Гранитные опоры для станков широко используются в оборудовании для обработки полупроводниковых пластин благодаря своим превосходным свойствам, таким как высокая жесткость, стабильность и точность. Сборка, тестирование и калибровка гранитной опоры — это критически важный процесс, требующий предельного внимания к деталям, точности и аккуратности. В этой статье мы рассмотрим пошаговый процесс сборки, тестирования и калибровки гранитной опоры для станков, используемых в оборудовании для обработки полупроводниковых пластин.
Сборка
Первый шаг — подготовка гранитной опорной плиты, основания и колонны к сборке. Убедитесь, что все поверхности чистые, сухие и свободны от мусора, пыли и масла. Вставьте выравнивающие стойки в основание и установите на него опорную плиту. Отрегулируйте выравнивающие стойки так, чтобы опорная плита была горизонтальной и ровной. Убедитесь, что опорная плита находится на одном уровне с основанием и колонной.
Далее установите колонну на основание и закрепите ее болтами. Используйте динамометрический ключ, чтобы затянуть болты до рекомендованного производителем значения момента затяжки. Проверьте горизонтальность колонны и при необходимости отрегулируйте выравнивающие шпильки.
Наконец, установите шпиндельный узел на верхнюю часть колонны. Используйте динамометрический ключ, чтобы затянуть болты до рекомендованного производителем значения момента затяжки. Проверьте горизонтальность шпиндельного узла и при необходимости отрегулируйте регулировочные шпильки.
Тестирование
После сборки основания станка следующим шагом является проверка его работоспособности и точности. Подключите источник питания и включите станок. Убедитесь, что все компоненты, такие как двигатели, шестерни, ремни и подшипники, работают исправно и без каких-либо отклонений или необычных шумов.
Для проверки точности станка используйте прецизионный индикатор часового типа для измерения биения шпинделя. Установите индикатор на поверочную плиту и вращайте шпиндель. Максимально допустимое биение должно быть менее 0,002 мм. Если биение превышает допустимый предел, отрегулируйте выравнивающие шпильки и проверьте еще раз.
Калибровка
Калибровка — это важнейший этап обеспечения точности и прецизионности станка. Процесс калибровки включает в себя тестирование и настройку параметров станка, таких как скорость, позиционирование и точность, чтобы гарантировать соответствие станка техническим характеристикам производителя.
Для калибровки станка вам понадобится калибровочный инструмент, в том числе лазерный интерферометр, лазерный трекер или шаровой измеритель. Эти инструменты с высокой точностью измеряют движение, положение и выравнивание станка.
Начните с измерения линейных и угловых осей станка. Используйте калибровочный инструмент для измерения перемещения и положения станка на заданном расстоянии или под заданным углом. Сравните измеренные значения со спецификациями производителя. Если обнаружены какие-либо отклонения, отрегулируйте параметры станка, такие как двигатели, редукторы и приводы, чтобы привести измеренные значения в допустимые пределы.
Далее проверьте функцию круговой интерполяции станка. Используйте инструмент калибровки, чтобы создать круговую траекторию и измерить движение и положение станка. Снова сравните измеренные значения со спецификациями производителя и при необходимости скорректируйте параметры.
Наконец, проверьте повторяемость работы станка. Измерьте положение станка в разных точках в течение заданного периода времени. Сравните измеренные значения и проверьте наличие отклонений. Если обнаружены отклонения, скорректируйте параметры станка и повторите тест.
Заключение
Сборка, тестирование и калибровка гранитного основания станка для оборудования по обработке полупроводниковых пластин — это критически важный процесс, требующий терпения, внимания к деталям и точности. Следуя этим шагам, вы можете гарантировать, что станок соответствует техническим характеристикам производителя и функционирует с точностью, стабильностью и прецизионностью.
Дата публикации: 28 декабря 2023 г.