В полупроводниковой промышленности станки для нарезания канавок на кремниевых пластинах играют решающую роль в создании точных каналов на пластинах. На производительность этих станков может существенно влиять...
Выбор станочного основания зависит от качества изготовления. Высокоточные гранитные станочные основания, такие как предлагаемые компанией ZHHIMG®, стали настоящим прорывом в этом отношении.
Стабильность для точной нарезки канавок
Стабильность имеет первостепенное значение при нарезании канавок на кремниевых пластинах. Гранит, обладающий высокой плотностью около 3100 кг/м³, обеспечивает чрезвычайно устойчивую основу. В процессе нарезания канавок режущий инструмент оказывает усилие на пластину. Устойчивое основание станка, например, из гранита, гарантирует надежную фиксацию механизма крепления пластины. Эта стабильность минимизирует любые нежелательные движения или вибрации пластины, позволяя режущему инструменту создавать канавки с высокой точностью. Напротив, менее стабильный материал основания может привести к небольшому смещению пластины, в результате чего канавки окажутся слишком широкими, слишком узкими или неровными, что может серьезно повлиять на функциональность конечного полупроводникового устройства.

Виброгашение для бесперебойной работы
Вибрация — неотъемлемая проблема любого процесса механической обработки, и нарезка канавок на пластинах не является исключением. Высокоскоростное вращение режущего инструмента в станке для нарезки канавок на пластинах генерирует вибрации. Если эти вибрации не гасятся эффективно, они могут привести к сколам кромок пластин, неравномерной глубине канавок и плохому качеству поверхности. Гранит обладает превосходными виброгасящими свойствами. Его природная структура, состоящая из взаимосвязанных минеральных зерен, действует как естественный амортизатор. При возникновении вибраций энергия рассеивается внутри гранита, уменьшая воздействие на пластину и режущий инструмент. Это приводит к более плавной резке, увеличению срока службы инструмента и получению более качественных пластин с канавками.
Термостойкость для стабильных результатов
Предприятия по производству полупроводников часто работают в контролируемых условиях, но всё же могут наблюдаться незначительные колебания температуры. Гранит обладает очень низким коэффициентом теплового расширения. Это означает, что при небольших изменениях температуры в процессе нарезки канавок на пластинах (из-за тепла, выделяемого режущим инструментом, или колебаний температуры окружающей среды) гранитное основание станка не будет значительно расширяться или сжиматься. При нарезке канавок на пластинах, где допуски на точность находятся в диапазоне микрометров или даже нанометров, вызванные температурой изменения размеров могут иметь катастрофические последствия. Термическая стабильность гранита помогает поддерживать соосность компонентов станка, обеспечивая точность и стабильность процесса нарезки канавок с течением времени.
Долговечность для длительного использования
Станки для нарезки канавок на полупроводниковых пластинах непрерывно используются в крупномасштабном производстве полупроводников. Основание станка подвергается механическим нагрузкам, трению и случайным ударам. Высокая твердость и износостойкость гранита делают его идеальным материалом для длительного использования. Он может выдерживать суровые условия ежедневной эксплуатации без значительного износа или деформации. Такая долговечность снижает необходимость частой замены или дорогостоящего технического обслуживания из-за проблем, связанных с основанием. Кроме того, гранит химически инертен, что означает его устойчивость к коррозии от химических веществ, используемых в процессах производства полупроводников, что еще больше увеличивает срок его службы.
В заключение, высокоточная гранитная опорная плита действительно может повысить производительность станков для нарезки канавок на кремниевых пластинах. Обеспечивая стабильность, гашение вибраций, устойчивость к температурным изменениям и долговечность, гранитные опорные плиты способствуют более точным, эффективным и надежным операциям по нарезке канавок на кремниевых пластинах. При рассмотрении вопроса о модернизации или приобретении нового оборудования для нарезки канавок на кремниевых пластинах выбор станка с высокоточной гранитной опорной плитой, например, от ZHHIMG®, является разумным решением, которое может значительно улучшить качество и производительность полупроводникового производства.
Дата публикации: 03.06.2025
