В области канавки полупроводниковых пластин точность — это спасательный круг. Непримечательное гранитное основание может привести к качественному скачку в производительности оборудования для канавки! Какие «суперспособности» оно на самом деле скрывает? Почему говорят, что выбор правильного гранитного основания означает, что вы преуспели на полпути? Сегодня мы покажем вам это подробно!
I. Внутренняя прочность: три «внутренних преимущества» гранита
Сейсмостойкость такая же стабильная, как у горы Тайшань.
Гранит имеет плотность до 2800-3100 кг/м³, а его структура плотная, как «каменная крепость». В условиях высокочастотной вибрации при прорезании канавок на пластинах (оборудование прорезает более 100 канавок в минуту) он может поглощать более 90% энергии вибрации, как и оснащение оборудования «шокопоглощающей черной технологией»! Измеренные данные с определенного завода по производству микросхем показывают, что после использования гранитного основания амплитуда дрожания головки фрезы для прорезания канавок уменьшилась с 15 мкм до 3 мкм, а края вырезанных микроканавок стали гладкими, как зеркало.
2. «Жаропрочная конституция» Не боится перепадов температур
Обычные материалы «расширяются и деформируются» при нагревании и «сжимаются и деформируются» при охлаждении, но коэффициент теплового расширения гранита составляет всего 4-8×10⁻⁶/℃, что составляет всего 1/5 от коэффициента теплового расширения металлов! Даже если температура в цехе резко колеблется на 10℃ в течение 24 часов, ее деформация составляет менее 0,01 мм и ее можно практически игнорировать. Это означает, что независимо от смены дня и ночи или длительной работы и выделения тепла оборудованием, гранитное основание может сохранять положение паза «неподвижным» все время.
3. Несокрушимая износостойкость
Твердость гранита по шкале Мооса достигает 6-7, что сопоставимо с твердостью кварцевого камня, а его износостойкость в три раза выше, чем у обычной стали! При длительном высокочастотном трении рифления пластины поверхность основания практически не изнашивается. После того, как определенный литейный завод использовал гранитные основания в течение пяти лет, плоскостность все еще сохранялась в пределах ±0,5 мкм/м при проверке, а точность рифления оставалась постоянной, что значительно экономило затраты на калибровку и замену оборудования.
II. Точная адаптация: как гранит отвечает различным требованиям к обработке канавок?
Сцена 1: Сверхтонкая проточка канавок (микроканавки менее 10 мкм)
Требование: Абсолютная плоскостность
Преимущества гранита: Благодаря высокоточной обработке с пятикоординатным соединением плоскостность можно контролировать в пределах ±0,5 мкм/м, что означает, что на длине 1 метр погрешность высоты в 200 раз тоньше человеческого волоса! Убедитесь, что расстояние между головкой режущего инструмента и пластиной всегда точное, а погрешность ширины вырезанных микроканавок не превышает ±0,1 мкм.
Сцена 2: Высокоскоростная проточка канавок в массовом производстве
Требование: Высокая амортизация
Преимущества гранита: Его естественные внутренние демпфирующие свойства могут быстро ослабить вибрацию оборудования. После того, как один из заводов по производству панелей внедрил гранитные основания, скорость проточки увеличилась на 40%, а выход годного подскочил с 85% до 96%, достигнув двойного урожая эффективности производства и качества!
Сцена 3: Обработка канавок в сложных условиях (высокая температура/коррозия)
Требования: Высокая термостойкость и коррозионная стойкость
Преимущества гранита: Чрезвычайно сильная химическая стабильность, устойчив к кислотной и щелочной коррозии; Имеет низкий коэффициент теплового расширения и не деформируется даже при локальной высокой температуре (150℃) во время лазерной прорезки. Гранитное основание, используемое в определенной лаборатории с коррозионным раствором для прорезки, непрерывно использовалось в течение трех лет, и поверхность основания осталась неповрежденной.
III. Как выбрать «подлинно высококачественное» гранитное основание?
Обратите внимание на плотность: гранит с плотностью ≥2800 кг/м³ имеет более плотную структуру.
Проверьте сертификаты: обязательно признайте наличие авторитетных сертификатов, таких как ISO 9001 и CNAS, чтобы гарантировать качество.
Данные проверки: Производитель обязан предоставить отчеты об испытаниях коэффициента теплового расширения (< 8×10⁻⁶/℃) и плоскостности (±0,5 мкм/м).
Тест на месте: постучите по основанию. Чистый звук означает, что внутри нет трещин. Если поверхность прикосновения гладкая, как зеркало, это указывает на высокую точность обработки.
Вывод: выберите правильный гранит и выиграйте половину битвы при обработке канавок!
От ударопрочности, термостойкости до износостойкости, гранитное основание с его «естественной красотой» и «жесткой прочностью» стало золотым партнером для оборудования для обработки канавок пластин. В сегодняшнюю эпоху производства полупроводников, которая стремится к наномасштабной точности, высококачественное гранитное основание — это не только инвестиция в оборудование, но и долгосрочная гарантия эффективности производства и качества продукции!
Время публикации: 17 июня 2025 г.