В сфере высокотехнологичного производства и передовых научных исследований сверхточный модуль движения воздушного поплавка благодаря своей превосходной точности стал ключевым оборудованием для точной работы и измерений. Прецизионное гранитное основание, используемое в качестве опорного сердечника, предъявляет строгие требования к рабочей среде, а подходящие условия окружающей среды являются основой для обеспечения его стабильной работы и наилучшего результата.
Во-первых, контроль температуры: прецизионный «стабилизатор»
Хотя гранит известен своей стабильностью, он не полностью невосприимчив к перепадам температур. Несмотря на то, что его коэффициент теплового расширения низок, обычно 5-7 × 10⁻⁶/℃, в сценариях сверхточного управления движением незначительные колебания температуры могут все же вызвать изменения размеров и повлиять на точность модуля. В цехе по производству полупроводниковых чипов процесс литографии требует точности позиционирования на уровне данами, а температура окружающей среды колеблется на 1 °C, и гранитное основание с длиной стороны 1 метр может производить линейное расширение или сжатие на 5-7 микрон. Это небольшое изменение передается сверхточным модулем движения воздушного поплавка, чего достаточно, чтобы вызвать отклонение шаблона литографии чипа и значительно снизить выход годных. Таким образом, модуль сверхточного движения с воздушной плавучей основой оснащен гранитной прецизионной основой, идеальная температура рабочей среды должна контролироваться в диапазоне 20 °C ± 1 °C с помощью высокоточного оборудования для поддержания постоянной температуры, такого как система кондиционирования воздуха с постоянной температурой и влажностью, непрерывного мониторинга и регулировки температуры окружающей среды, чтобы гарантировать, что колебания температуры находятся в очень небольшом диапазоне, поддерживать стабильность размера основания, чтобы гарантировать высокоточную работу модуля.
Во-вторых, управление влажностью: ключ к влагозащитной защите «камня»
Влажность является еще одним важным фактором, влияющим на производительность прецизионного гранитного основания. В среде с высокой влажностью гранит легко впитывает водяной пар, что может привести к образованию конденсата на поверхности, что не только влияет на прочность соединения гранита и сверхточного модуля движения воздушного поплавка, но и может вызвать эрозию поверхности и снизить блеск и точность в долгосрочной перспективе. В цехе шлифования оптических линз, если относительная влажность превышает 60% в течение длительного времени, водяной пар, адсорбированный на поверхности гранитного основания, будет мешать перемещению слайдера газового поплавка, так что точность шлифования линз снижается, а поверхность становится дефектной. Поэтому относительная влажность рабочей среды должна строго контролироваться в пределах от 40% до 60% относительной влажности, которую можно контролировать и регулировать в режиме реального времени, устанавливая осушители воздуха, датчики влажности и другое оборудование, чтобы избежать повреждения гранитного основания из-за высокой влажности и обеспечить бесперебойную работу сверхточного модуля движения воздушного поплавка.
В-третьих, гарантия чистоты: «хранитель» точности
Вред частиц пыли для прецизионного гранитного основания сверхточного модуля движения воздушной флотации нельзя недооценивать. Как только мельчайшие частицы попадают в зазор газовой пленки между ползуном газового поплавка и гранитным основанием, они могут разрушить однородность газовой пленки, увеличить трение и даже поцарапать поверхность основания, что приведет к снижению точности движения. В цехе сверхточной обработки деталей аэрокосмической промышленности, если частицы пыли из воздуха попадают на гранитное основание, траектория движения обрабатывающего инструмента может отклониться, что повлияет на точность обработки деталей. Поэтому рабочая зона должна содержаться в высокой чистоте, достигая 10000 и даже более высоких уровней стандартов чистоты, путем установки оборудования для очистки воздуха, такого как высокоэффективные воздушные фильтры (HEPA), отфильтровывающие частицы пыли в воздухе, в то же время персонал должен носить чистую одежду, бахилы и т. д., чтобы уменьшить пыль, приносимую людьми. Поддержание высокоточной рабочей среды гранитного основания и сверхточного модуля движения воздушного поплавка.
Четыре, виброизоляция: плавная работа «амортизационной подушки»
Внешняя вибрация негативно влияет на точность работы сверхточного модуля перемещения воздушного поплавка. Несмотря на то, что прецизионное гранитное основание обладает определённой способностью к гашению вибрации, высокоинтенсивная вибрация всё же может превысить его предел. Вибрация, создаваемая движением транспорта на заводе и работой крупногабаритного механического оборудования, передаётся на гранитное основание через грунт, что влияет на точность перемещения сверхточного модуля перемещения воздушного поплавка. В высокопроизводительных КИМ вибрация может привести к нестабильному контакту между измерительным щупом и измеряемой деталью, что приводит к отклонениям в результатах измерений. Для решения этой проблемы необходимо принять эффективные меры виброизоляции, такие как установка виброизолирующих прокладок в зоне установки оборудования, создание виброизолирующего фундамента или использование системы активной виброизоляции для активного нейтрализации внешней вибрации, а также создать тихую и стабильную рабочую среду для гранитного прецизионного основания и сверхточного модуля перемещения воздушного поплавка.
Только при полном соблюдении экологических требований к температуре, влажности, чистоте и контролю вибрации гранитное прецизионное основание сверхточного модуля движения воздушного поплавка может в полной мере раскрыть свои эксплуатационные преимущества, обеспечить надежную гарантию сверхточных операций в различных областях и помочь отрасли перейти на более высокий уровень точного производства и научных исследований.
Время публикации: 08.04.2025