IВ полупроводниковой промышленности точность оборудования для проверки пластин имеет решающее значение для обеспечения качества интегральных схем. Высокоточные гранитные основания машин, такие как те, что поставляются ZHHIMG®, играют важную роль в повышении производительности такого оборудования. Вот как они меняют ситуацию.
Исключительная размерная стабильностьГранит может похвастаться чрезвычайно низким коэффициентом теплового расширения, около (4–8)×10⁻⁶/℃, что значительно ниже, чем у многих металлов. В строго контролируемой среде полупроводниковых заводов, где даже незначительные колебания температуры могут вызвать ошибки измерения, гранитные основания машин остаются стабильными. Эта стабильность гарантирует, что позиционирование компонентов в оборудовании для проверки пластин остается точным, предотвращая любые отклонения, вызванные температурой, которые могут повлиять на точность результатов проверки.
Превосходное гашение вибрацииПроизводственные полы часто наполнены вибрациями от различных источников. Присущие граниту демпфирующие свойства с коэффициентом гашения 0,05–0,1 эффективно поглощают и рассеивают эти вибрации. Для вафельного инспек
В области, требующей высокого разрешения изображения и точных показаний датчиков, снижение вибраций, обеспечиваемое гранитными основаниями, бесценно. Оно минимизирует помехи, которые могут размыть изображения или исказить данные датчиков, позволяя оборудованию получать четкую и точную информацию о поверхности и внутренней структуре пластины.
Высокая жесткость и износостойкостьПри плотности около 3100 кг/м³ гранитные основания машин ZHHIMG® обеспечивают замечательную жесткость. Они могут выдерживать тяжелые компоненты оборудования для проверки пластин без деформации, сохраняя выравнивание оптических и механических систем. Кроме того, высокая твердость гранита (шкала Мооса 6–7) и отличная износостойкость гарантируют, что поверхность основания машины останется ровной и гладкой с течением времени. Такая последовательность имеет важное значение для долговременной точности, поскольку любой износ или деформация основания могут постепенно ухудшить точность оборудования.
Химическая инертностьПроизводство полупроводников подразумевает воздействие различных химикатов. Химическая инертность гранита делает его устойчивым к коррозии, вызываемой этими веществами. Это свойство защищает целостность основания машины, предотвращая химические повреждения, которые могут повлиять на стабильность и точность контрольно-измерительного оборудования.
В заключение, высокоточные гранитные основания машин — это не просто компонент, а ключевой фактор для достижения строгих требований к точности оборудования для проверки пластин. При выборе гранитных оснований машин отдавайте предпочтение проверенным поставщикам, таким как ZHHIMG®. Благодаря многочисленным сертификатам и приверженности качеству, ZHHIMG® гарантирует, что каждое гранитное основание машин обеспечивает надежность и производительность, необходимые для передового производства полупроводников.
Время публикации: 03.06.2025