Применение гранитного основания: Гранит обладает чрезвычайно стабильными физическими свойствами, плотной и однородной внутренней структурой, низким коэффициентом теплового расширения и высокой твердостью. Это позволяет основанию эффективно изолировать внешние вибрации, снижать влияние изменений температуры окружающей среды на точность платформы, а также обладает хорошей износостойкостью. Длительное использование обеспечивает стабильную работу опоры и создает прочный фундамент для обеспечения точности платформы.

Высокоточная конструкция механической системы: Механическая конструкция платформы была тщательно спроектирована и оптимизирована с использованием высокоточных направляющих, ходовых винтов, подшипников и других компонентов передачи. Благодаря низкому трению, высокой жесткости и хорошей повторяемости движения эти компоненты могут точно передавать мощность и контролировать движение платформы, уменьшая накопление ошибок во время движения. Например, использование аэростатических направляющих и воздушной пленки для поддержки движения платформы обеспечивает отсутствие трения, износа и высокую точность, что позволяет достичь точности позиционирования на наномасштабном уровне.
Передовая технология активной виброизоляции: оснащенная системой активной виброизоляции, она осуществляет мониторинг состояния вибрации платформы в режиме реального времени с помощью датчиков, а затем, в соответствии с результатами мониторинга, осуществляет обратную связь с приводом, генерируя противоположную силу или движение внешней вибрации для компенсации воздействия вибрации. Эта технология активной виброизоляции позволяет эффективно изолировать низкочастотные и высокочастотные вибрации, обеспечивая стабильность платформы в сложной вибрационной среде. Например, электромагнитный активный виброизолятор обладает преимуществами высокой скорости отклика и точного управления силой, что позволяет снизить амплитуду вибрации платформы более чем на 80%.
Система точного управления: Платформа использует передовую систему управления, такую как система управления на основе цифрового сигнального процессора (DSP) или программируемой логической интегральной схемы (FPGA), которая обладает возможностью высокоскоростных вычислений и точного управления. Система управления отслеживает и корректирует движение платформы в реальном времени с помощью точных алгоритмов, обеспечивая высокоточное позиционное управление, управление скоростью и ускорением. Одновременно система управления обладает хорошей помехоустойчивостью и может стабильно работать в сложной электромагнитной среде.

Высокоточное сенсорное измерение: Использование высокоточных датчиков перемещения, угловых датчиков и другого измерительного оборудования позволяет в режиме реального времени точно измерять движение платформы. Эти датчики передают данные измерений обратно в систему управления, которая, в свою очередь, производит точную настройку и компенсацию на основе полученных данных, обеспечивая точность движения платформы. Например, в качестве датчика перемещения используется лазерный интерферометр, точность измерений которого может достигать нанометров, что позволяет получать точную информацию о положении для высокоточного управления платформой.
Технология компенсации ошибок: Путем моделирования и анализа ошибок платформы используется технология компенсации ошибок для их исправления. Например, измеряется и компенсируется ошибка прямолинейности направляющей и ошибка шага ходового винта для повышения точности перемещения платформы. Кроме того, для компенсации ошибок, вызванных изменениями температуры, изменениями нагрузки и другими факторами, в режиме реального времени могут использоваться программные алгоритмы, что еще больше повышает точность платформы.
Строгий производственный процесс и контроль качества: В процессе производства платформы применяются строгие стандарты производственного процесса и контроля качества, обеспечивающие точность обработки и качество сборки каждого компонента. От выбора сырья до обработки, сборки и ввода в эксплуатацию деталей каждый этап тщательно проверяется и тестируется, чтобы гарантировать общую точность и производительность платформы. Например, осуществляется высокоточная обработка ключевых деталей, а также используется современное оборудование, такое как обрабатывающие центры с ЧПУ, чтобы гарантировать соответствие размеров, формы и допусков на положение деталей требованиям проекта.
Дата публикации: 11 апреля 2025 г.
