В области прецизионного производства и научных исследований плоскостность гранитных прецизионных платформ является ключевым показателем, обеспечивающим точность оборудования. Ниже представлено подробное описание нескольких основных методов обнаружения и процедур их применения.
I. Метод обнаружения лазерного интерферометра
Лазерный интерферометр является предпочтительным инструментом для высокоточного определения плоскостности. В качестве примера можно привести лазерный интерферометр ZYGO GPI XP, разрешение которого достигает 0,1 нм. При проведении определения сначала совместите источник света интерферометра с платформой и разбейте поверхность платформы на сетку размером 50×50 мм. Затем данные интерференционных полос собирались по точкам, а затем данные обрабатывались и анализировались с помощью полинома Цернике для определения погрешности плоскостности. Этот метод применим к высокоточным платформам и позволяет обнаруживать погрешности плоскостности ≤0,5 мкм/м². Он широко используется для определения погрешностей фотолитографических машин и платформ высококлассных трёхкоординатных измерительных машин.
II. Метод электронной решетки уровней
Система электронного нивелирного обнаружения проста в эксплуатации и высокоэффективна. Электронный нивелир TESA A2 (с разрешением 0,01 мкм/м) был выбран и расположен в виде матрицы 9×9 вдоль осей X/Y платформы. Синхронный сбор данных о наклоне каждого уровня и последующее вычисление методом наименьших квадратов позволяют точно определить значение плоскостности. Этот метод позволяет эффективно определять локальные вогнутости и выпуклости платформы. Например, можно обнаружить отклонение 0,2 мкм в диапазоне 50 мм, что подходит для быстрого обнаружения в условиях массового производства.
III. Метод оптического плоского кристалла
Метод оптического плоского кристалла подходит для обнаружения платформ небольшой площади. Плотно прикрепите оптический плоский кристалл к контролируемой поверхности платформы и наблюдайте интерференционные полосы, образующиеся между ними при освещении монохроматическим источником света (например, натриевой лампой). Если полосы представляют собой параллельные прямые полосы, это указывает на хорошую плоскостность. Если появляются изогнутые полосы, рассчитайте погрешность плоскостности, исходя из степени кривизны полос. Каждая изогнутая полоса соответствует разнице высот 0,316 мкм, и данные о плоскостности можно получить путем простого преобразования.
Четыре. Трехкоординатная измерительная машина. Метод контроля.
Трёхкоординатная измерительная машина обеспечивает высокоточные измерения в трёхмерном пространстве. Поместите гранитную платформу на рабочий стол измерительной машины и с помощью датчика равномерно соберите данные из нескольких точек измерения на поверхности платформы. Система измерительной машины обрабатывает и анализирует эти данные для формирования отчёта о плоскостности платформы. Этот метод позволяет не только определить плоскостность, но и одновременно получить другие геометрические параметры платформы и подходит для комплексного контроля больших гранитных платформ.
Освоение этих методов обнаружения поможет вам точно оценить плоскостность гранитной прецизионной платформы и обеспечить надежную гарантию стабильной работы прецизионного оборудования.
Время публикации: 29 мая 2025 г.