В области высокотехнологичного производства и передовых научных исследований сверхточный модуль движения воздушного поплавка стал ключевым оборудованием для точной работы и измерения с его превосходной точностью. Гранитное прецизионное основание, как опорное ядро, имеет строгие требования к рабочей среде, а подходящие условия окружающей среды являются основой для обеспечения его стабильной работы и наилучшего эффекта.
Во-первых, контроль температуры: прецизионный «стабилизатор»
Хотя гранит известен своей стабильностью, он не полностью невосприимчив к изменениям температуры. Хотя его коэффициент теплового расширения низок, как правило, 5-7 ×10⁻⁶/℃, в сценариях сверхточного управления движением незначительные колебания температуры все равно могут вызывать изменения размеров и влиять на точность модуля. В цехе по производству полупроводниковых чипов процесс литографии требует точности позиционирования на уровне данами, а температура окружающей среды колеблется на 1 ° C, а гранитное основание с длиной стороны 1 метр может производить линейное расширение или сжатие на 5-7 микрон. Это небольшое изменение передается сверхточным модулем движения воздушного поплавка, чего достаточно, чтобы сделать отклонение рисунка литографии чипа и значительно снизить выход. Таким образом, оснащенный гранитным прецизионным основанием воздушного плавающего сверхточного модуля движения, идеальная температура рабочей среды должна контролироваться на уровне 20 °C ± 1 °C с помощью высокоточного оборудования для поддержания постоянной температуры, такого как система кондиционирования воздуха с постоянной температурой и влажностью, непрерывного мониторинга и регулировки температуры окружающей среды, чтобы гарантировать, что колебания температуры находятся в очень небольшом диапазоне, поддерживать стабильность размера основания, чтобы гарантировать высокоточную работу модуля.
Во-вторых, управление влажностью: ключ к влагостойкой защите «камня»
Влажность является еще одним важным фактором, влияющим на производительность прецизионного гранитного основания. В условиях высокой влажности гранит легко впитывает водяной пар, что может привести к образованию конденсата на поверхности, что не только влияет на стабильность соединения гранита и сверхточного модуля движения воздушного поплавка, но также может вызвать эрозию поверхности и снизить блеск и точность в долгосрочной перспективе. В цехе шлифования оптических линз, если влажность в течение длительного времени превышает 60% относительной влажности, водяной пар, адсорбированный на поверхности гранитного основания, будет мешать движению слайдера газового поплавка, так что точность шлифования линз снижается, а поверхность становится дефектной. Поэтому относительная влажность рабочей среды должна строго контролироваться в пределах 40%-60% относительной влажности, что можно контролировать и регулировать в режиме реального времени, устанавливая осушители воздуха, датчики влажности и другое оборудование, чтобы избежать повреждения гранитного основания из-за высокой влажности и обеспечить бесперебойную работу сверхточного модуля движения воздушного поплавка.
В-третьих, гарантия чистоты: «хранитель» точности
Вред частиц пыли для прецизионного гранитного основания сверхточного модуля движения воздушной флотации нельзя недооценивать. Как только мельчайшие частицы попадают в зазор газовой пленки между ползунком газового поплавка и гранитным основанием, они могут разрушить однородность газовой пленки, увеличить трение и даже поцарапать поверхность основания, что приведет к снижению точности движения. В цехе сверхточной обработки деталей аэрокосмической отрасли, если частицы пыли в воздухе попадают на гранитное основание, траектория движения обрабатывающего инструмента может отклониться, что повлияет на точность обработки деталей. Поэтому рабочая зона должна содержаться в высокой чистоте, достигая 10 000 или даже более высоких уровней стандартов чистоты, путем установки оборудования для очистки воздуха, такого как высокоэффективные воздушные фильтры (HEPA), отфильтровывающие частицы пыли в воздухе, в то же время персонал должен носить одежду, защищающую от пыли, бахилы и т. д., чтобы уменьшить пыль, приносимую людьми. Поддерживайте высокоточную рабочую среду гранитного основания и сверхточного модуля движения воздушного поплавка.
Четыре, виброизоляция: плавная работа «амортизационной подушки»
Внешняя вибрация является врагом точности сверхточного модуля движения воздушного поплавка. Хотя прецизионное гранитное основание имеет определенную способность к гашению вибрации, высокопрочная вибрация все равно может нарушить его буферный предел. Вибрация, создаваемая движением вокруг завода и работой крупного механического оборудования, передается на гранитное основание через землю, что будет мешать точности движения сверхточного модуля движения воздушного поплавка. В высокопроизводительных КИМ вибрация может привести к тому, что контакт между измерительным зондом и измеряемой деталью будет нестабильным, что приведет к отклонению данных измерений. Чтобы решить эту проблему, необходимо принять эффективные меры по изоляции вибрации, такие как укладка виброизоляционных подкладок в зоне установки оборудования, строительство виброизоляционного фундамента или использование активной системы изоляции вибрации для активного устранения внешней вибрации и создания тихой и стабильной рабочей среды для гранитного прецизионного основания и сверхточного модуля движения воздушного поплавка.
Только при полном соблюдении экологических требований по температуре, влажности, чистоте и контролю вибрации гранитное прецизионное основание сверхточного модуля движения воздушного поплавка может в полной мере раскрыть свои эксплуатационные преимущества, обеспечить надежную гарантию сверхточных операций в различных областях и помочь отрасли перейти на более высокий уровень точного производства и научных исследований.
Время публикации: 08.04.2025