В точном мире производства полупроводников неразрушающий контроль пластин является ключевым звеном для обеспечения качества чипов. На первый взгляд незначительное гранитное основание на самом деле является «невоспетым героем», который определяет точность обнаружения. Как же это влияет на результаты испытаний? В этой статье будет проведен углубленный анализ с учетом таких измерений, как свойства материалов и структурная конструкция.
1. Стабильный фундамент: природные преимущества гранита закладывают прочную основу для точности
1. Отличные сейсмические характеристики
Во время работы оборудования для неразрушающего контроля пластин вращение двигателя и движение механических компонентов будут генерировать вибрации. Если эти вибрации не будут эффективно подавлены, они серьезно повлияют на точность испытаний. Внутренняя часть гранита тесно переплетена с минеральными кристаллами, такими как кварц и полевой шпат. Его уникальная структура наделяет его естественной способностью поглощения вибрации, способной поглощать более 90% энергии вибрации оборудования. Фактические данные измерений определенного производителя полупроводников показывают, что после использования гранитного основания амплитуда вибрации оборудования обнаружения была снижена с 12 мкм до 2 мкм, что эффективно предотвращает отклонение сигнала обнаружения, вызванное вибрацией.
2. Крайне низкий коэффициент теплового расширения
В процессе обнаружения такие факторы, как нагрев оборудования и изменения температуры окружающей среды, будут влиять на устойчивость основания машины. Обычные материалы значительно расширяются при нагревании, но коэффициент теплового расширения гранита составляет всего 1/5 от коэффициента теплового расширения стали. Даже если температура окружающей среды колеблется на 10℃, его деформацию можно игнорировать. Это позволяет гранитному основанию обеспечивать устойчивую опорную платформу для инспекционного оборудования, гарантируя, что относительное положение между инспекционным зондом и пластиной всегда остается точным, и избегая ошибок инспекции, вызванных термической деформацией.
Во-вторых, точная конструкция: структурная оптимизация еще больше повышает надежность обнаружения.
Высокая точность обработки и гарантия плоскостности
Высококачественное гранитное основание обработано с помощью передовой пятикоординатной технологии ЧПУ с плоскостностью ±0,5 мкм/м, что обеспечивает сверхплоскую установочную точку отсчета для контрольного оборудования. При инспекции пластин вертикальность и горизонтальность контрольного зонда имеют решающее значение для результатов инспекции. Высокоточное гранитное основание может обеспечить точное позиционирование зонда, делая данные инспекции более точными и надежными.
2. Индивидуальная структурная адаптация
Гранитные основания машин могут быть настроены для различного оборудования неразрушающего контроля пластин и требований к процессу. Например, чтобы соответствовать требованиям оптического контрольного оборудования по отражению света, поверхность основания машины может быть специально обработана; чтобы соответствовать требованиям по установке ультразвукового контрольного оборудования, основание может быть изготовлено заранее с точными монтажными отверстиями и кабельными лотками, что позволяет быстро и точно установить оборудование и уменьшить отклонения обнаружения, вызванные ошибками установки.
III. Долгосрочная стабильность: снижение потери точности, вызванной обслуживанием оборудования.
Гранит обладает высокой твердостью и высокой износостойкостью, с твердостью по шкале Мооса от 6 до 7, что в три раза превышает износостойкость обычной стали. Во время длительных инспекционных операций поверхность основания машины не подвержена износу и всегда может поддерживать хорошее состояние точности. Напротив, основания, изготовленные из других материалов, могут вызывать изменения в установочной точке оборудования из-за износа, тем самым влияя на точность обнаружения и требуя частой калибровки и обслуживания. Длительный срок службы и высокая устойчивость гранитного основания эффективно сокращают частоту обслуживания оборудования и снижают риск потери точности, которая может возникнуть в процессе обслуживания.
От ударопрочности, термостойкости до точного дизайна, каждая особенность гранитного основания защищает точность неразрушающего контроля пластин. В сегодняшнюю эпоху производства полупроводников, которая стремится к максимальной точности, выбор высококачественного гранитного основания подобен добавлению прочного слоя страховки к точности и надежности результатов испытаний.
Время публикации: 18 июня 2025 г.