IВ полупроводниковой промышленности точность оборудования для контроля качества пластин имеет решающее значение для обеспечения качества интегральных схем. Высокоточные гранитные станки, подобные тем, что поставляет компания ZHHIMG®, играют важную роль в повышении производительности такого оборудования. Вот как они меняют ситуацию к лучшему.
Исключительная стабильность размеров. Гранит обладает чрезвычайно низким коэффициентом теплового расширения, около (4–8)×10⁻⁶/℃, что значительно ниже, чем у многих металлов. В условиях строго контролируемой среды полупроводниковых заводов, где даже незначительные колебания температуры могут вызывать ошибки измерений, гранитные основания станков остаются стабильными. Эта стабильность гарантирует точность позиционирования компонентов в оборудовании для контроля качества пластин, предотвращая любые отклонения, вызванные температурой, которые могли бы повлиять на точность результатов контроля.
Превосходное гашение вибраций. Производственные цеха часто наполнены вибрациями различного происхождения. Присущие граниту демпфирующие свойства с коэффициентом демпфирования 0,05–0,1 эффективно поглощают и рассеивают эти вибрации. Например, для контроля качества вибраций.
Для участков, требующих получения изображений высокого разрешения и точных показаний датчиков, снижение вибраций, обеспечиваемое гранитными основаниями, имеет неоценимое значение. Это минимизирует помехи, которые могут размывать изображения или искажать данные датчиков, позволяя оборудованию получать четкую и точную информацию о поверхности и внутренней структуре пластины.
Высокая жесткость и износостойкость. Гранитные основания станков ZHHIMG®, плотностью приблизительно 3100 кг/м³, обладают исключительной жесткостью. Они способны выдерживать тяжелые компоненты оборудования для контроля качества полупроводниковых пластин без деформации, сохраняя выравнивание оптических и механических систем. Кроме того, высокая твердость гранита (по шкале Мооса 6–7) и превосходная износостойкость гарантируют, что поверхность основания станка останется ровной и гладкой с течением времени. Эта стабильность имеет важное значение для обеспечения точности в долгосрочной перспективе, поскольку любой износ или деформация основания могут постепенно снизить точность оборудования.
Химическая инертность. Производство полупроводников предполагает воздействие различных химических веществ. Химическая инертность гранита делает его устойчивым к коррозии под воздействием этих веществ. Это свойство обеспечивает целостность основания оборудования, предотвращая повреждения, вызванные химическими веществами, которые могут повлиять на стабильность и точность контрольно-измерительного оборудования.
В заключение, высокоточные гранитные станочные основания являются не просто компонентом, а ключевым элементом для достижения высочайшей точности, необходимой для оборудования контроля качества полупроводниковых пластин. При выборе гранитных станочных оснований отдавайте предпочтение проверенным поставщикам, таким как ZHHIMG®. Благодаря многочисленным сертификатам и приверженности качеству, ZHHIMG® гарантирует, что каждое гранитное станочное основание обеспечивает надежность и производительность, необходимые для передового полупроводникового производства.
Дата публикации: 03.06.2025