В мире производства полупроводников точное и качественное оборудование критически важно для производства высококачественных микросхем. Многие компоненты полупроводникового производства должны использовать материалы с особыми свойствами для обеспечения надёжной и высокоточной работы.
Гранит — один из материалов, ставших стандартным компонентом полупроводникового оборудования. Гранит, известный своей прочностью и стабильностью, отлично подходит для изготовления компонентов полупроводникового оборудования. Вот некоторые детали полупроводникового оборудования, для которых обычно используется гранит:
1. Опорные плиты
Опорные плиты полупроводникового оборудования должны быть исключительно плоскими и устойчивыми, чтобы минимизировать вибрации и колебания температуры. Гранит — один из немногих материалов, отвечающих этим требованиям. Гранит — материал, обладающий стабильностью размеров, устойчивый к деформации и тепловому расширению, что гарантирует сохранение плоскостности опорной плиты в течение длительного времени.
2. Этапы
Столы — важнейшие компоненты полупроводникового оборудования, обеспечивающие точные перемещения в таких производственных процессах, как позиционирование пластин, травление и осаждение. Гранитные столы широко используются в полупроводниковом оборудовании благодаря высокой жёсткости, низкому тепловому расширению и превосходным демпфирующим свойствам. Гранитные столы обеспечивают более точные перемещения, а оборудование — более низкий риск выхода из строя.
3. Линейные направляющие
Линейные направляющие — это механические устройства, обеспечивающие линейное перемещение по двум параллельным рельсам. Они должны быть чрезвычайно стабильными и точными, и гранит — идеальный материал для этой цели. Высокая жёсткость и демпфирующие свойства гранита делают его популярным материалом для линейных направляющих, используемых в полупроводниковом оборудовании, обеспечивая стабильность и точность производственного процесса.
4. Патроны
Патроны используются для фиксации и позиционирования пластин в ходе различных производственных процессов. Гранитные патроны популярны благодаря своей плоской форме и термостойкости. Благодаря низкому тепловому расширению гранита, патроны из этого материала не деформируются и не меняют размеров при перепадах температур.
5. Инспекционные пластины
Инспекционные пластины используются для контроля качества продукции, производимой в полупроводниковом оборудовании. Эти пластины должны быть исключительно плоскими, прочными и точно отражать свет. Высокая отражательная способность гранита, его плоскостность и размерная стабильность делают его популярным выбором для инспекционных пластин в полупроводниковом оборудовании.
В заключение следует отметить, что гранитные элементы широко используются для изготовления прецизионных деталей в полупроводниковом оборудовании, и, согласно прогнозам, их применение будет расширяться благодаря их превосходным свойствам. Благодаря высокой жёсткости, низкому тепловому расширению и превосходным демпфирующим свойствам, гранитные элементы обеспечивают необходимую стабильность, точность и повторяемость для выполнения наноопераций в полупроводниковом оборудовании. Компании, производящие высококачественное полупроводниковое оборудование, инвестируют в лучшие материалы, чтобы обеспечить своей продукции наилучшие шансы на успех, и гранит продолжает оставаться востребованным материалом благодаря своим превосходным свойствам и надёжности.
Время публикации: 19 марта 2024 г.