Гранитная платформа, как эталонный инструмент для точного измерения и обработки, ее поддержание точности напрямую влияет на качество продукции. Ниже представлен систематический план обслуживания, охватывающий контроль окружающей среды, ежедневное обслуживание и профессиональную калибровку, чтобы гарантировать, что платформа будет поддерживать точность на уровне нанометров в течение длительного времени.
1. Контроль окружающей среды: создание точного защитного барьера
Управление температурой и влажностью
Температура рабочей среды должна быть стабилизирована на уровне 20±1℃. Каждое колебание на 1℃ вызовет термическую деформацию гранитной платформы на 0,5-1 мкм/м. В цехе можно установить систему поддержания постоянной температуры, чтобы предотвратить прямой обдув платформы воздухом из выходов кондиционера.
Влажность должна контролироваться в пределах от 40% до 60%. Избыточная влажность может легко вызвать ржавчину на металлических деталях, а слишком низкая влажность может привести к помехам статического электричества при измерении.
Виброизоляция
Платформу следует держать вдали от источников вибрации, таких как штамповочные и фрезерные станки. Рекомендуется соблюдать расстояние более 3 метров от вибрационного оборудования.
Если вибрации избежать невозможно, в нижней части платформы можно установить пневматические амортизаторы, чтобы уменьшить влияние вибрации окружающей среды на плоскость платформы (что может снизить внешнюю вибрацию более чем на 80%).
2. Ежедневное обслуживание: тщательный контроль от очистки до защиты.
Спецификация очистки поверхности
Удаление пыли: Протирайте поверхность оленьей шкурой или безворсовой тканью в одном и том же направлении каждый день, чтобы частицы пыли (≥5 мкм) не царапали платформу. Стойкие пятна можно аккуратно протереть безводным этанолом (чистота ≥99,7%). Сильные растворители, такие как ацетон, использовать нельзя.
Обезжиривание: при попадании масляных пятен протрите поверхность разбавленным нейтральным чистящим средством, затем промойте деионизированной водой и высушите на воздухе, чтобы предотвратить проникновение минерального масла в мельчайшие поры платформы.
Защита от нагрузки и столкновений
Грузоподъемность платформы должна контролироваться в пределах 70% от номинальной нагрузки (например, для платформы весом 1000 кг рекомендуется, чтобы нагрузка была ≤700 кг), чтобы избежать постоянной деформации, вызванной локальной перегрузкой.
Категорически запрещается ударять заготовки по платформе. При работе с инструментами надевайте мягкие перчатки, чтобы не поцарапать поверхность острыми предметами (царапины глубиной более 20 мкм повлияют на измерение пути отраженного света).
3. Профессиональная калибровка: основа научного обеспечения точности
Настройка цикла калибровки
Обычные сценарии использования: калибровка один раз в квартал и использование лазерного интерферометра для определения плоскостности (с точностью ±0,5 мкм/м).
Высокочастотное использование или суровые условия: ежемесячная калибровка с акцентом на мониторинг областей, чувствительных к температуре (например, края платформы вблизи источников тепла).
Обработка после калибровки
Если обнаружено отклонение от плоскостности (например, > ±1 мкм/м), его должен отшлифовать и отремонтировать профессиональный техник с использованием микропорошка W1.5. Самостоятельная шлифовка наждачной бумагой строго запрещена.
После калибровки данные следует записать и архивировать, а также построить кривую затухания точности платформы, чтобы заранее прогнозировать требования к техническому обслуживанию.
4. Хранение и транспортировка: избегайте скрытой потери точности
Ключевые моменты для долгосрочного хранения
При хранении необходимо накрывать влаго- и пыленепроницаемым чехлом. Дно должно опираться на три точки (точка опоры находится на 2/9 длины платформы) для предотвращения изгибающих деформаций под действием силы тяжести (платформа длиной 1 м может провисать на 0,3 мкм из-за длительной одноточечной опоры).
Регулярно (ежемесячно) меняйте положение точек опоры платформы, чтобы избежать длительного локального давления.
План защиты транспорта
Транспортировка на короткие расстояния: оберните амортизирующей пеной, закрепите в жесткой раме и поддерживайте ускорение в пределах 2g.
Транспортировка на большие расстояния: необходимо упаковать в вакуум и заполнить сухим азотом. После прибытия необходимо оставить на 24 часа, пока температура не достигнет равновесия, прежде чем распаковывать, чтобы предотвратить влияние конденсационной воды на точность.
5. Прогнозирование неисправностей: методы раннего выявления проблем
Визуальный осмотр: Регулярно осматривайте поверхность с помощью 40-кратного увеличительного стекла. Если обнаружены непрерывные царапины или значительное снижение блеска, это может указывать на снижение точности.
Обнаружение звука: осторожно постучите по платформе. Если звук становится хриплым (обычно это должен быть чистый звук), внутри могут быть микротрещины. Немедленно прекратите использовать его для обнаружения.
Благодаря этой системе обслуживания гранитная платформа ZHHIMG® может сохранять плоскостность ±1 мкм/м в течение 10 лет, что более чем в три раза превышает срок службы платформ, которые не обслуживаются должным образом. Практика показала, что после того, как некий завод полупроводников принял это решение, частота калибровки платформы сократилась на 50%, а годовые расходы на обслуживание были сэкономлены более чем на 150 000 юаней.
Время публикации: 18 июня 2025 г.