Гранитная платформа, как эталонный инструмент для точных измерений и обработки, требует поддержания высокой точности, что напрямую влияет на качество продукции. Ниже представлен систематический план технического обслуживания, включающий контроль окружающей среды, ежедневное обслуживание и профессиональную калибровку, обеспечивающие поддержание нанометровой точности платформы в течение длительного времени.
1. Контроль окружающей среды: Создание высокоточного защитного барьера.
Регулирование температуры и влажности
Температуру рабочей среды необходимо стабилизировать на уровне 20±1℃. Каждое колебание на 1℃ вызывает термическую деформацию гранитной платформы на 0,5-1 мкм/м. В цехе можно установить систему поддержания постоянной температуры, чтобы предотвратить прямое воздействие воздуха от кондиционера на платформу.
Влажность следует поддерживать в пределах от 40% до 60%. Избыточная влажность легко может вызвать коррозию металлических деталей, а слишком низкая влажность может привести к помехам от статического электричества при измерениях.
Виброизоляция
Платформу следует располагать вдали от источников вибрации, таких как штамповочные и фрезерные станки. Рекомендуется соблюдать расстояние более 3 метров от вибрационного оборудования.
Если вибрации избежать невозможно, в нижней части платформы можно установить пневматические амортизаторы, чтобы уменьшить воздействие внешних вибраций на ровность платформы (что может снизить внешнюю вибрацию более чем на 80%).
2. Ежедневный уход: Тщательный контроль от чистки до защиты.
Спецификация очистки поверхности
Удаление пыли: Ежедневно протирайте поверхность оленьей кожей или безворсовой тканью в одном направлении, чтобы предотвратить царапание платформы частицами пыли (≥5 мкм). Стойкие пятна можно аккуратно удалить безводным этанолом (чистота ≥99,7%). Не используйте сильные растворители, такие как ацетон.
Обезжиривание: При попадании масляных пятен протрите поверхность разбавленным нейтральным чистящим средством, затем промойте деионизированной водой и дайте высохнуть на воздухе, чтобы предотвратить проникновение минерального масла в мельчайшие поры поверхности.
Защита груза и от столкновений
Несущая способность платформы должна контролироваться в пределах 70% от номинальной нагрузки (например, для платформы массой 1000 кг рекомендуется, чтобы нагрузка составляла ≤700 кг), чтобы избежать необратимой деформации, вызванной локальной перегрузкой.
Категорически запрещается ударять заготовками по платформе. При работе с инструментами следует надевать мягкие перчатки, чтобы предотвратить царапание поверхности острыми предметами (царапины глубиной более 20 мкм повлияют на измерение пути отраженного света).
3. Профессиональная калибровка: основа научного обеспечения точности.
Настройка цикла калибровки
Стандартные сценарии использования: калибровка проводится раз в квартал, а для определения плоскостности используется лазерный интерферометр (с точностью ±0,5 мкм/м).
Интенсивное использование или суровые условия эксплуатации: Ежемесячная калибровка с акцентом на мониторинг чувствительных к температуре зон (например, края платформы вблизи источников тепла).
Посткалибровочная обработка
При обнаружении отклонения от плоскости (например, > ±1 мкм/м) необходимо выполнить шлифовку и ремонт профессиональным техником с использованием микропорошка W1.5. Самостоятельная шлифовка наждачной бумагой строго запрещена.
После калибровки данные следует записать и заархивировать, а также построить кривую снижения точности платформы для прогнозирования потребностей в техническом обслуживании заранее.
4. Хранение и транспортировка: Во избежание скрытых потерь точности.
Основные моменты, касающиеся длительного хранения.
При хранении платформу следует накрывать влаго- и пыленепроницаемым чехлом. Дно должно опираться на три точки опоры (точка опоры расположена на 2/9 длины платформы), чтобы предотвратить деформацию от силы тяжести (платформа длиной 1 метр может провиснуть на 0,3 мкм из-за длительной опоры на одну точку).
Регулярно (ежемесячно) меняйте положение точек опоры платформы, чтобы избежать долговременного локального давления.
план защиты транспорта
Транспортировка на короткие расстояния: обернуть амортизирующей пеной, закрепить в жестком каркасе и поддерживать ускорение в пределах 2g.
Транспортировка на большие расстояния: необходимо вакуумно упаковать и заполнить сухим азотом. После прибытия товар следует оставить на 24 часа для стабилизации температуры перед распаковкой, чтобы предотвратить образование конденсата, которое может повлиять на точность показаний.
5. Прогнозирование неисправностей: методы выявления проблем на ранних стадиях.
Визуальный осмотр: Регулярно осматривайте поверхность с помощью 40-кратной лупы. Обнаружение непрерывных царапин или значительного снижения блеска может указывать на ухудшение качества.
Обнаружение звука: Слегка постучите по платформе. Если звук станет хриплым (обычно он должен быть чистым), возможно, внутри есть микротрещины. Немедленно прекратите использование для обнаружения.
Благодаря этой системе технического обслуживания гранитная платформа ZHHIMG® может поддерживать плоскостность ±1 мкм/м в течение 10 лет, что более чем в три раза превышает срок службы прецизионных платформ, не подвергавшихся надлежащему техническому обслуживанию. Практика показала, что после внедрения этого решения на одном из заводов по производству полупроводников частота калибровки платформы сократилась на 50%, а ежегодные затраты на техническое обслуживание были сэкономлены более чем на 150 000 юаней.
Дата публикации: 18 июня 2025 г.