Поддержание точности гранитной платформы, являющейся эталонным инструментом для точных измерений и обработки, напрямую влияет на качество продукции. Ниже представлен систематический план технического обслуживания, включающий контроль окружающей среды, ежедневное обслуживание и профессиональную калибровку, чтобы гарантировать, что платформа будет поддерживать точность нанометрового уровня в течение длительного времени.
1. Контроль окружающей среды: создание точного защитного барьера
Управление температурой и влажностью
Температура рабочей среды должна быть стабилизирована на уровне 20±1°C. Каждое отклонение температуры на 1°C вызовет термическую деформацию гранитной платформы на 0,5–1 мкм/м. В цехе можно установить систему поддержания постоянной температуры, чтобы предотвратить прямой поток воздуха из кондиционера на платформу.
Влажность воздуха следует контролировать в диапазоне от 40% до 60%. Избыточная влажность может легко привести к образованию ржавчины на металлических деталях, а слишком низкая — к помехам в измерениях из-за статического электричества.
Виброизоляция
Платформу следует размещать вдали от источников вибрации, таких как штамповочные и фрезерные станки. Рекомендуется соблюдать дистанцию более 3 метров от вибрационного оборудования.
Если вибрации избежать невозможно, в нижней части платформы можно установить пневматические амортизаторы, чтобы снизить воздействие вибрации окружающей среды на плоскость платформы (что может снизить внешнюю вибрацию более чем на 80%).
2. Ежедневное обслуживание: тщательный контроль от очистки до защиты
Спецификация очистки поверхности
Удаление пыли: ежедневно протирайте поверхность оленьей шкурой или безворсовой тканью в одном направлении, чтобы предотвратить появление царапин на платформе от частиц пыли (≥5 мкм). Стойкие загрязнения можно аккуратно удалить безводным этанолом (чистота ≥99,7%). Сильные растворители, такие как ацетон, использовать нельзя.
Обезжиривание: при попадании на платформу масляных пятен протрите ее разбавленным нейтральным чистящим средством, затем промойте деионизированной водой и высушите на воздухе, чтобы предотвратить проникновение минерального масла в мельчайшие поры платформы.
Защита от столкновений и нагрузок
Грузоподъемность платформы должна контролироваться в пределах 70% от номинальной нагрузки (например, для платформы весом 1000 кг рекомендуется, чтобы нагрузка была ≤700 кг), чтобы избежать остаточной деформации, вызванной локальной перегрузкой.
Категорически запрещается ударять заготовки по платформе. При работе с инструментами надевайте мягкие перчатки, чтобы предотвратить царапание поверхности острыми предметами (царапины глубиной более 20 мкм повлияют на измерение пути отраженного света).
3. Профессиональная калибровка: основа научного обеспечения точности
Настройка цикла калибровки
Обычные сценарии использования: калибровка один раз в квартал и использование лазерного интерферометра для определения плоскостности (с точностью ±0,5 мкм/м).
Высокочастотное использование или суровые условия: ежемесячная калибровка с акцентом на мониторинг областей, чувствительных к температуре (например, края платформы вблизи источников тепла).
Посткалибровочная обработка
При обнаружении отклонения от плоскостности (например, > ±1 мкм/м) необходимо обратиться к профессиональному специалисту для шлифования и устранения дефекта с использованием микропорошка W1.5. Самостоятельная шлифовка наждачной бумагой строго запрещена.
После калибровки данные следует записать и архивировать, а также построить кривую затухания точности платформы, чтобы заранее прогнозировать требования к техническому обслуживанию.
4. Хранение и транспортировка: избегайте скрытой потери точности
Ключевые моменты долгосрочного хранения
При хранении платформа должна быть укрыта влаго- и пыленепроницаемым чехлом. Дно платформы должно быть закреплено на трёх точках опоры (точка опоры расположена на 2/9 её длины) для предотвращения изгибающих деформаций под действием силы тяжести (платформа длиной 1 м может прогибаться на 0,3 мкм при длительном использовании одной точки опоры).
Регулярно (ежемесячно) перемещайте положение точек опоры платформы, чтобы избежать длительного локального давления.
План защиты транспорта
Транспортировка на короткие расстояния: оберните амортизирующей пеной, закрепите в жесткой раме и поддерживайте ускорение в пределах 2g.
Транспортировка на большие расстояния: необходимо упаковать в вакуумную упаковку и заполнить сухим азотом. После доставки необходимо дать прибору отстояться в течение 24 часов до достижения равновесной температуры, прежде чем распаковывать, чтобы предотвратить влияние конденсата на точность показаний.
5. Прогнозирование неисправностей: методы раннего выявления проблем
Визуальный осмотр: регулярно осматривайте поверхность с помощью 40-кратной лупы. Обнаружение сплошных царапин или значительного снижения блеска может указывать на снижение точности.
Обнаружение звука: Слегка постучите по платформе. Если звук становится хриплым (обычно он должен быть чистым), внутри могут быть микротрещины. Немедленно прекратите использование платформы для обнаружения звука.
Благодаря этой системе обслуживания гранитная платформа ZHHIMG® может сохранять плоскостность ±1 мкм/м в течение 10 лет, что более чем в три раза превышает срок службы платформ, не обслуживаемых надлежащим образом. Практика показала, что после внедрения этого решения на одном из заводов по производству полупроводников частота калибровки платформы сократилась на 50%, а годовая экономия на обслуживании составила более 150 000 юаней.
Время публикации: 18 июня 2025 г.