Гранитные основания широко используются в производстве полупроводникового оборудования благодаря своим превосходным свойствам, таким как высокая размерная стабильность, высокая жёсткость, низкое тепловое расширение, хорошие демпфирующие свойства и высокая износостойкость. Они широко используются в различных критически важных компонентах полупроводникового оборудования, таких как системы контроля пластин, системы измерения пластин, системы обработки пластин и многое другое.
Системы инспекции пластин
Системы инспекции полупроводниковых пластин используют гранитные столы, обеспечивающие устойчивую и ровную поверхность для контроля полупроводниковых пластин. Гранитные столы служат в качестве платформы, на которой размещается проверяемая пластина. Плоскость и жёсткость гранитного стола обеспечивают точность контроля, минимизируя повреждения и загрязнение пластины. Гранитные столы также помогают снизить воздействие вибраций окружающей среды и других внешних факторов.
Системы измерения пластин
В системах измерения пластин точность имеет решающее значение. Гранитные столы широко используются для этой цели благодаря своей превосходной размерной стабильности. Они обеспечивают жёсткую основу для точного измерения толщины, формы и характеристик поверхности пластин. Гранитные столы также устойчивы к износу и истиранию, что делает их идеальными для непрерывного использования в течение длительного времени.
Системы обработки пластин
Гранитные основания также используются в системах обработки пластин. В этих системах гранитные основания служат точным ориентиром для позиционирования пластины в процессе обработки. Высокая жёсткость и плоскостность гранитного основания обеспечивают точное и повторяемое позиционирование пластины, снижая риск её повреждения.
Другие компоненты
Помимо вышеперечисленных компонентов, гранитные станины также используются в других ответственных деталях производства полупроводникового оборудования, таких как основания столов, опорные конструкции и другие высокоточные детали. Высокая размерная стабильность гранитных станин способствует снижению погрешностей, вызванных деформацией деталей, термическими изменениями и вибрацией.
Заключение
В заключение, гранитные столы являются важнейшим компонентом в производстве полупроводникового оборудования, поскольку они обеспечивают высокую размерную стабильность, низкое тепловое расширение и отличную износостойкость и стойкость к истиранию. Они необходимы для точной, воспроизводимой и надежной работы систем контроля пластин, систем измерения пластин, систем обработки пластин и другого высокоточного оборудования. Использование гранитных столов гарантирует производителям полупроводникового оборудования возможность выпускать высококачественную продукцию, соответствующую строгим стандартам современной полупроводниковой промышленности.
Время публикации: 03.04.2024