В мире производства полупроводников точное и аккуратное оборудование имеет решающее значение для производства высококачественных чипов. Существует множество частей полупроводникового производственного объекта, которые должны использовать материалы с определенными свойствами для обеспечения надежной и высокоточной работы.
Одним из материалов, который стал стандартным компонентом полупроводникового оборудования, является гранит. Известный своей прочностью и стабильностью, гранит является превосходным материалом для создания и изготовления компонентов, используемых в полупроводниковом оборудовании. Вот некоторые части полупроводникового оборудования, которые обычно используют гранитный материал:
1. Опорные плиты
Опорные плиты полупроводникового оборудования должны быть чрезвычайно плоскими и устойчивыми, чтобы минимизировать вибрации и колебания температуры. И гранит — один из немногих материалов, которые могут соответствовать этим требованиям. Гранит — это материал с размерной стабильностью, который устойчив к деформации и тепловому расширению, гарантируя, что опорная плита сохранит свою плоскостность с течением времени.
2. Этапы
Ступени являются критически важными компонентами в полупроводниковом оборудовании, которые выполняют точные движения для производственных процессов, таких как позиционирование пластин, травление и осаждение. Гранитные ступени широко используются в полупроводниковом оборудовании из-за их высокой жесткости, низкого теплового расширения и превосходных демпфирующих свойств. Ступени из гранита обеспечивают более точные движения, а оборудование имеет меньший риск отказа.
3. Линейные направляющие
Линейные направляющие — это механические устройства, которые обеспечивают линейное движение по двум параллельным рельсам. Они должны быть чрезвычайно стабильными и точными, и гранит — идеальный материал для этой цели. Высокая жесткость и демпфирующие свойства гранита делают его популярным выбором для линейных направляющих, используемых в полупроводниковом оборудовании, обеспечивая стабильность и точность в процессе производства.
4. Чакс
Патроны используются для удержания и позиционирования пластин во время различных производственных процессов. Гранитные патроны популярны из-за своей плоскостности и термической стабильности. Благодаря низкому тепловому расширению гранита патроны, изготовленные из этого материала, не деформируются и не меняют размеры при воздействии перепадов температур.
5. Инспекционные пластины
Инспекционные пластины используются для проверки качества продукции, производимой в полупроводниковом оборудовании. Эти пластины должны быть чрезвычайно плоскими и стабильными, а также иметь возможность точно отражать свет. Высокая отражательная способность гранита, плоскостность поверхности и размерная стабильность делают его популярным выбором для инспекционных пластин в полупроводниковом оборудовании.
В заключение, гранитные элементы широко используются для прецизионных деталей в полупроводниковом оборудовании, и их использование, как прогнозируется, будет расширяться из-за их превосходных свойств. Благодаря высокой жесткости, низкому тепловому расширению и превосходным демпфирующим свойствам гранитные элементы обеспечивают необходимую стабильность, точность и повторяемость для выполнения наномасштабных операций в полупроводниковом оборудовании. Компании, которые производят высококачественное полупроводниковое оборудование, инвестируют в лучшие материалы, чтобы дать своим продуктам наилучшие шансы на успех, и гранит продолжает оставаться популярным материалом из-за своих превосходных свойств и надежности.
Время публикации: 19 марта 2024 г.