Гранитные слои очень предпочтительны в производстве полупроводникового оборудования из -за их превосходных свойств, таких как высокая стабильность, высокая жесткость, низкая термоэлемтная расширение, хорошие демпфирующие свойства и высокая устойчивость к износу и истиранию. Они широко используются в нескольких критически важных компонентах в производственной промышленности по полупроводниковым оборудованию, таких как системы проверки пластин, системы измерения пластин, системы обработки пластин и многое другое.
Системы проверки пластины
Системы проверки пластин используют гранитные кровати, чтобы обеспечить стабильную и плоскую поверхность для проверки полупроводниковых пластин. Гранитные кровати используются в качестве сценической платформы, в которой проходит проверка пластины. Плохость и жесткость гранитного слоя обеспечивают точную проверку при минимизации повреждения или загрязнения в пластине. Гранитные кровати также помогают уменьшить влияние вибраций окружающей среды и других внешних факторов.
Системы измерения пластины
В системах измерения пластин, точность имеет решающее значение. Гранитные кровати широко используются для этой цели из -за их превосходной стабильности. Они обеспечивают жесткое основание для точного измерения толщины пластины, формы и поверхностных особенностей. Гранитные слои также устойчивы к износу и истиранию, что делает их идеальными для непрерывного использования в течение длительного периода.
Системы обработки пластин
Гранитные кровати также используются в системах обработки пластин. В этих системах гранитные слои используются в качестве точного руководства для позиционирования пластины в процессе обработки. Высокая жесткость и плоскостность гранитного слоя обеспечивают точное и повторяемое расположение пластины, снижая риск повреждения.
Другие компоненты
Помимо вышеупомянутых компонентов, гранитные слои также используются в других критических частях производства полупроводникового оборудования, таких как сценические базы, опорные сооружения и другие высокие детали. Высокая стабильность гранитных слоев помогает уменьшить ошибки, вызванные деформацией деталей, тепловыми изменениями и вибрацией.
Заключение
В заключение, гранитные пласты являются критическим компонентом в производстве полупроводникового оборудования, поскольку они обеспечивают высокую стабильность, низкое тепловое расширение и превосходное сопротивление износу и истиранию. Они необходимы для точной, повторяемой и надежной производительности в системах проверки пластин, систем измерения пластин, систем обработки пластин и другого высокоостренного оборудования. Использование гранитных слоев гарантирует, что производители полупроводникового оборудования могут производить высококачественные продукты, которые соответствуют строгим стандартам, требуемым современной полупроводниковой промышленностью.
Пост времени: апрель-03-2024