В области производства полупроводников машины для обработки канавок играют решающую роль в создании точных каналов на пластинах. Производительность этих машин может существенно влиять
d выбором основания машины. Высокоточные гранитные основания машины, такие как предлагаемые ZHHIMG®, стали переломным моментом в этом отношении.
Стабильность для точной обработки канавок
Стабильность имеет первостепенное значение при прорезке канавок на пластинах. Гранит с его высокой плотностью около 3100 кг/м³ обеспечивает чрезвычайно стабильную основу. Во время процесса прорезки канавок режущий инструмент оказывает усилие на пластину. Стабильное основание машины, например, сделанное из гранита, гарантирует, что механизм удержания пластины остается прочно на месте. Эта стабильность сводит к минимуму любые нежелательные движения или вибрации пластины, позволяя режущему инструменту создавать канавки с высокой точностью. Напротив, менее стабильный базовый материал может привести к небольшому смещению пластины, в результате чего канавки будут либо слишком широкими, либо слишком узкими, либо не прямыми, что может серьезно повлиять на функциональность конечного полупроводникового устройства.
Гашение вибраций для плавной работы
Вибрация является неотъемлемой проблемой любого процесса обработки, и проточка пластин не является исключением. Высокоскоростное вращение режущего инструмента в машине для проточки пластин создает вибрации. Если эти вибрации не гасятся эффективно, они могут привести к сколам краев пластины, неравномерной глубине канавок и плохой отделке поверхности. Гранит обладает превосходными свойствами гашения вибрации. Его естественная структура, состоящая из взаимосвязанных минеральных зерен, действует как естественный амортизатор. При возникновении вибраций энергия рассеивается внутри гранита, что снижает воздействие на пластину и режущий инструмент. Это обеспечивает более плавную резку, более длительный срок службы инструмента и более высокое качество проточенных пластин.
Тепловое сопротивление для стабильных результатов
Заводы по производству полупроводников часто работают в контролируемых условиях, но все равно могут быть незначительные колебания температуры. Гранит имеет очень низкий коэффициент теплового расширения. Это означает, что при небольшом изменении температуры во время процесса проточки пластин (из-за тепла, выделяемого режущим инструментом, или изменений температуры окружающей среды) основание гранитного станка не будет значительно расширяться или сжиматься. При проточке пластин, где допуски точности находятся в диапазоне микрометров или даже нанометров, изменения размеров, вызванные температурой, могут быть катастрофическими. Термическая стабильность гранита помогает поддерживать выравнивание компонентов станка, гарантируя, что процесс проточки останется точным и последовательным с течением времени.
Прочность для долгосрочного использования
Машины для обработки канавок пластин постоянно используются в крупносерийном производстве полупроводников. Основание машины подвергается механическим нагрузкам, трению и случайным ударам. Высокая твердость и износостойкость гранита делают его идеальным материалом для долгосрочного использования. Он может выдерживать суровые условия ежедневной эксплуатации без значительного износа или деформации. Такая долговечность снижает необходимость в частых заменах или дорогостоящем обслуживании из-за проблем, связанных с основанием. Кроме того, гранит химически инертен, что означает, что он устойчив к коррозии от химикатов, используемых в процессах производства полупроводников, что еще больше увеличивает срок его службы.
В заключение, гранитное основание станка высокой точности действительно может повысить производительность станков для обработки канавок пластин. Обеспечивая устойчивость, гашение вибраций, устойчивость к тепловым изменениям и предлагая длительную прочность, гранитные основания станка способствуют более точным, эффективным и надежным операциям по обработке канавок пластин. При рассмотрении модернизации или покупки нового оборудования для обработки канавок пластин выбор станка с гранитным основанием высокой точности, например, от ZHHIMG®, является мудрым решением, которое может значительно повысить качество и производительность производства полупроводников.
Время публикации: 03.06.2025