В области точного производства и научных исследований плоскостность гранитных прецизионных платформ является ключевым показателем для обеспечения точности оборудования. Ниже приводится подробное введение в несколько основных методов обнаружения и их рабочие процедуры для вас.
I. Метод обнаружения лазерного интерферометра
Лазерный интерферометр является предпочтительным инструментом для высокоточного обнаружения плоскостности. Возьмем в качестве примера лазерный интерферометр ZYGO GPI XP, его разрешение может достигать 0,1 нм. При проведении обнаружения сначала совместите источник света интерферометра с платформой и разделите поверхность платформы на области сетки 50 мм × 50 мм. Затем данные интерференционных полос собирались по точкам, и данные были подогнаны и проанализированы с использованием полинома Цернике для получения ошибки плоскостности. Этот метод применим к высокоточным платформам и может обнаруживать ошибки плоскостности ≤0,5 мкм/м². Он обычно используется для обнаружения фотолитографических машин и платформ высококлассных трехкоординатных измерительных машин.
II. Метод электронной решетки уровней
Обнаружение электронного уровня массива просто в эксплуатации и высокоэффективно. Электронный уровень TESA A2 (с разрешением 0,01 мкм/м) был выбран и расположен в массиве 9×9 вдоль направления оси X/Y платформы. Синхронно собирая данные наклона каждого уровня и затем используя метод наименьших квадратов для расчета, можно точно получить значение плоскостности. Этот метод может эффективно определять локальные условия вогнутости и выпуклости платформы. Например, также может быть обнаружено отклонение 0,2 мкм в диапазоне 50 мм, что подходит для быстрого обнаружения в массовом производстве.
III. Метод оптического плоского кристалла
Метод оптического плоского кристалла подходит для обнаружения платформ с небольшой площадью. Плотно прикрепите оптический плоский кристалл к поверхности, которую нужно проверить на платформе, и наблюдайте интерференционные полосы, образованные между ними при освещении монохроматическим источником света (например, натриевой лампой). Если полосы представляют собой параллельные прямые полосы, это указывает на хорошую плоскостность. Если появляются изогнутые полосы, рассчитайте ошибку плоскостности на основе степени кривизны полос. Каждая изогнутая полоса представляет собой разницу высот в 0,316 мкм, и данные о плоскостности можно получить путем простого преобразования.
Четыре. Трехкоординатная измерительная машина Метод контроля
Трехкоординатная измерительная машина может достигать высокоточных измерений в трехмерном пространстве. Поместите гранитную платформу на рабочий стол измерительной машины и используйте зонд для равномерного сбора данных из нескольких точек измерения на поверхности платформы. Система измерительной машины обрабатывает и анализирует эти данные для создания отчета о плоскостности платформы. Этот метод может не только определять плоскостность, но и одновременно получать другие геометрические параметры платформы и подходит для комплексного обнаружения больших гранитных платформ.
Освоение этих методов обнаружения поможет вам точно оценить плоскостность гранитной прецизионной платформы и обеспечить надежную гарантию стабильной работы прецизионного оборудования.
Время публикации: 29 мая 2025 г.