Гранит широко используется в полупроводниковой промышленности благодаря своим превосходным характеристикам, таким как высокая стабильность, низкое тепловое расширение и высокая коррозионная стойкость. Эти свойства делают гранит идеальным материалом для изготовления высокоточных компонентов в системе переноса пластин.
В процессе производства полупроводников система транспортировки пластин играет решающую роль в перемещении пластин между различными этапами производственного процесса. Точность и аккуратность являются важнейшими требованиями к этим системам, поскольку даже незначительные отклонения могут поставить под угрозу весь процесс. Поэтому компоненты системы транспортировки пластин должны быть изготовлены из высококачественных материалов, и гранит отвечает этим критериям.
К числу элементов системы переноса пластин, изготовленных из гранита, относятся:
1. Вакуумный зажимной стол
Вакуумный зажимной стол используется для удержания пластины во время процесса, и его поверхность должна быть устойчивой, чтобы предотвратить повреждение пластины. Гранит является идеальным материалом для изготовления такого стола, поскольку он имеет плоскую, непористую поверхность, обеспечивающую высокую стабильность и точность. Кроме того, гранит имеет низкий коэффициент теплового расширения, что делает его устойчивым к перепадам температуры, которые могут вызвать изменение размеров пластины.
2. Этап с воздушным подшипником
Подвесной столик используется для перемещения пластины через различные этапы производственного процесса. Конструкция столика обеспечивает движение без трения, что требует высокой точности и стабильности. В данном случае используется гранит, поскольку это жесткий и твердый камень, устойчивый к деформации и износу с течением времени.
3. Линейные направляющие
Линейные направляющие используются для перемещения пневматического подшипникового механизма, и их необходимо точно позиционировать, чтобы минимизировать погрешности. Для изготовления этих направляющих используется гранит, поскольку он обладает превосходной механической стабильностью и прочностью. Этот материал также устойчив к коррозии, что обеспечивает долговечность системы направляющих.
4. Метрологическое оборудование
Метрологическое оборудование используется для измерения размеров и свойств кремниевой пластины в процессе производства. Гранит является идеальным материалом для изготовления этого оборудования, поскольку он обладает высокой жесткостью, низким коэффициентом расширения и минимальной деформацией под нагрузкой. Кроме того, термическая стабильность гранита обеспечивает стабильность и точность метрологического оборудования с течением времени.
В заключение, полупроводниковая промышленность опирается на точность и аккуратность, и гранитные материалы доказали свою высокую надежность и стабильность в процессе производства. Поскольку многие критически важные компоненты в системе переноса пластин требуют высокой стабильности, точности и низкого теплового расширения, инженеры обратились к гранитным материалам для удовлетворения этих важных требований.
Дата публикации: 19 марта 2024 г.