IВ производстве полупроводников точность оборудования для контроля пластин имеет решающее значение для обеспечения качества интегральных схем. Высокоточные гранитные основания станков, подобные тем, что предоставляет ZHHIMG®, играют важнейшую роль в повышении производительности такого оборудования. Вот как они влияют на ситуацию.
Исключительная размерная стабильность. Гранит обладает чрезвычайно низким коэффициентом теплового расширения, около (4–8)×10⁻⁶/℃, что значительно ниже, чем у многих металлов. В строго контролируемых условиях полупроводниковых заводов, где даже незначительные колебания температуры могут привести к ошибкам измерений, гранитные основания станков остаются стабильными. Эта стабильность гарантирует точность позиционирования компонентов в оборудовании для контроля пластин, предотвращая любые температурные отклонения, которые могут повлиять на точность результатов контроля.
Превосходное гашение вибраций. Производственные полы часто подвержены вибрации различного происхождения. Демпфирующие свойства гранита, коэффициент затухания которых составляет 0,05–0,1, эффективно поглощают и рассеивают эти вибрации. Для контроля пластин
В области, требующей высокого разрешения изображений и точных показаний датчиков, снижение вибраций, обеспечиваемое гранитными основаниями, бесценно. Оно минимизирует помехи, которые могут привести к размытию изображений или искажению данных датчиков, позволяя оборудованию получать чёткую и точную информацию о поверхности и внутренней структуре пластины.
Высокая жёсткость и износостойкость. Гранитные основания станков ZHHIMG®, плотность которых составляет около 3100 кг/м³, обладают исключительной жёсткостью. Они способны выдерживать тяжёлые компоненты оборудования для контроля пластин без деформации, обеспечивая центровку оптических и механических систем. Кроме того, высокая твёрдость гранита (6–7 по шкале Мооса) и превосходная износостойкость гарантируют, что поверхность основания станка останется ровной и гладкой в течение длительного времени. Такая стабильность крайне важна для долговременной точности, поскольку любой износ или деформация основания могут постепенно снизить точность оборудования.
Химическая инертность. Производство полупроводников сопряжено с воздействием различных химических веществ. Химическая инертность гранита делает его устойчивым к коррозии, вызываемой этими веществами. Это свойство обеспечивает целостность основания машины, предотвращая химические повреждения, которые могут повлиять на стабильность и точность работы контрольно-измерительного оборудования.
В заключение, высокоточные гранитные основания станков — это не просто компонент, а ключевой фактор, позволяющий достичь высочайших требований к точности оборудования для контроля пластин. Выбирая гранитные основания станков, отдавайте предпочтение проверенным поставщикам, таким как ZHHIMG®. Благодаря многочисленным сертификатам и приверженности качеству, ZHHIMG® гарантирует, что каждое гранитное основание станка обеспечит надежность и производительность, необходимые для современного производства полупроводников.
Время публикации: 03 июня 2025 г.