспортировки пластины через различные этапы производственного процесса. Стол спроектирован для обеспечения движения без трения, что требует высокой точности и стабильности. Гранит используется в этом приложении, поскольку это жесткий и твердый камень, который устойчив к деформации и износу с течением времени.
3. Линейные направляющие
Линейные направляющие движения используются для направления ступени с воздушным подшипником, и они должны быть точно позиционированы, чтобы минимизировать ошибки. Гранит используется для создания этой направляющей, поскольку он обладает превосходной механической устойчивостью и прочностью. Материал также устойчив к коррозии, что обеспечивает долговечность направляющей системы.
4. Метрологическое оборудование
Метрологическое оборудование используется для измерения размеров и свойств пластины в процессе производства. Гранит является идеальным материалом для создания этого оборудования, поскольку он имеет высокую жесткость, низкое расширение и минимальную деформацию под нагрузкой. Более того, термическая стабильность гранита гарантирует, что метрологическое оборудование остается стабильным и точным с течением времени.
В заключение следует отметить, что полупроводниковая промышленность опирается на точность и аккуратность, а гранитные материалы доказали свою высокую надежность и стабильность в процессе производства. Поскольку многие критические компоненты в системе переноса пластин требуют высокой стабильности, точности и низкого теплового расширения, инженеры обратились к гранитным материалам, чтобы удовлетворить эти критические требования.
Время публикации: 19 марта 2024 г.