В области производства полупроводников станки для обработки канавок играют ключевую роль в создании точных каналов на пластинах. Производительность этих станков может существенно влиять на производительность.
d выбором основания станка. Высокоточные гранитные основания станков, такие как предлагаемые ZHHIMG®, стали настоящим прорывом в этом отношении.
Стабильность для точной обработки канавок
Стабильность имеет первостепенное значение при прорезке канавок на пластинах. Гранит, обладающий высокой плотностью около 3100 кг/м³, обеспечивает чрезвычайно прочную основу. Во время прорезки канавок режущий инструмент воздействует на пластину. Устойчивое основание станка, например, гранитное, обеспечивает надежную фиксацию механизма крепления пластины. Эта стабильность сводит к минимуму любые нежелательные перемещения или вибрации пластины, позволяя режущему инструменту создавать канавки с высокой точностью. В свою очередь, менее устойчивый материал основания может привести к небольшому смещению пластины, в результате чего канавки будут либо слишком широкими, либо слишком узкими, либо неровными, что может серьезно повлиять на функциональность готового полупроводникового прибора.
Гашение вибраций для плавной работы
Вибрация является неотъемлемой проблемой любого процесса обработки, и проточка канавок на пластинах не является исключением. Высокоскоростное вращение режущего инструмента в станке для проточки канавок на пластинах создает вибрации. Если эти вибрации не гасить эффективно, они могут привести к сколам кромок пластины, неравномерной глубине канавок и ухудшению качества поверхности. Гранит обладает превосходными виброгасящими свойствами. Его природная структура, состоящая из взаимосвязанных минеральных зерен, действует как естественный амортизатор. При возникновении вибрации энергия рассеивается внутри гранита, снижая воздействие на пластину и режущий инструмент. Это обеспечивает более плавную резку, увеличивает срок службы инструмента и повышает качество обработанных пластин.
Тепловое сопротивление для стабильных результатов
Предприятия по производству полупроводников часто работают в контролируемых условиях, но незначительные колебания температуры всё же возможны. Гранит имеет очень низкий коэффициент теплового расширения. Это означает, что при небольших изменениях температуры во время обработки пластин (из-за тепла, выделяемого режущим инструментом, или колебаний температуры окружающей среды) гранитное основание станка не будет существенно расширяться или сжиматься. При обработке пластин, где допуски точности находятся в микрометровом или даже нанометровом диапазоне, температурные изменения размеров могут иметь катастрофические последствия. Термическая стабильность гранита способствует поддержанию соосности компонентов станка, обеспечивая точность и стабильность процесса обработки с течением времени.
Долговечность для длительного использования
Станки для обработки канавок на пластинах непрерывно используются в крупносерийном производстве полупроводников. Основание станка подвергается механическим нагрузкам, трению и периодическим ударам. Высокая твёрдость и износостойкость гранита делают его идеальным материалом для длительного использования. Он способен выдерживать суровые условия ежедневной эксплуатации без значительного износа и деформации. Такая прочность снижает необходимость в частой замене деталей или дорогостоящем обслуживании, связанном с проблемами основания. Кроме того, гранит химически инертен, что означает его устойчивость к коррозии, вызываемой химическими веществами, используемыми в процессе производства полупроводников, что ещё больше увеличивает срок его службы.
В заключение следует отметить, что высокоточное гранитное основание станка действительно может повысить производительность станков для обработки канавок на пластинах. Обеспечивая устойчивость, гашение вибраций, устойчивость к перепадам температур и долговечность, гранитные основания станка способствуют более точной, эффективной и надежной обработке канавок на пластинах. При модернизации или приобретении нового оборудования для обработки канавок на пластинах выбор станка с высокоточным гранитным основанием, например, от ZHHIMG®, является мудрым решением, которое может значительно повысить качество и производительность производства полупроводников.
Время публикации: 03 июня 2025 г.