Гранитные основания очень предпочтительны в производстве полупроводникового оборудования из-за их превосходных свойств, таких как высокая размерная стабильность, высокая жесткость, низкое тепловое расширение, хорошие демпфирующие свойства и высокая стойкость к износу и истиранию. Они широко используются в нескольких критических компонентах в отрасли производства полупроводникового оборудования, таких как системы проверки пластин, системы измерения пластин, системы обработки пластин и многое другое.
Системы инспекции пластин
Системы инспекции пластин используют гранитные кровати для обеспечения устойчивой и ровной поверхности для инспекции полупроводниковых пластин. Гранитные кровати используются в качестве платформы, на которой находится пластина, проходящая инспекцию. Плоскостность и жесткость гранитного кровати обеспечивают точную инспекцию, сводя к минимуму повреждения или загрязнение пластины. Гранитные кровати также помогают снизить воздействие вибраций окружающей среды и других внешних факторов.
Системы измерения пластин
В системах измерения пластин точность имеет решающее значение. Гранитные основания широко используются для этой цели из-за их превосходной размерной стабильности. Они обеспечивают жесткую основу для точного измерения толщины пластины, ее формы и характеристик поверхности. Гранитные основания также устойчивы к износу и истиранию, что делает их идеальными для непрерывного использования в течение длительного периода.
Системы обработки пластин
Гранитные кровати также используются в системах обработки пластин. В этих системах гранитные кровати используются в качестве точного ориентира для позиционирования пластины во время процесса обработки. Высокая жесткость и плоскостность гранитного кровати обеспечивают точное и повторяемое позиционирование пластины, снижая риск повреждения.
Другие компоненты
Помимо вышеперечисленных компонентов, гранитные кровати также используются в других критических частях производства полупроводникового оборудования, таких как основания ступеней, опорные конструкции и другие высокоточные детали. Высокая размерная стабильность гранитных кроватей помогает снизить ошибки, вызванные деформацией деталей, термическими изменениями и вибрацией.
Заключение
В заключение, гранитные ложа являются критически важным компонентом в производстве полупроводникового оборудования, поскольку они обеспечивают высокую размерную стабильность, низкое тепловое расширение и отличную устойчивость к износу и истиранию. Они необходимы для точной, повторяемой и надежной работы в системах инспекции пластин, системах измерения пластин, системах обработки пластин и другом высокоточном оборудовании. Использование гранитных лож гарантирует, что производители полупроводникового оборудования могут производить высококачественную продукцию, которая соответствует строгим стандартам, требуемым современной полупроводниковой промышленностью.
Время публикации: 03.04.2024