В полупроводниковой промышленности резка кремниевых пластин является ключевым процессом, требующим высочайшей точности. Выбор материала для основания оборудования существенно влияет на его производительность. Давайте сравним гранит с другими распространенными материалами, чтобы понять, почему он часто оказывается лучшим материалом для оборудования для резки кремниевых пластин.
Гранит: на голову выше остальных
Стабильность: Гранит с плотностью около 3100 кг/м³, как у продукции ZHHIMG®, обеспечивает исключительную стабильность. Его стабильная структура минимизирует вибрации во время процесса резки пластин. В отличие от него, такие материалы, как алюминий, могут быть более склонны к смещению под воздействием нагрузок при высокоскоростной резке. Эта стабильность гарантирует точное позиционирование режущего инструмента, что приводит к точным разрезам и высококачественным пластинам.
Термостойкость: Гранит обладает низким коэффициентом теплового расширения. При резке пластин, где могут возникать колебания температуры из-за тепла, выделяемого в процессе резки или в производственной среде, термостойкость гранита является большим преимуществом. Он не расширяется и не сжимается значительно при изменении температуры, сохраняя соосность режущего оборудования. Металлы, такие как сталь, напротив, могут испытывать более существенное тепловое расширение, что потенциально может привести к смещению и неточным резам.
Виброгашение: Естественные виброгасящие свойства гранита замечательны. Во время резки пластин вибрации могут привести к отклонению режущего инструмента от заданной траектории, что вызывает сколы или неровные срезы. Гранит эффективно поглощает и рассеивает эти вибрации, обеспечивая более плавную резку. Такие материалы, как композиты на основе пластика, не обладают этой присущей им виброгашением, что делает их менее подходящими для высокоточной резки пластин.
В сравнении с чугуном
Чугун традиционно используется для основания машин. Однако у него есть свои ограничения по сравнению с гранитом. Хотя чугун обеспечивает некоторую стабильность, он тяжелее гранита относительно своей прочности. Этот дополнительный вес может создавать проблемы при установке и перемещении оборудования. Кроме того, чугун более подвержен коррозии со временем, особенно в условиях производства полупроводников, где могут присутствовать химические вещества. Гранит, будучи химически инертным, не страдает от этой проблемы, что обеспечивает долговечность и надежность.
Аргументы против мрамора
Некоторые могут рассматривать мрамор в качестве альтернативы, но он уступает граниту по многим параметрам. Мрамор имеет меньшую плотность и, как правило, менее стабилен, чем гранит. Он также более пористый, что делает его уязвимым для повреждений от влаги и химических веществ в производственной среде. В области резки вафель, где точность и долговечность имеют решающее значение, физические свойства мрамора не соответствуют требованиям так хорошо, как свойства гранита.
В заключение, когда речь идет о выборе материала для оснований оборудования для резки полупроводниковых пластин, гранит, особенно высококачественный гранит, такой как тот, что предлагает ZHHIMG®, выделяется среди прочих. Его стабильность, термостойкость и виброгасящие свойства делают его оптимальным выбором для достижения высокой точности, необходимой при резке полупроводниковых пластин. Хотя существуют и другие материалы, уникальное сочетание свойств гранита дает ему явное преимущество в этом требовательном применении.
Дата публикации: 03.06.2025