В мире прецизионного производства полупроводников неразрушающий контроль пластин играет ключевую роль в обеспечении качества чипов. Казалось бы, незначительное гранитное основание на самом деле является «невоспетым героем», определяющим точность обнаружения. Как же оно влияет на результаты испытаний? В этой статье будет проведен углубленный анализ таких параметров, как свойства материалов и конструкция.
1. Прочный фундамент: природные преимущества гранита закладывают прочную основу для точности
1. Отличные сейсмостойкие характеристики
Во время работы оборудования для неразрушающего контроля пластин вращение двигателя и движение механических компонентов создают вибрации. Если эти вибрации не подавить эффективно, они серьёзно повлияют на точность испытаний. Внутренняя часть гранита тесно переплетена с минеральными кристаллами, такими как кварц и полевой шпат. Его уникальная структура наделяет его естественной способностью поглощать вибрации, способной поглощать более 90% энергии вибрации оборудования. Данные реальных измерений, проведённых одним из производителей полупроводников, показывают, что после использования гранитного основания амплитуда вибрации оборудования для обнаружения снизилась с 12 мкм до 2 мкм, что эффективно предотвращает отклонение сигнала обнаружения, вызванное вибрацией.
2. Чрезвычайно низкий коэффициент теплового расширения
В процессе детектирования такие факторы, как нагрев оборудования и изменения температуры окружающей среды, влияют на устойчивость основания машины. Обычные материалы значительно расширяются при нагревании, но коэффициент теплового расширения гранита составляет всего 1/5 от коэффициента теплового расширения стали. Даже при колебаниях температуры окружающей среды на 10 °C его деформацию можно игнорировать. Это позволяет гранитному основанию служить стабильной опорной площадкой для контрольного оборудования, гарантируя постоянную точность взаимного положения зонда и пластины и предотвращая ошибки контроля, вызванные тепловой деформацией.
Во-вторых, точная конструкция: структурная оптимизация еще больше повышает надежность обнаружения.
Гарантия высокой точности обработки и плоскостности
Высококачественное гранитное основание, обработанное с помощью передовой пятикоординатной системы ЧПУ, обеспечивает плоскостность ±0,5 мкм/м, обеспечивая сверхплоскую опорную поверхность для контрольного оборудования. При контроле пластин вертикальность и горизонтальность контрольного зонда имеют решающее значение для результатов контроля. Высокоточное гранитное основание обеспечивает точное позиционирование зонда, повышая точность и надежность данных контроля.
2. Индивидуальная структурная адаптация
Гранитные основания станков могут быть изготовлены по индивидуальному заказу в соответствии с требованиями к оборудованию неразрушающего контроля пластин и различным технологическим процессам. Например, для соответствия требованиям к отражению света, предъявляемым к оптической инспекционной аппаратуре, поверхность основания станка может быть специально обработана; для соответствия требованиям к установке ультразвукового испытательного оборудования основание может быть изготовлено заводским способом с точными монтажными отверстиями и кабельными лотками, что обеспечивает быструю и точную установку оборудования и снижает отклонения, вызванные ошибками монтажа.
III. Долгосрочная стабильность: снижение потерь точности, вызванных обслуживанием оборудования.
Гранит обладает высокой твёрдостью и высокой износостойкостью, его твёрдость по шкале Мооса составляет 6-7, что в три раза превышает износостойкость обычной стали. При длительном контроле поверхность основания машины не подвержена износу и всегда сохраняет высокую точность. В отличие от этого, основания из других материалов могут привести к изменению установочных параметров оборудования из-за износа, что влияет на точность обнаружения и требует частой калибровки и обслуживания. Длительный срок службы и высокая стабильность гранитного основания эффективно сокращают частоту технического обслуживания оборудования и снижают риск потери точности, которая может возникнуть в процессе обслуживания.
От ударопрочности и термостойкости до точной конструкции — каждая характеристика гранитного основания гарантирует точность неразрушающего контроля пластин. В современную эпоху производства полупроводников, где так важна максимальная точность, выбор высококачественного гранитного основания — это словно надёжная гарантия точности и надёжности результатов испытаний.
Время публикации: 18 июня 2025 г.