В решающей битве за «наноточность» в производстве полупроводников даже малейшая ошибка в оборудовании для резки пластин может превратить чип в отходы. Гранитное основание — невоспетый герой, контролирующий точность позиционирования ±5 мкм, переписывая правила прецизионного производства благодаря своим трём природным чудесам.
«Стабилизирующий якорь» против термической деформации: коэффициент термического расширения гранита составляет всего 5-7 ×10⁻⁶/℃, что составляет всего треть от коэффициента термического расширения металлов. Под воздействием тепла, создаваемого высокоскоростным оборудованием для резки пластин, обычные материалы деформируются вследствие термического расширения и сжатия, что приводит к смещению положения режущей головки. Однако гранитное основание может оставаться «неподвижным», что принципиально исключает отклонение позиционирования, вызванное термической деформацией, и закладывает прочную основу для точности.
«Безмолвный щит» поглощения вибраций: Постоянный грохот станков и непрерывная вибрация оборудования в цеху можно считать «смертельными убийцами» точности. Уникальная кристаллическая структура гранита действует как естественный амортизатор, способный быстро преобразовывать внешние вибрации и механические колебания, возникающие при работе оборудования, в тепловую энергию для рассеивания. В то время как другие основания продолжают «качаться» из-за вибрации, гранитное основание создаёт устойчивую платформу для режущей головки, которая остаётся неподвижной, обеспечивая точность ±5 мкм.
Коррозионная стойкость «Вечной крепости»: цеха по производству полупроводников заполнены едкими веществами, такими как травильные растворы, кислотные и щелочные очистители. В такой среде металлические основания постепенно ржавеют и деформируются. Гранит, благодаря своей химической стойкости, совершенно не реагирует с этими веществами. Независимо от срока службы, он сохраняет структурную целостность и обеспечивает высокоточную резку.
От мастерства в подборе материалов до сверхточной обработки – гранитное основание своей прочностью продемонстрировало, что не все материалы способны справиться с суровыми требованиями производства полупроводников. Именно благодаря этим незаменимым природным преимуществам гранитные основания стали ключевым элементом оборудования для резки пластин, обеспечивая точность позиционирования ±5 мкм, и послужили стимулом для непрерывного развития полупроводниковой промышленности к повышению точности!
Время публикации: 14 мая 2025 г.